SiC Ceramic Tray on korkean suorituskyvyn piikarbidikannatin, joka on suunniteltu edistyneeseen kiekkojen käsittelyyn ja puolijohteiden valmistusympäristöihin. Korkeapuhtaasta piikarbidista (SiC) valmistetut keraamiset materiaalit tarjoavat poikkeuksellisen lämmönkestävyyden, suuren mekaanisen lujuuden ja erinomaisen kemiallisen kestävyyden vaativiin korkean lämpötilan sovelluksiin.

SiC-keramiikkalevyjä käytetään laajalti puolijohteiden valmistusprosesseissa, kuten:

• LPCVD / CVD-prosessointi
• Kiekon hehkutus
• Diffuusio
• Hapettuminen
• Epitaksia (EPI)
• Korkean lämpötilan sintraus
• Puolijohteiden lämpökäsittely

Saatavana:

• 2 tuuman kiekon käsittely
• 4 tuuman kiekon käsittely
• 6 tuuman kiekon käsittely
• 8 tuuman kiekon käsittely
• Räätälöidyt kiekkokoot ja rakenteet

Nämä tarjottimet takaavat erinomaisen kiekkotuen, tasaisen lämpötilan ja kontaminaation hallinnan koko valmistusprosessin ajan.

Tuotteen ominaisuudet

Erinomainen korkean lämpötilan kestävyys

Piikarbidikeraamiset lokerot säilyttävät erinomaisen vakauden äärimmäisissä lämpötiloissa, joten ne soveltuvat erinomaisesti puolijohdeuunien sovelluksiin ja lämpökäsittelyjärjestelmiin.

Edut:

• Erinomainen lämpöshokkien kestävyys
• Vakaa suorituskyky nopean lämmityksen ja jäähdytyksen aikana
• Pitkä käyttöikä jatkuvassa korkean lämpötilan käytössä

Korkea mekaaninen lujuus

Tavanomaisiin keraamisiin materiaaleihin verrattuna SiC-alustat tarjoavat paremman kovuuden ja taivutuslujuuden, mikä vähentää muodonmuutoksen tai halkeilun riskiä käsittelyn aikana.

Edut:

• Korkea kantavuus
• Erinomainen mittapysyvyys
• Soveltuu automatisoituihin kiekkojen käsittelyjärjestelmiin
• Vähennetty huoltotiheys

Erinomainen kemiallinen kestävyys

SiC-keraamiset lokerot kestävät hyvin korroosiokemikaaleja ja reaktiivisia prosessikaasuja, joita käytetään yleisesti puolijohteiden valmistuksessa.

Kestää:

• Hapot
• Alkalit
• Syövyttävät kaasut
• Kemialliset höyryt

Tämä takaa pitkäaikaisen luotettavuuden ankarissa prosessiympäristöissä.

Erinomainen lämmönjohtavuus

Piikarbidin korkea lämmönjohtavuus mahdollistaa nopean ja tasaisen lämmönsiirron koko tarjottimen pinnalla.

Käsittelyn edut:

• Kiekon lämpötilan tasaisuuden parantaminen
• Vähennetyt lämpöerot
• Parannettu prosessin johdonmukaisuus
• Pienemmät kiekkovirheiden määrät

Alhainen lämpölaajeneminen

Alhainen lämpölaajenemiskerroin auttaa säilyttämään rakenteellisen tarkkuuden toistuvien lämpösyklien aikana.

Tulos:

• Vähentynyt vääntyminen
• Parempi kiekon kohdistaminen
• Parempi tuotannon vakaus

Puolijohde-luokan puhtaus

99,9%-puhtaasta piikarbidimateriaalista valmistetut lokerot auttavat minimoimaan hiukkaskontaminaation ja tukevat puhdastilan puolijohdetuotantostandardeja.

