إن صينية سيراميك SiC عبارة عن حامل عالي الأداء من كربيد السيليكون مصمم لمعالجة الرقائق المتقدمة وبيئات تصنيع أشباه الموصلات. صُممت هذه الصواني باستخدام مادة سيراميك كربيد السيليكون عالية النقاء (SiC)، وتوفر هذه الصواني ثباتًا حراريًا استثنائيًا وقوة ميكانيكية عالية ومقاومة كيميائية ممتازة للتطبيقات ذات درجات الحرارة العالية.
تُستخدم صواني سيراميك SiC على نطاق واسع في عمليات تصنيع أشباه الموصلات مثل:
- معالجة LPCVD / CVD
- تلدين الرقاقة
- الانتشار
- الأكسدة
- الإبيتاكس (EPI)
- التلبيد بدرجة حرارة عالية
- المعالجة الحرارية لأشباه الموصلات
متاح لـ
- معالجة رقاقة 2 بوصة
- معالجة رقاقة 4 بوصة
- معالجة الرقاقة 6 بوصة
- معالجة الرقاقة 8 بوصة
- تخصيص أحجام الرقاقات وهياكل الرقاقات حسب الطلب
تضمن هذه الصواني دعمًا ممتازًا للرقاقة وتوحيد درجة الحرارة والتحكم في التلوث طوال عملية التصنيع.
ميزات المنتج
مقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية
تحافظ الصواني الخزفية المصنوعة من كربيد السيليكون على ثبات متميز تحت درجات الحرارة القصوى، مما يجعلها مثالية لتطبيقات أفران أشباه الموصلات وأنظمة المعالجة الحرارية.
المزايا:
- مقاومة ممتازة للصدمات الحرارية
- أداء مستقر أثناء التسخين والتبريد السريع
- عمر خدمة طويل في ظل التشغيل المستمر في درجات الحرارة العالية
قوة ميكانيكية عالية
بالمقارنة مع مواد السيراميك التقليدية، توفر صواني SiC صلابة وقوة انثناء فائقة، مما يقلل من خطر التشوه أو التشقق أثناء المعالجة.
المزايا:
- قدرة تحميل عالية
- ثبات أبعاد ممتاز
- مناسبة لأنظمة مناولة الرقائق الآلية
- انخفاض تواتر الصيانة
مقاومة كيميائية فائقة للمواد الكيميائية
تتميز الصواني الخزفية المصنوعة من سيراميك SiC بمقاومة عالية للمواد الكيميائية المسببة للتآكل وغازات العمليات التفاعلية المستخدمة عادةً في تصنيع أشباه الموصلات.
مقاوم لـ:
- الأحماض
- القلويات
- الغازات المسببة للتآكل
- أبخرة كيميائية
وهذا يضمن الموثوقية على المدى الطويل في بيئات المعالجة القاسية.
توصيل حراري ممتاز
تتيح الموصلية الحرارية العالية لكربيد السيليكون نقل الحرارة بسرعة وبشكل موحد عبر سطح الصينية.
فوائد المعالجة:
- تحسين انتظام درجة حرارة الرقاقة المحسنة
- انخفاض التدرجات الحرارية
- تعزيز اتساق العملية المعززة
- انخفاض معدلات عيوب الرقاقة الرقاقة
تمدد حراري منخفض
يساعد معامل التمدد الحراري المنخفض في الحفاظ على دقة الهيكل أثناء الدورات الحرارية المتكررة.
النتيجة:
- تقليل الالتواء
- محاذاة أفضل للرقاقة
- تحسين استقرار الإنتاج
نقاء بدرجة أشباه الموصلات
صُنعت الصواني باستخدام مادة كربيد السيليكون عالية النقاء 99.9%، وتساعد الصواني على تقليل تلوث الجسيمات ودعم معايير إنتاج أشباه الموصلات في الغرف النظيفة.
