炭化ケイ素（SiC）
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炭化ケイ素（SiC）ウェハーハンドリングおよび産業オートメーション用半導体セラミックエンドエフェクター
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炭化ケイ素（SiC）半導体装置の精密ウェハーハンドリング用SiCセラミックエンドエフェクター
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