Keramický zásobník SiC je vysoce výkonný nosič z karbidu křemíku určený pro pokročilé zpracování destiček a prostředí výroby polovodičů. Tyto zásobníky jsou vyrobeny z vysoce čistého keramického materiálu karbidu křemíku (SiC) a poskytují výjimečnou tepelnou stabilitu, vysokou mechanickou pevnost a vynikající chemickou odolnost pro náročné vysokoteplotní aplikace.

Keramické zásobníky SiC se široce používají v procesech výroby polovodičů, jako jsou:

• Zpracování LPCVD / CVD
• Žíhání destiček
• Difúze
• Oxidace
• Epitaxe (EPI)
• Vysokoteplotní slinování
• Tepelné zpracování polovodičů

K dispozici pro:

• Zpracování 2palcových oplatek
• Zpracování 4palcových oplatek
• Zpracování 6palcových oplatek
• Zpracování 8palcových oplatek
• Přizpůsobené velikosti a struktury destiček

Tyto zásobníky zajišťují vynikající podporu destiček, rovnoměrnost teploty a kontrolu kontaminace v průběhu celého výrobního procesu.

Vlastnosti produktu

Vynikající odolnost proti vysokým teplotám

Keramické zásobníky z karbidu křemíku si zachovávají vynikající stabilitu při extrémních teplotách, takže jsou ideální pro aplikace v polovodičových pecích a systémech tepelného zpracování.

Výhody:

• Vynikající odolnost proti teplotním šokům
• Stabilní výkon při rychlém ohřevu a chlazení
• Dlouhá životnost při nepřetržitém provozu za vysokých teplot

Vysoká mechanická pevnost

V porovnání s běžnými keramickými materiály mají zásobníky SiC vynikající tvrdost a pevnost v ohybu, což snižuje riziko deformace nebo praskání při zpracování.

Výhody:

• Vysoká nosnost
• Vynikající rozměrová stabilita
• Vhodné pro automatizované systémy manipulace s destičkami
• Snížená četnost údržby

Vynikající chemická odolnost

Keramické zásobníky SiC jsou vysoce odolné vůči korozivním chemikáliím a reaktivním procesním plynům, které se běžně používají při výrobě polovodičů.

Odolný vůči:

• Kyseliny
• Alkálie
• Žíravé plyny
• Chemické výpary

Tím je zajištěna dlouhodobá spolehlivost v náročných provozních podmínkách.

Vynikající tepelná vodivost

Vysoká tepelná vodivost karbidu křemíku umožňuje rychlý a rovnoměrný přenos tepla po celém povrchu zásobníku.

Výhody zpracování:

• Zlepšená teplotní rovnoměrnost destiček
• Snížení tepelných gradientů
• Zvýšená konzistence procesů
• Nižší počet vadných plátků

Nízká tepelná roztažnost

Nízký koeficient tepelné roztažnosti pomáhá zachovat přesnost konstrukce při opakovaných tepelných cyklech.

Výsledek:

• Snížení deformací
• Lepší zarovnání destiček
• Zlepšená stabilita výroby

Čistota polovodičové třídy

Zásobníky jsou vyrobeny z materiálu karbidu křemíku o vysoké čistotě 99,9% a pomáhají minimalizovat kontaminaci částicemi a podporují standardy výroby polovodičů v čistých prostorách.

Technické specifikace

Majetek	Hodnota
Materiál	Karbid křemíku (SiC)
Purity	99.9%
Barva	Černá
Hustota	3,14 g/cm³
Pevnost v ohybu	410 MPa
Youngův modul	430 GPa
Poissonův poměr	0.17
Lomová houževnatost	2-3 MPa-m1/2
Koeficient tepelné roztažnosti	4.1 × 10-⁶/K
Tepelná vodivost	170 W/m-K

Srovnání výrobních technologií SiC

Výrobní metoda	Funkce	Typické aplikace
Beztlakové slinování SiC	Vysoká čistota a tepelná stabilita	Zásobníky na polovodičové destičky
SiC lisovaný za tepla	Vyšší mechanická pevnost	Konstrukční keramické díly
CVD SiC	Velmi čistý povrch	Pokročilá polovodičová zařízení
Si-SiC	Nákladově efektivní řešení	Komponenty průmyslových pecí

Použití keramických zásobníků SiC

Zpracování polovodičových destiček

Široce se používají jako nosiče oplatek a podpěrné tácy v:

• Systémy LPCVD
• Systémy CVD
• Difuzní pece
• Oxidační pece
• Žíhací zařízení
• Polovodičové tepelné reaktory

Kompatibilní s:

• Křemíkové destičky
• Safírové oplatky
• SiC destičky
• GaN destičky
• Složené polovodičové substráty

Vysokoteplotní slinování

Ideální pro pokročilé aplikace spékání keramiky a prášků, které vyžadují:

• Tepelná stabilita
• Odolnost proti oxidaci
• Dlouhá provozní životnost

Zařízení pro chemické zpracování

Vhodné do agresivního chemického prostředí díky vynikající odolnosti proti korozi.

Mezi aplikace patří:

• Chemické reaktory
• Mokré zpracování polovodičů
• Prostředí korozivních plynů

Optická a přesná výroba

Poskytuje stabilní podporu pro:

• Optické substráty
• Safírové optické komponenty
• Přesné keramické díly

Letectví a průmyslové tepelné systémy

Používá se v odvětvích vyžadujících:

• Lehké materiály s vysokou pevností
• Tepelné řízení
• Součásti odolné proti korozi

Služby přizpůsobení

Poskytujeme řešení keramických zásobníků SiC na zakázku podle požadavků zákazníka.

Dostupné vlastní možnosti

• Vlastní rozměry
• Konstrukce zásobníků pro více desek
• Obrábění drážek
• Přesné vrtání otvorů
• Leštění povrchu
• Speciální nátěry
• Kompatibilita s tepelným zpracováním na míru

Výhody keramických zásobníků SiC

V porovnání s křemennými, korundovými a grafitovými zásobníky poskytují keramické zásobníky z karbidu křemíku:

Výkon	Keramický zásobník SiC
Tepelná vodivost	Vynikající
Odolnost proti teplotním šokům	Vynikající
Mechanická pevnost	Vynikající
Odolnost proti korozi	Vynikající
Rozměrová stabilita	Vynikající
Životnost	Long

ČASTO KLADENÉ DOTAZY

Lze keramický zásobník SiC upravit na míru?

Ano. Podporujeme vlastní velikosti, struktury, drážky a návrhy zpracování podle specifikací a požadavků zákazníka.

Jaké velikosti destiček jsou podporovány?

Zásobníky mohou být určeny pro:

• 2palcové oplatky
• 4palcové oplatky
• 6palcové oplatky
• 8palcové oplatky
• Větší vlastní formáty oplatek

Je zásobník SiC vhodný pro použití v polovodičových pecích?

Ano, keramické tácky SiC jsou speciálně navrženy pro vysokoteplotní prostředí zpracování polovodičů a poskytují vynikající tepelnou stabilitu a odolnost.