炭化ケイ素ウェハートレイは、半導体ウェハープロセス、CVD/PECVDシステム、真空炉、高温産業環境用に設計された高性能精密セラミックキャリアです。.
高純度CVD SiCまたはSSiC（焼結炭化ケイ素）から製造されたこのトレイは、優れた熱安定性、機械的強度、耐薬品性を備えており、過酷な条件下でも安定したウェーハハンドリングと安定したプロセス性能を保証します。.
半導体製造、LEDエピタキシー、サファイアウェハー加工、先端セラミックス焼結、真空サーマルシステムなどに広く使用されている。.
主な特徴
高温安定性（1600℃+まで）
高温連続運転下でも変形することなく、構造的完全性と性能を維持。.
優れた熱伝導性
迅速かつ均一な熱伝達を実現し、温度勾配を低減してプロセスの歩留まりを向上させます。.
優れた耐熱衝撃性
ひび割れや反りがなく、急速な加熱・冷却サイクルにも耐える。.
高い機械的強度
強化構造により、優れた耐荷重性と長期的な寸法安定性を実現。.
耐薬品性および耐プラズマ性
半導体プロセスで使用される酸、アルカリ、腐食性ガス、プラズマ環境に対して高い耐性を持つ。.
超精密加工
CNC研削は、自動化システムのための厳しい公差、平坦度、滑らかなウェーハ接触面を保証します。.
構造設計
マルチゾーン環状スロット設計
- 軽量化
- 熱均一性の向上
- 放熱性を高める
- 熱応力集中の最小化
この構造は、高温ウェハープロセスと真空アプリケーションに最適化されている。.
ラジアル補強リブシステム
- 機械剛性の向上
- 荷重による変形を防ぐ
- 回転安定性の向上
- 繰り返し熱環境での耐用年数の延長
精密機械加工表面
- 高い平坦性と一貫性
- 滑らかなウェハーコンタクトインターフェース
- ロボットオートメーションシステムとの互換性
- パーティクル発生のリスクを低減
中央取り付けインターフェース
精密穴あけ加工を施したセンター構造：
- 安定したシャフト取り付け
- 炉システムの正確なアライメント
- 自動ウェハーハンドリング装置との互換性
強化アウターリング
- 構造的なバランスを高める
- 耐振動性の向上
- 運転中のエッジ耐久性を強化
素材オプション
CVD炭化ケイ素 (CVD SiC)
- 超高純度
- 極めて低いコンタミネーション
- 優れた表面品質
- 先端半導体プロセスに最適
焼結炭化ケイ素（SSiC）
- 高い強度と密度
- 優れた耐摩耗性
- 過酷な環境でも安定
- 工業用高温システムに最適
反応結合型SiC（RBSiC）
- 費用対効果の高いソリューション
- 優れた耐熱衝撃性
- 大量生産用途に最適
技術仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 素材 | CVD SiC / SSiC / RBSiC |
| 純度 | 99.9%まで |
| 動作温度 | ≤ 1600°C |
| 密度 | 2.3 - 3.9 g/cm³ |
| 耐熱衝撃性 | 素晴らしい |
| 表面仕上げ | 精密研磨／ポリッシュ |
| 形状 | カスタム（ラウンド/リング/プレート） |
| サイズ | カスタム可 |
| 申し込み | 半導体 / CVD / 炉 |
アプリケーション
半導体産業
- CVD/PECVD装置用ウェーハキャリア
- 拡散、酸化、アニールプロセス
- RTPおよびエピタキシャル成長システム
- ウェハ搬送トレイ
LED＆オプトエレクトロニクス
- サファイアウェハー加工
- LEDエピタキシー・キャリア・システム
- 高温基板対応
真空・加熱炉
- 高温焼結トレイ
- 真空炉キャリア
- 熱処理治具
先進製造業
- 精密セラミック加工
- 自動化設備治具
- 安定性の高い機械プラットフォーム
製品の利点
- 優れた高温耐性
- 優れた熱伝導性
- 高い寸法安定性
- 長寿命
- 汚染リスクが低い
- 強い耐食性
- 真空システムに対応
- フルカスタマイズ可能なデザイン
カスタマイズ能力
図面やアプリケーション要件に基づくフルカスタマイズをサポートします：
- 直径/厚さのカスタマイズ
- スロット形状の最適化
- 精密取り付け穴
- 平面研磨／ラッピング
- 超平坦ウェーハグレード加工
- 高純度素材の選択
- 複雑な構造設計
半導体製造装置メーカー向けOEM・ODMサービスを提供。.
よくあるご質問
Q1: 炭化ケイ素ウェハートレイは何に使われるのですか？
CVD、PECVD、拡散、酸化、高温アニールなどの半導体プロセスにおいて、ウェハーの支持と搬送に使用される。.
Q2: なぜ石英やグラファイトではなくSiCなのですか？
SiCが提供する：
- より高い耐熱性
- より優れた機械的強度
- 低熱膨張
- 長寿命
- より優れた化学的安定性
Q3: トレイはカスタマイズできますか？
はい。サイズ、構造、厚み、取り付けデザインなど、完全なカスタマイズが可能です。.
Q4: 急激な冷暖房に適していますか？
SiCは耐熱衝撃性に優れており、熱サイクルプロセスに適しています。.
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