المواصفات الفنية
| الممتلكات | القيمة |
|---|---|
| المواد | كربيد السيليكون (SiC) |
| النقاء | 99.9% |
| اللون | أسود |
| الكثافة | 3.14 جم/سم مكعب |
| قوة الانثناء | 410 ميجا باسكال |
| معامل يونغ | 430 جيجا باسكال |
| نسبة بواسون | 0.17 |
| صلابة الكسر | 2-3 ميجا باسكال-م1/2 |
| معامل التمدد الحراري | 4.1 × 10-⁶/K |
| التوصيل الحراري | 170 واط/م-ك |
مقارنة تكنولوجيا تصنيع سيليكون سيليكون
| طريقة التصنيع | الميزات | التطبيقات النموذجية |
| سيليكون متكلس متكلس بدون ضغط | نقاوة عالية وثبات حراري | صواني رقاقات أشباه الموصلات |
| SiC مضغوط على الساخن | قوة ميكانيكية أعلى | الأجزاء الخزفية الإنشائية |
| CVD SiC | سطح عالي النقاء للغاية | معدات أشباه الموصلات المتقدمة |
| Si-SiC | حل فعال من حيث التكلفة | مكونات الفرن الصناعي |
تطبيقات الصواني الخزفية المصنوعة من سيراميك SiC
معالجة رقاقة أشباه الموصلات
تستخدم على نطاق واسع كحاملات رقائق وصواني دعم في:
- أنظمة LPCVD
- أنظمة CVD
- أفران الانتشار
- أفران الأكسدة
- معدات التلدين
- المفاعلات الحرارية شبه الموصلة
متوافق مع:
- رقائق السيليكون
- رقائق الياقوت الأزرق
- رقائق SiC
- رقائق GaN
- ركائز أشباه الموصلات المركبة
التلبيد بدرجة حرارة عالية
مثالية لتطبيقات تلبيد السيراميك والمساحيق المتقدمة التي تتطلب:
- الثبات الحراري
- مقاومة الأكسدة
- عمر تشغيلي طويل
معدات المعالجة الكيميائية
مناسبة للبيئات الكيميائية القاسية بسبب مقاومتها الممتازة للتآكل.
تشمل التطبيقات ما يلي:
- المفاعلات الكيميائية
- المعالجة الرطبة لأشباه الموصلات
- بيئات الغازات المسببة للتآكل
البصريات والتصنيع الدقيق
يوفر دعماً مستقراً لـ:
- الركائز الضوئية
- مكونات الياقوت البصري
- قطع السيراميك الدقيقة
أنظمة الفضاء والأنظمة الحرارية الصناعية
تُستخدم في الصناعات التي تتطلب:
- مواد خفيفة الوزن وعالية القوة
- الإدارة الحرارية
- مكونات مقاومة للتآكل
خدمات التخصيص
نحن نقدم حلولاً مخصصة لصينية سيراميك SiC الخزفية وفقًا لمتطلبات العملاء.
الخيارات المخصصة المتاحة
- أبعاد مخصصة
- تصميمات صينية متعددة الرقاقات
- التصنيع الآلي للفتحة والأخدود
- الحفر الدقيق للثقوب
- تلميع السطح
- الطلاءات الخاصة
- توافق المعالجة الحرارية المخصصة
مزايا الصواني الخزفية المصنوعة من سيراميك SiC
بالمقارنة مع صواني الكوارتز والألومينا والجرافيت، توفر صواني سيراميك كربيد السيليكون:
| الأداء | صينية سيراميك SiC |
| التوصيل الحراري | ممتاز |
| مقاومة الصدمات الحرارية | ممتاز |
| القوة الميكانيكية | ممتاز |
| مقاومة التآكل | ممتاز |
| ثبات الأبعاد | ممتاز |
| عمر الخدمة | طويل |
الأسئلة الشائعة
هل يمكن تخصيص صينية سيراميك SiC الخزفية؟
نعم. نحن ندعم الأحجام والهياكل والأخاديد وتصميمات المعالجة المخصصة وفقًا لمواصفات الرقاقة الإلكترونية للعميل ومتطلبات المعدات.
ما هي أحجام الرقاقات المدعومة؟
يمكن تصميم الصواني من أجل:
- 2 بوصة رقائق 2 بوصة
- رقائق 4 بوصة
- رقائق الويفر 6 بوصة
- رقائق الويفر 8 بوصة
- تنسيقات الرقاقات المخصصة الأكبر حجماً
هل صينية SiC مناسبة لتطبيقات أفران أشباه الموصلات؟
نعم. صواني سيراميك SiC مصممة خصيصًا لبيئات معالجة أشباه الموصلات ذات درجات الحرارة العالية وتوفر ثباتًا حراريًا ومتانة ممتازة.
المراجعات
لا توجد مراجعات بعد.