Piikarbidikiekkoalusta on suorituskykyinen tarkkuuskeraaminen kantolaite, joka on suunniteltu puolijohdekiekkojen käsittelyyn, CVD/PECVD-järjestelmiin, tyhjiöuuneihin ja korkean lämpötilan teollisuusympäristöihin.
Tämä erittäin puhtaasta CVD-SiC:stä tai SSiC:stä (sintrattu piikarbidi) valmistettu tarjotin tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden, mekaanisen lujuuden ja kemiallisen kestävyyden, mikä takaa kiekkojen vakaan käsittelyn ja prosessin tasaisen suorituskyvyn ääriolosuhteissa.
Sitä käytetään laajalti puolijohteiden valmistuksessa, LED-epitaksia, safiirikiekkojen käsittelyssä, kehittyneiden keraamisten tuotteiden sintrauksessa ja tyhjiölämpöjärjestelmissä.
Tärkeimmät ominaisuudet
Korkea lämpötilakestävyys (jopa 1600°C+)
Säilyttää rakenteellisen eheyden ja suorituskyvyn jatkuvassa korkean lämpötilan käytössä ilman muodonmuutoksia.
Erinomainen lämmönjohtavuus
Varmistaa nopean ja tasaisen lämmönsiirron, vähentää lämpötilagradientteja ja parantaa prosessin tuottoa.
Erinomainen lämpöshokkien kestävyys
Kestää nopeat lämmitys- ja jäähdytysjaksot ilman halkeilua tai vääntymistä.
Korkea mekaaninen lujuus
Vahvistettu rakenne takaa erinomaisen kantavuuden ja pitkän aikavälin mittasuhteiden vakauden.
Kemikaalien ja plasman kestävyys
Kestää hyvin happoja, emäksiä, syövyttäviä kaasuja ja puolijohdeprosesseissa käytettäviä plasmaympäristöjä.
Erittäin tarkka työstö
CNC-hionnalla varmistetaan tiukat toleranssit, tasaisuus ja sileät kiekon kosketuspinnat automatisoituja järjestelmiä varten.
Rakennesuunnittelu
Multi-Zone Annular Slot Design
- Vähentää painoa
- Parantaa lämmön tasaisuutta
- Parantaa lämmön haihtumista
- Minimoi lämpöjännityksen keskittymisen
Tämä rakenne on optimoitu korkean lämpötilan kiekkojen käsittelyyn ja tyhjiösovelluksiin.
Radiaalinen vahvistuskylkijärjestelmä
- Lisää mekaanista jäykkyyttä
- Estää muodonmuutokset kuormituksessa
- Parantaa kiertovakautta
- Pidentää käyttöikää syklisissä lämpöympäristöissä
Tarkasti työstetty pinta
- Korkea tasaisuus ja johdonmukaisuus
- Sileä kiekkokontaktin rajapinta
- Yhteensopiva robottiautomaatiojärjestelmien kanssa
- Vähentää hiukkasten muodostumisriskiä
Keskusasennusliitäntä
Tarkkuusporattu keskirakenne takaa:
- Vakaa akselin kiinnitys
- Tarkka kohdistus uunijärjestelmissä
- Yhteensopivuus kiekkojen automaattisten käsittelylaitteiden kanssa
Vahvistettu ulkorengas
- Parantaa rakenteellista tasapainoa
- Parantaa tärinänkestävyyttä
- Vahvistaa reunan kestävyyttä käytön aikana
Materiaalivaihtoehdot
CVD piikarbidi (CVD SiC)
- Erittäin korkea puhtaus
- Erittäin vähäinen saastuminen
- Erinomainen pinnanlaatu
- Ihanteellinen kehittyneisiin puolijohdeprosesseihin
Sintrattu piikarbidi (SSiC)
- Korkea lujuus ja tiheys
- Erinomainen kulutuskestävyys
- Vakaa vaativissa ympäristöissä
- Soveltuu teollisuuden korkean lämpötilan järjestelmiin
Reaktiosidottu SiC (RBSiC)
- Kustannustehokas ratkaisu
- Hyvä lämpöshokkien kestävyys
- Soveltuu massateollisuussovelluksiin
Tekniset tiedot
| Kohde | Tekniset tiedot |
|---|---|
| Materiaali | CVD SiC / SSiC / RBSiC |
| Puhtaus | Enintään 99,9% |
| Käyttölämpötila | ≤ 1600°C |
| Tiheys | 2,3 - 3,9 g/cm³. |
| Lämpöshokin kestävyys | Erinomainen |
| Pinnan viimeistely | Tarkasti hiottu / kiillotettu |
| Muoto | Mukautettu (pyöreä / rengas / levy) |
| Koko | Mukautettu saatavilla |
| Hakemus | Puolijohde / CVD / uuni |
Sovellukset
Puolijohdeteollisuus
- Kiekkokantaja CVD- / PECVD-järjestelmiä varten
- Diffuusio, hapettuminen, hehkutusprosessit
- RTP- ja epitaksikasvatusjärjestelmät
- Kiekkojen siirto- ja käsittelyalustat
LED & Optoelektroniikka
- Safiirikiekkojen käsittely
- LED-epitaksiajärjestelmät
- Korkean lämpötilan substraattituki
Tyhjiö- ja lämpöuunit
- Korkean lämpötilan sintrausalustat
- Tyhjiöuunin kantajat
- Lämpökäsittelylaitteistot
Kehittynyt valmistus
- Tarkka keraaminen käsittely
- Automaatiolaitteiden kiinnikkeet
- Erittäin vakaat mekaaniset alustat
Tuotteen edut
- Erinomainen korkean lämpötilan kestävyys
- Erinomainen lämmönjohtavuus
- Korkea mittapysyvyys
- Pitkä käyttöikä
- Vähäinen saastumisriski
- Vahva korroosionkestävyys
- Yhteensopiva tyhjiöjärjestelmien kanssa
- Täysin muokattavissa oleva muotoilu
Räätälöintikyky
Tuemme täydellistä räätälöintiä piirustusten tai sovellusvaatimusten perusteella:
- Halkaisija / paksuus räätälöinti
- Aukon geometrian optimointi
- Tarkat asennusreiät
- Pinnan kiillotus / karhennus
- Erittäin tasainen kiekkoluokan työstö
- Erittäin puhtaan materiaalin valinta
- Monimutkainen rakennesuunnittelu
OEM- ja ODM-palvelut saatavilla puolijohdelaitteiden valmistajille.
FAQ
Q1: Mihin piikarbidikiekkotarjottimia käytetään?
Sitä käytetään puolijohdekiekkojen tukemiseen ja kuljettamiseen puolijohdeprosessien, kuten CVD- ja PECVD-, diffuusio-, hapetus- ja korkean lämpötilan hehkutusprosessien aikana.
Kysymys 2: Miksi käyttää SiC:tä kvartsin tai grafiitin sijaan?
SiC tarjoaa:
- Korkeampi lämmönkestävyys
- Parempi mekaaninen lujuus
- Pienempi lämpölaajeneminen
- Pidempi käyttöikä
- Parempi kemiallinen stabiilisuus
Kysymys 3: Voiko tarjottimen räätälöidä?
Kyllä. Tarjoamme täydellisen räätälöinnin, mukaan lukien koko, rakenne, paksuus ja kiinnityssuunnittelu.
Kysymys 4: Soveltuuko se nopeaan lämmitykseen ja jäähdytykseen?
Kyllä. SiC:llä on erinomainen lämpöshokkien kestävyys, joten se soveltuu lämpökiertoprosesseihin.
Arviot
Tuotearvioita ei vielä ole.