Taca ceramiczna SiC to wysokowydajny nośnik z węglika krzemu przeznaczony do zaawansowanego przetwarzania płytek i środowisk produkcji półprzewodników. Zaprojektowane z wysokiej czystości materiału ceramicznego z węglika krzemu (SiC), tace te zapewniają wyjątkową stabilność termiczną, wysoką wytrzymałość mechaniczną i doskonałą odporność chemiczną w wymagających zastosowaniach wysokotemperaturowych.

Tace ceramiczne SiC są szeroko stosowane w procesach produkcji półprzewodników, takich jak:

• Przetwarzanie LPCVD / CVD
• Wyżarzanie wafli
• Dyfuzja
• Utlenianie
• Epitaksja (EPI)
• Spiekanie w wysokiej temperaturze
• Przetwarzanie termiczne półprzewodników

Dostępne dla:

• Przetwarzanie wafli 2-calowych
• Przetwarzanie wafli 4-calowych
• Przetwarzanie wafli 6-calowych
• Przetwarzanie wafli 8-calowych
• Niestandardowe rozmiary i struktury płytek

Tace te zapewniają doskonałe podparcie wafli, jednorodność temperatury i kontrolę zanieczyszczeń w całym procesie produkcyjnym.

Cechy produktu

Doskonała odporność na wysokie temperatury

Tace ceramiczne z węglika krzemu zachowują wyjątkową stabilność w ekstremalnych temperaturach, dzięki czemu idealnie nadają się do zastosowań w piecach półprzewodnikowych i systemach obróbki termicznej.

Zalety:

• Doskonała odporność na szok termiczny
• Stabilna wydajność podczas szybkiego nagrzewania i chłodzenia
• Długa żywotność przy ciągłej pracy w wysokiej temperaturze

Wysoka wytrzymałość mechaniczna

W porównaniu z konwencjonalnymi materiałami ceramicznymi, tace SiC oferują doskonałą twardość i wytrzymałość na zginanie, zmniejszając ryzyko deformacji lub pękania podczas przetwarzania.

Korzyści:

• Wysoka nośność
• Doskonała stabilność wymiarowa
• Nadaje się do zautomatyzowanych systemów obsługi płytek
• Zmniejszona częstotliwość konserwacji

Wyjątkowa odporność chemiczna

Tace ceramiczne SiC są wysoce odporne na korozyjne chemikalia i reaktywne gazy procesowe powszechnie stosowane w produkcji półprzewodników.

Odporność na:

• Kwasy
• Alkalia
• Gazy korozyjne
• Opary chemiczne

Zapewnia to długotrwałą niezawodność w trudnych warunkach procesowych.

Doskonała przewodność cieplna

Wysoka przewodność cieplna węglika krzemu umożliwia szybkie i równomierne przenoszenie ciepła przez powierzchnię tacy.

Korzyści z przetwarzania:

• Lepsza jednorodność temperatury wafla
• Zmniejszone gradienty termiczne
• Zwiększona spójność procesu
• Niższe wskaźniki defektów płytek

Niska rozszerzalność cieplna

Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej pomaga zachować dokładność strukturalną podczas powtarzających się cykli termicznych.

Wynik:

• Zmniejszone wypaczanie
• Lepsze wyrównanie płytek
• Zwiększona stabilność produkcji

Czystość klasy półprzewodnikowej

Wyprodukowane przy użyciu materiału z węglika krzemu o wysokiej czystości 99,9%, tace pomagają zminimalizować zanieczyszczenie cząsteczkami i wspierają standardy produkcji półprzewodników w pomieszczeniach czystych.

