Khay gốm SiC là một khay chứa bằng cacbua silic (SiC) hiệu suất cao, được thiết kế dành cho các quy trình xử lý tấm wafer tiên tiến và môi trường sản xuất bán dẫn. Được chế tạo từ vật liệu gốm cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao, các khay này mang lại độ ổn định nhiệt vượt trội, độ bền cơ học cao và khả năng chống ăn mòn hóa học xuất sắc, phù hợp cho các ứng dụng đòi hỏi nhiệt độ cao.

Các khay gốm SiC được sử dụng rộng rãi trong các quy trình sản xuất bán dẫn như:

• Quy trình LPCVD / CVD
• Quá trình ủ tấm wafer
• Sự khuếch tán
• Quá trình oxy hóa
• Phương pháp epitaxy (EPI)
• Nung kết ở nhiệt độ cao
• Xử lý nhiệt trong ngành bán dẫn

Dành cho:

• Chế tạo tấm wafer 2 inch
• Chế tạo tấm wafer 4 inch
• Quy trình chế tạo tấm wafer 6 inch
• Chế biến tấm wafer 8 inch
• Kích thước và cấu trúc wafer tùy chỉnh

Các khay này đảm bảo khả năng đỡ wafer tuyệt vời, sự đồng đều về nhiệt độ và kiểm soát ô nhiễm trong suốt quá trình sản xuất.

Đặc điểm sản phẩm

Khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời

Các khay gốm cacbua silic duy trì độ ổn định vượt trội trong điều kiện nhiệt độ cực cao, khiến chúng trở thành lựa chọn lý tưởng cho các ứng dụng lò nung bán dẫn và hệ thống xử lý nhiệt.

Ưu điểm:

• Khả năng chịu sốc nhiệt tuyệt vời
• Hiệu suất ổn định trong quá trình gia nhiệt và làm mát nhanh
• Tuổi thọ cao khi hoạt động liên tục ở nhiệt độ cao

Độ bền cơ học cao

So với các vật liệu gốm truyền thống, khay SiC có độ cứng và độ bền uốn cao hơn, giúp giảm thiểu nguy cơ biến dạng hoặc nứt vỡ trong quá trình gia công.

Lợi ích:

• Khả năng chịu tải cao
• Độ ổn định kích thước tuyệt vời
• Phù hợp với các hệ thống xử lý tấm wafer tự động
• Giảm tần suất bảo trì

Khả năng chống hóa chất vượt trội

Các khay gốm SiC có khả năng chống lại các hóa chất ăn mòn và khí quá trình phản ứng thường được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn.

Chống lại:

• Axit
• Chất kiềm
• Khí ăn mòn
• Hơi hóa chất

Điều này đảm bảo độ tin cậy lâu dài trong các môi trường sản xuất khắc nghiệt.

Độ dẫn nhiệt tuyệt vời

Độ dẫn nhiệt cao của cacbua silic giúp truyền nhiệt nhanh chóng và đồng đều trên bề mặt khay.

Lợi ích của quy trình:

• Cải thiện độ đồng đều về nhiệt độ của tấm wafer
• Giảm độ chênh lệch nhiệt độ
• Tăng cường tính nhất quán của quy trình
• Giảm tỷ lệ lỗi trên tấm wafer

Hệ số giãn nở nhiệt thấp

Hệ số giãn nở nhiệt thấp giúp duy trì độ chính xác kết cấu trong các chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại.

Kết quả:

• Giảm hiện tượng cong vênh
• Cải thiện độ chính xác khi căn chỉnh tấm wafer
• Nâng cao tính ổn định trong sản xuất

Độ tinh khiết cấp bán dẫn

Được sản xuất từ vật liệu cacbua silic có độ tinh khiết cao 99,9%, các khay này giúp giảm thiểu ô nhiễm hạt và đáp ứng các tiêu chuẩn sản xuất bán dẫn trong phòng sạch.

