Керамический лоток SiC - это высокопроизводительный держатель из карбида кремния, предназначенный для передовой обработки пластин и производства полупроводников. Изготовленные из высокочистого керамического материала карбида кремния (SiC), эти лотки обеспечивают исключительную термическую стабильность, высокую механическую прочность и отличную химическую стойкость для сложных высокотемпературных применений.

Керамические лотки SiC широко используются в процессах производства полупроводников, таких как:

• LPCVD / CVD обработка
• Отжиг пластин
• Диффузия
• Окисление
• Эпитаксия (EPI)
• Высокотемпературное спекание
• Термическая обработка полупроводников

Доступно для:

• Обработка 2-дюймовых пластин
• Обработка 4-дюймовых пластин
• Обработка 6-дюймовых пластин
• Обработка 8-дюймовых пластин
• Нестандартные размеры и структуры пластин

Эти лотки обеспечивают превосходную поддержку пластин, равномерность температуры и контроль загрязнения на протяжении всего производственного процесса.

Характеристики товара

Отличная устойчивость к высоким температурам

Керамические лотки из карбида кремния сохраняют исключительную стабильность при экстремальных температурах, что делает их идеальными для использования в полупроводниковых печах и системах термической обработки.

Преимущества:

• Отличная устойчивость к тепловым ударам
• Стабильная работа при быстром нагревании и охлаждении
• Длительный срок службы при длительной эксплуатации при высоких температурах

Высокая механическая прочность

По сравнению с обычными керамическими материалами, лотки из SiC обладают повышенной твердостью и прочностью на изгиб, что снижает риск деформации или растрескивания в процессе обработки.

Преимущества:

• Высокая несущая способность
• Отличная стабильность размеров
• Подходит для автоматизированных систем обработки вафель
• Снижение частоты технического обслуживания

Выдающаяся химическая стойкость

Лотки из керамики SiC обладают высокой устойчивостью к воздействию агрессивных химических веществ и реактивных технологических газов, обычно используемых в производстве полупроводников.

Устойчив к:

• Кислоты
• Щелочи
• Коррозионные газы
• Химические пары

Это обеспечивает долговременную надежность в жестких технологических условиях.

Отличная теплопроводность

Высокая теплопроводность карбида кремния обеспечивает быструю и равномерную передачу тепла по поверхности противня.

Преимущества обработки:

• Улучшенная равномерность температуры подложки
• Уменьшение тепловых градиентов
• Повышенная согласованность процессов
• Снижение количества дефектов на пластинах

Низкое тепловое расширение

Низкий коэффициент теплового расширения помогает сохранить точность конструкции при многократных термических циклах.

Результат:

• Уменьшение деформации
• Улучшенное выравнивание пластин
• Повышенная стабильность производства

Чистота полупроводникового класса

Изготовленные из материала карбида кремния высокой чистоты 99,9%, лотки помогают минимизировать загрязнение частицами и поддерживают стандарты чистого производства полупроводников.

Технические характеристики

Недвижимость	Значение
Материал	Карбид кремния (SiC)
Чистота	99.9%
Цвет	Черный
Плотность	3,14 г/см³
Прочность на изгиб	410 МПа
Модуль Юнга	430 ГПа
Коэффициент Пуассона	0.17
Вязкость разрушения	2-3 МПа-м1/2
Коэффициент теплового расширения	4.1 × 10-⁶/K
Теплопроводность	170 Вт/м-К

Сравнение технологий производства SiC

Метод производства	Характеристики	Типовые применения
Спеченный без давления SiC	Высокая чистота и термическая стабильность	Поддоны для полупроводниковых пластин
Горячепрессованный SiC	Повышенная механическая прочность	Конструкционные керамические детали
CVD SiC	Поверхность сверхвысокой чистоты	Передовое полупроводниковое оборудование
Si-SiC	Экономически эффективное решение	Компоненты промышленных печей

Области применения керамических лотков SiC

Обработка полупроводниковых пластин

Широко используются в качестве держателей для пластин и опорных лотков:

• Системы LPCVD
• Системы CVD
• Диффузионные печи
• Печи для окисления
• Оборудование для отжига
• Полупроводниковые термические реакторы

Совместимость с:

• Кремниевые пластины
• Сапфировые пластины
• Подложки SiC
• Пластины GaN
• Составные полупроводниковые подложки

Высокотемпературное спекание

Идеально подходит для передовых технологий спекания керамики и порошков, требующих:

• Термическая стабильность
• Устойчивость к окислению
• Длительный срок службы

Оборудование для химической обработки

Подходит для работы в агрессивных химических средах благодаря отличной коррозионной стойкости.

Приложения включают:

• Химические реакторы
• Влажная обработка полупроводников
• Коррозионные газовые среды

Оптическое и прецизионное производство

Обеспечивает стабильную поддержку:

• Оптические подложки
• Сапфировые оптические компоненты
• Прецизионные керамические детали

Аэрокосмические и промышленные тепловые системы

Используется в отраслях, требующих:

• Легкие высокопрочные материалы
• Терморегуляция
• Коррозионностойкие компоненты

Услуги по настройке

Мы предлагаем индивидуальные решения для керамических лотков SiC в соответствии с требованиями заказчика.

Доступные пользовательские опции

• Нестандартные размеры
• Конструкции лотков для нескольких пластин
• Обработка пазов и канавок
• Прецизионное сверление отверстий
• Полировка поверхности
• Специальные покрытия
• Совместимость с индивидуальной термической обработкой

Преимущества керамических лотков SiC

По сравнению с кварцевыми, глиноземными и графитовыми лотками, керамические лотки из карбида кремния обеспечивают:

Производительность	Керамический лоток SiC
Теплопроводность	Превосходно
Устойчивость к тепловому удару	Превосходно
Механическая прочность	Превосходно
Устойчивость к коррозии	Превосходно
Устойчивость размеров	Превосходно
Срок службы	Длинный

ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ

Может ли керамический лоток SiC быть изготовлен по индивидуальному заказу?

Да. Мы поддерживаем нестандартные размеры, структуры, канавки и схемы обработки в соответствии со спецификациями пластин заказчика и требованиями оборудования.

Какие размеры пластин поддерживаются?

Лотки могут быть предназначены для:

• 2-дюймовые вафли
• 4-дюймовые вафли
• Вафли 6 дюймов
• Вафли 8 дюймов
• Увеличенные форматы пластин на заказ

Подходит ли лоток из SiC для использования в полупроводниковых печах?

Да. Лотки из керамики SiC специально разработаны для высокотемпературных условий обработки полупроводников и обеспечивают превосходную термостойкость и долговечность.