Tekniset tiedot

Kiinteistö	Arvo
Materiaali	Piikarbidi (SiC)
Puhtaus	99.9%
Väri	Musta
Tiheys	3,14 g/cm³
Taivutuslujuus	410 MPa
Youngin moduuli	430 GPa
Poissonin luku	0.17
Murtumiskestävyys	2-3 MPa-m1/2
Lämpölaajenemiskerroin	4.1 × 10-⁶/K
Lämmönjohtavuus	170 W/m-K

SiC-valmistustekniikan vertailu

Valmistusmenetelmä	Ominaisuudet	Tyypilliset sovellukset
Paineeton sintrattu SiC	Korkea puhtaus ja lämmönkestävyys	Puolijohdekiekkoalustat
Kuumapuristettu SiC	Suurempi mekaaninen lujuus	Keraamiset rakenneosat
CVD SiC	Erittäin erittäin puhdas pinta	Kehittyneet puolijohdelaitteet
Si-SiC	Kustannustehokas ratkaisu	Teollisuusuunin osat

SiC-keraamisten tarjottimien sovellukset

Puolijohdekiekkojen käsittely

Käytetään laajalti kiekkokannattimina ja tukialustoina:

• LPCVD-järjestelmät
• CVD-järjestelmät
• Diffuusiouunit
• Hapetusuunit
• Hehkutuslaitteet
• Puolijohteiden lämpöreaktorit

Yhteensopiva:

• Piikiekot
• Safiirikiekot
• SiC-kiekot
• GaN-kiekot
• Yhdistetyt puolijohdealustat

Korkean lämpötilan sintraus

Ihanteellinen kehittyneisiin keraamisiin ja jauheen sintraussovelluksiin, jotka vaativat:

• Lämpöstabiilisuus
• Hapettumiskestävyys
• Pitkä käyttöikä

Kemialliset käsittelylaitteet

Soveltuu aggressiivisiin kemiallisiin ympäristöihin erinomaisen korroosionkestävyyden ansiosta.

Sovelluksia ovat mm:

• Kemialliset reaktorit
• Puolijohteiden märkäkäsittely
• Syövyttävät kaasuympäristöt

Optinen ja tarkkuusvalmistus

Tarjoaa vakaan tuen seuraaville:

• Optiset substraatit
• Safiiri optiset komponentit
• Tarkkuus keraamiset osat

Ilmailu- ja avaruusteollisuuden ja teollisuuden lämpöjärjestelmät

Käytetään teollisuudenaloilla, jotka vaativat:

• Kevyet ja lujat materiaalit
• Lämmönhallinta
• Korroosionkestävät komponentit

Räätälöintipalvelut

Tarjoamme räätälöityjä SiC-keraamisia tarjotinratkaisuja asiakkaan vaatimusten mukaisesti.

Saatavilla olevat mukautetut vaihtoehdot

• Mukautetut mitat
• Multi-wafer-tarjottimen mallit
• Aukkojen ja urien työstö
• Tarkkuusreikien poraus
• Pinnan kiillotus
• Erikoispinnoitteet
• Räätälöity lämpökäsittelyn yhteensopivuus

SiC-keraamisten tarjottimien edut

Kvartsi-, alumiinioksidi- ja grafiittilautasiin verrattuna piikarbidikeraamiset lokerot tarjoavat:

Suorituskyky	SiC-keraaminen tarjotin
Lämmönjohtavuus	Erinomainen
Lämpöshokin kestävyys	Erinomainen
Mekaaninen lujuus	Erinomainen
Korroosionkestävyys	Erinomainen
Mittapysyvyys	Erinomainen
Käyttöikä	Pitkä

FAQ

Voidaanko SiC-keraaminen tarjotin räätälöidä?

Kyllä. Tuemme mukautettuja kokoja, rakenteita, uria ja käsittelysuunnitelmia asiakkaan kiekkomääritysten ja laitevaatimusten mukaisesti.

Mitä kiekkokokoja tuetaan?

Alustat voidaan suunnitella seuraaviin tarkoituksiin:

• 2 tuuman kiekot
• 4 tuuman kiekot
• 6 tuuman kiekot
• 8 tuuman kiekot
• Suuremmat mukautetut kiekkoformaatit

Soveltuuko SiC-alusta puolijohdeuunisovelluksiin?

Kyllä. SiC-keraamiset lokerot on suunniteltu erityisesti korkean lämpötilan puolijohteiden käsittely-ympäristöihin, ja ne tarjoavat erinomaista lämmönkestävyyttä ja kestävyyttä.