Thông số kỹ thuật

Tài sản	Giá trị
Chất liệu	Cacbua silic (SiC)
Sự tinh khiết	99.9%
Màu sắc	Màu đen
Mật độ	3,14 g/cm³
Độ bền uốn	410 MPa
Hệ số đàn hồi của Young	430 GPa
Hệ số Poisson	0.17
Độ bền gãy	2–3 MPa·m¹/²
Hệ số giãn nở nhiệt	4,1 × 10⁻⁶/K
Độ dẫn nhiệt	170 W/m·K

So sánh các công nghệ sản xuất SiC

Phương pháp sản xuất	Tính năng	Các ứng dụng điển hình
SiC nung kết không áp suất	Độ tinh khiết cao và tính ổn định nhiệt	Khay đựng tấm bán dẫn
SiC ép nóng	Độ bền cơ học cao hơn	Các bộ phận gốm kết cấu
CVD SiC	Bề mặt có độ tinh khiết cực cao	Thiết bị bán dẫn tiên tiến
Si-SiC	Giải pháp tiết kiệm chi phí	Các bộ phận của lò công nghiệp

Ứng dụng của khay gốm SiC

Chế biến tấm bán dẫn

Được sử dụng rộng rãi làm khay đựng wafer và khay đỡ trong:

• Hệ thống LPCVD
• Hệ thống CVD
• Lò khuếch tán
• Lò oxy hóa
• Thiết bị ủ
• Lò phản ứng nhiệt bán dẫn

Tương thích với:

• Tấm silicon
• Tấm wafer sapphire
• Tấm wafer SiC
• Tấm wafer GaN
• Chất nền bán dẫn hợp chất

Nung kết ở nhiệt độ cao

Rất phù hợp cho các ứng dụng nung kết gốm sứ và bột cao cấp đòi hỏi:

• Độ ổn định nhiệt
• Khả năng chống oxy hóa
• Tuổi thọ hoạt động cao

Thiết bị chế biến hóa chất

Phù hợp với các môi trường hóa chất khắc nghiệt nhờ khả năng chống ăn mòn vượt trội.

Các ứng dụng bao gồm:

• Bể phản ứng hóa học
• Quy trình xử lý ướt trong ngành bán dẫn
• Môi trường khí ăn mòn

Sản xuất quang học và chính xác

Cung cấp sự hỗ trợ ổn định cho:

• Chất nền quang học
• Các linh kiện quang học bằng sapphire
• Các bộ phận gốm sứ chính xác

Hệ thống nhiệt trong ngành hàng không vũ trụ và công nghiệp

Được sử dụng trong các ngành công nghiệp có yêu cầu:

• Vật liệu nhẹ, có độ bền cao
• Quản lý nhiệt
• Các bộ phận chống ăn mòn

Dịch vụ tùy chỉnh

Chúng tôi cung cấp các giải pháp khay gốm SiC được thiết kế theo yêu cầu của khách hàng.

Các tùy chọn tùy chỉnh có sẵn

• Kích thước tùy chỉnh
• Thiết kế khay chứa nhiều tấm wafer
• Gia công rãnh và khe
• Khoan lỗ chính xác
• Đánh bóng bề mặt
• Lớp phủ đặc biệt
• Khả năng tương thích với các quy trình xử lý nhiệt tùy chỉnh

Ưu điểm của khay gốm SiC

So với các khay làm từ thạch anh, nhôm oxit và than chì, các khay gốm cacbua silic mang lại:

Hiệu suất	Khay gốm SiC
Độ dẫn nhiệt	Tuyệt vời
Khả năng chịu sốc nhiệt	Tuyệt vời
Độ bền cơ học	Tuyệt vời
Khả năng chống ăn mòn	Tuyệt vời
Độ ổn định kích thước	Tuyệt vời
Tuổi thọ	Dài

Câu hỏi thường gặp

Khay gốm SiC có thể được tùy chỉnh không?

Đúng vậy. Chúng tôi hỗ trợ các kích thước, cấu trúc, rãnh và thiết kế gia công tùy chỉnh theo thông số kỹ thuật của tấm wafer và yêu cầu về thiết bị của khách hàng.

Các kích thước wafer nào được hỗ trợ?

Các khay có thể được thiết kế để:

• Tấm wafer 2 inch
• Tấm wafer 4 inch
• Tấm wafer 6 inch
• Tấm wafer 8 inch
• Các định dạng tấm wafer tùy chỉnh có kích thước lớn hơn

Khay SiC có phù hợp để sử dụng trong lò nung bán dẫn không?

Đúng vậy. Các khay gốm SiC được thiết kế chuyên dụng cho các môi trường xử lý bán dẫn ở nhiệt độ cao và mang lại độ ổn định nhiệt cùng độ bền vượt trội.