O tabuleiro de cerâmica SiC é um suporte de carboneto de silício de elevado desempenho concebido para ambientes avançados de processamento de bolachas e fabrico de semicondutores. Concebidos com material cerâmico de carboneto de silício (SiC) de elevada pureza, estes tabuleiros proporcionam uma estabilidade térmica excecional, elevada resistência mecânica e excelente resistência química para aplicações exigentes a altas temperaturas.

Os tabuleiros cerâmicos de SiC são amplamente utilizados em processos de fabrico de semicondutores, tais como

• Processamento LPCVD / CVD
• Recozimento de bolachas
• Difusão
• Oxidação
• Epitaxia (EPI)
• Sinterização a alta temperatura
• Processamento térmico de semicondutores

Disponível para:

• Processamento de bolachas de 2 polegadas
• Processamento de bolachas de 4 polegadas
• Processamento de bolachas de 6 polegadas
• Processamento de bolachas de 8 polegadas
• Tamanhos e estruturas de wafer personalizados

Estes tabuleiros asseguram um excelente suporte das bolachas, uniformidade de temperatura e controlo da contaminação durante todo o processo de fabrico.

Caraterísticas do produto

Excelente resistência a altas temperaturas

Os tabuleiros cerâmicos de carboneto de silício mantêm uma estabilidade excecional a temperaturas extremas, tornando-os ideais para aplicações em fornos de semicondutores e sistemas de processamento térmico.

Vantagens:

• Excelente resistência ao choque térmico
• Desempenho estável durante o aquecimento e arrefecimento rápidos
• Longa vida útil em funcionamento contínuo a alta temperatura

Elevada resistência mecânica

Em comparação com os materiais cerâmicos convencionais, os tabuleiros de SiC oferecem uma dureza e resistência à flexão superiores, reduzindo o risco de deformação ou fissuração durante o processamento.

Benefícios:

• Elevada capacidade de carga
• Excelente estabilidade dimensional
• Adequado para sistemas automatizados de manuseamento de bolachas
• Redução da frequência de manutenção

Excelente resistência química

Os tabuleiros cerâmicos de SiC são altamente resistentes a produtos químicos corrosivos e a gases de processo reactivos normalmente utilizados no fabrico de semicondutores.

Resistente a:

• Ácidos
• Álcalis
• Gases corrosivos
• Vapores químicos

Isto garante uma fiabilidade a longo prazo em ambientes de processo agressivos.

Excelente condutividade térmica

A elevada condutividade térmica do carboneto de silício permite uma transferência de calor rápida e uniforme através da superfície do tabuleiro.

Processamento de benefícios:

• Melhoria da uniformidade da temperatura da bolacha
• Gradientes térmicos reduzidos
• Maior consistência do processo
• Taxas mais baixas de defeitos em bolachas

Baixa expansão térmica

O baixo coeficiente de expansão térmica ajuda a manter a precisão estrutural durante ciclos térmicos repetidos.

Resultado:

• Redução da deformação
• Melhor alinhamento da bolacha
• Melhoria da estabilidade da produção

Pureza de grau de semicondutor

Fabricados com material de carboneto de silício de elevada pureza 99,9%, os tabuleiros ajudam a minimizar a contaminação por partículas e apoiam as normas de produção de semicondutores em salas limpas.

Especificações técnicas

Imóveis	Valor
Material	Carboneto de silício (SiC)
Pureza	99.9%
Cor	Preto
Densidade	3,14 g/cm³
Resistência à flexão	410 MPa
Módulo de Young	430 GPa
Coeficiente de Poisson	0.17
Resistência à fratura	2-3 MPa-m1/2
Coeficiente de expansão térmica	4.1 × 10-⁶/K
Condutividade térmica	170 W/m-K

Comparação de tecnologias de fabrico de SiC

Método de fabrico	Caraterísticas	Aplicações típicas
SiC sinterizado sem pressão	Elevada pureza e estabilidade térmica	Tabuleiros para bolachas semicondutoras
SiC prensado a quente	Maior resistência mecânica	Peças cerâmicas estruturais
CVD SiC	Superfície de pureza ultra-alta	Equipamento avançado de semicondutores
Si-SiC	Solução económica	Componentes de fornos industriais

Aplicações dos tabuleiros cerâmicos de SiC

Processamento de bolachas semicondutoras

Amplamente utilizados como suportes de bolachas e tabuleiros de apoio em:

• Sistemas LPCVD
• Sistemas CVD
• Fornos de difusão
• Fornos de oxidação
• Equipamento de recozimento
• Reactores térmicos de semicondutores

Compatível com:

• Bolachas de silício
• Bolachas de safira
• Bolachas de SiC
• Pastilhas de GaN
• Substratos de semicondutores compostos

Sinterização a alta temperatura

Ideal para aplicações avançadas de sinterização de cerâmica e pó que exijam:

• Estabilidade térmica
• Resistência à oxidação
• Longa vida operacional

Equipamento de processamento químico

Adequado para ambientes químicos agressivos devido à sua excelente resistência à corrosão.

As aplicações incluem:

• Reactores químicos
• Processamento por via húmida de semicondutores
• Ambientes de gás corrosivo

Fabrico ótico e de precisão

Fornece suporte estável para:

• Substratos ópticos
• Componentes ópticos de safira
• Peças cerâmicas de precisão

Sistemas térmicos aeroespaciais e industriais

Utilizado em indústrias que requerem:

• Materiais leves e de elevada resistência
• Gestão térmica
• Componentes resistentes à corrosão

Serviços de personalização

Fornecemos soluções personalizadas de tabuleiros de cerâmica SiC de acordo com as necessidades do cliente.

Opções personalizadas disponíveis

• Dimensões personalizadas
• Desenhos de tabuleiros multi-wafer
• Maquinação de ranhuras
• Perfuração de precisão
• Polimento de superfícies
• Revestimentos especiais
• Compatibilidade de processamento térmico personalizado

Vantagens dos tabuleiros cerâmicos de SiC

Em comparação com os tabuleiros de quartzo, alumina e grafite, os tabuleiros cerâmicos de carboneto de silício oferecem..:

Desempenho	Tabuleiro de cerâmica SiC
Condutividade térmica	Excelente
Resistência ao choque térmico	Excelente
Resistência mecânica	Excelente
Resistência à corrosão	Excelente
Estabilidade dimensional	Excelente
Vida útil	Longo

FAQ

O tabuleiro de cerâmica SiC pode ser personalizado?

Sim. Aceitamos tamanhos, estruturas, ranhuras e projectos de processamento personalizados, de acordo com as especificações da bolacha e os requisitos do equipamento do cliente.

Que tamanhos de bolacha são suportados?

Os tabuleiros podem ser concebidos para:

• Bolachas de 2 polegadas
• Bolachas de 4 polegadas
• Bolachas de 6 polegadas
• Bolachas de 8 polegadas
• Formatos de bolacha personalizados maiores

O tabuleiro de SiC é adequado para aplicações em fornos de semicondutores?

Sim. Os tabuleiros de cerâmica SiC foram especificamente concebidos para ambientes de processamento de semicondutores a alta temperatura e proporcionam uma excelente estabilidade térmica e durabilidade.