Specyfikacja techniczna

Własność	Wartość
Materiał	Węglik krzemu (SiC)
Czystość	99.9%
Kolor	Czarny
Gęstość	3,14 g/cm³
Wytrzymałość na zginanie	410 MPa
Moduł Younga	430 GPa
Współczynnik Poissona	0.17
Wytrzymałość na złamania	2-3 MPa-m1/2
Współczynnik rozszerzalności cieplnej	4.1 × 10-⁶/K
Przewodność cieplna	170 W/m-K

Porównanie technologii produkcji SiC

Metoda produkcji	Cechy	Typowe zastosowania
SiC spiekany bezciśnieniowo	Wysoka czystość i stabilność termiczna	Tacki na płytki półprzewodnikowe
SiC prasowany na gorąco	Wyższa wytrzymałość mechaniczna	Strukturalne części ceramiczne
CVD SiC	Powierzchnia o bardzo wysokiej czystości	Zaawansowany sprzęt półprzewodnikowy
Si-SiC	Ekonomiczne rozwiązanie	Elementy pieców przemysłowych

Zastosowania tac ceramicznych SiC

Przetwarzanie płytek półprzewodnikowych

Szeroko stosowane jako nośniki wafli i tace podporowe:

• Systemy LPCVD
• Systemy CVD
• Piece dyfuzyjne
• Piece utleniające
• Sprzęt do wyżarzania
• Półprzewodnikowe reaktory termiczne

Kompatybilny z:

• Wafle krzemowe
• Wafle szafirowe
• Wafle SiC
• Wafle GaN
• Złożone podłoża półprzewodnikowe

Spiekanie w wysokiej temperaturze

Idealny do zaawansowanych zastosowań ceramicznych i spiekania proszków wymagających:

• Stabilność termiczna
• Odporność na utlenianie
• Długi okres eksploatacji

Sprzęt do przetwarzania chemicznego

Nadaje się do agresywnych środowisk chemicznych dzięki doskonałej odporności na korozję.

Aplikacje obejmują:

• Reaktory chemiczne
• Przetwarzanie półprzewodników na mokro
• Środowiska gazów korozyjnych

Optyka i produkcja precyzyjna

Zapewnia stabilne wsparcie dla:

• Podłoża optyczne
• Szafirowe elementy optyczne
• Precyzyjne części ceramiczne

Lotnicze i przemysłowe systemy termiczne

Używany w branżach wymagających:

• Lekkie materiały o wysokiej wytrzymałości
• Zarządzanie ciepłem
• Komponenty odporne na korozję

Usługi dostosowywania

Dostarczamy niestandardowe rozwiązania tac ceramicznych SiC zgodnie z wymaganiami klienta.

Dostępne opcje niestandardowe

• Wymiary niestandardowe
• Konstrukcje tacek z wieloma waflami
• Obróbka szczelin i rowków
• Precyzyjne wiercenie otworów
• Polerowanie powierzchni
• Powłoki specjalne
• Dostosowana kompatybilność przetwarzania termicznego

Zalety tac ceramicznych SiC

W porównaniu z tacami kwarcowymi, korundowymi i grafitowymi, tace ceramiczne z węglika krzemu zapewniają:

Wydajność	Taca ceramiczna SiC
Przewodność cieplna	Doskonały
Odporność na szok termiczny	Doskonały
Wytrzymałość mechaniczna	Doskonały
Odporność na korozję	Doskonały
Stabilność wymiarowa	Doskonały
Żywotność	Długi

FAQ

Czy tacę ceramiczną SiC można dostosować?

Tak. Obsługujemy niestandardowe rozmiary, struktury, rowki i projekty przetwarzania zgodnie ze specyfikacjami wafli klienta i wymaganiami sprzętowymi.

Jakie rozmiary płytek są obsługiwane?

Tace mogą być przeznaczone do:

• 2-calowe wafle
• 4-calowe wafle
• Wafle 6 cali
• Wafle 8 cali
• Większe niestandardowe formaty płytek

Czy taca SiC nadaje się do zastosowań w piecach półprzewodnikowych?

Tak, tace ceramiczne SiC są specjalnie zaprojektowane do pracy w środowiskach przetwarzania półprzewodników w wysokich temperaturach i zapewniają doskonałą stabilność termiczną i trwałość.