Piikarbidin (SiC) porrastettu keraaminen levy on korkean suorituskyvyn omaava keraaminen rakenneosa, joka on suunniteltu puolijohteiden käsittelylaitteisiin ja korkean lämpötilan teollisuusjärjestelmiin. Komponentissa on tarkkaan työstetty porrastettu profiili, joka mahdollistaa tarkan asemoinnin, turvallisen kokoonpanon ja erinomaisen mittatarkkuuden vaativissa prosessiympäristöissä.
Tämä komponentti on valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidikeramiikasta, ja se kestää poikkeuksellisen hyvin plasmaaltistusta, lämpöshokkia, kemiallista korroosiota ja äärimmäisiä lämpötiloja. Sen suuri jäykkyys ja lämmönjohtavuus tekevät siitä ihanteellisen rakenteellisiin ja suojaaviin sovelluksiin puolijohdelaitteiden sisällä.
Pitkäaikaiseen luotettavuuteen suunniteltuja SiC-porrastettuja keraamisia levyjä käytetään laajalti prosessikammioissa, tyhjiöjärjestelmissä, lämpölaitteissa ja plasmaan liittyvissä puolijohdesovelluksissa.
Tärkeimmät ominaisuudet
Erittäin puhdas piikarbidi materiaali
Valmistettu ≥99% SiC-keraamisesta materiaalista, jolla on erinomainen terminen ja mekaaninen suorituskyky.
Tarkkuus porrastettu rakenne
Porrastettu reunageometria takaa tarkan paikannuksen ja vakaan mekaanisen kokoonpanon.
Erinomainen lämmönkestävyys
Pystyy toimimaan jatkuvasti yli 1600 °C:n lämpötiloissa inertissä ympäristössä minimaalisella muodonmuutoksella.
Erinomainen plasman kestävyys
Kestää plasmaeroosiota ja syövyttäviä prosessikaasuja, joita käytetään puolijohteiden valmistuksessa.
Korkea lämmönjohtavuus
Lämmönjohtavuus 120-200 W/m-K mahdollistaa tehokkaan lämmönsiirron ja lämpötilan tasaisuuden.
Korkea mekaaninen lujuus
Erinomainen jäykkyys ja kulutuskestävyys pitkäaikaiseen käyttöön vaativissa olosuhteissa.
Tyhjiöyhteensopiva
Alhaisen kaasuuntumisen ansiosta se soveltuu puhtaisiin ja tyhjiöprosessointiympäristöihin.
Täysin muokattavissa
Mitat, askelmarakenne, toleranssit ja reunageometria voidaan räätälöidä piirustusten mukaan.
Tyypilliset sovellukset
- Puolijohdeprosessikammiot
- CVD / PECVD / LPCVD-järjestelmät
- Plasmaetsauslaitteet
- Kammion kannet ja vuoraussuojukset
- Korkean lämpötilan tukirakenteet
- Tyhjiöprosessointijärjestelmät
- Plasmaa vasten olevat keraamiset komponentit
- Optoelektroniset valmistuslaitteet
Tekniset tiedot
| Kohde | Tekniset tiedot |
|---|---|
| Materiaali | Piikarbidi (SiC) |
| Puhtaus | ≥99% |
| Tiheys | 3,10-3,20 g/cm³. |
| Kovuus | ≥2500 HV |
| Taivutuslujuus | ≥350 MPa |
| Kimmomoduuli | ~410 GPa |
| Lämmönjohtavuus | 120-200 W/m-K |
| Lämpölaajenemiskerroin | ~4.0 ×10-⁶ /K |
| Maksimilämpötila (inertti ilmakehä) | >1600°C |
| Maksimilämpötila (ilma) | ~1400°C |
| Pinnan viimeistely | Hiottu / valinnainen kiillotus |
| Ympäristön yhteensopivuus | Tyhjiö, plasma, syövyttävä kaasu |
Tuotantovalmiudet
Tuemme kehittyneitä keraamisia prosessointitekniikoita, mukaan lukien:
- Tarkka CNC-työstö
- Pinnan hionta
- Hienohöyläys ja kiillotus
- Mukautettu vaiheen työstö
- Reunan viisteen käsittely
- Tiukan toleranssin valmistus
- Prototyyppi- ja sarjatuotanto
Mukauttamisvaihtoehdot
Saatavilla oleva räätälöinti sisältää:
- Ulkohalkaisija ja paksuus
- Askelman korkeus ja leveys
- Tasaisuusvaatimukset
- Pinnan karheuden hallinta
- Reunarakenne ja viisteet
- Hienokiillotusvaihtoehdot
- Piirustuksiin perustuva OEM-tuotanto
SiC-keraamisten komponenttien edut
Tavanomaisiin materiaaleihin verrattuna SiC-keraaminen tarjoaa:
- Korkeampi lämmönjohtavuus
- Parempi lämpöshokkien kestävyys
- Erinomainen plasman kestävyys
- Pienempi lämpölaajeneminen
- Vahva kemiallinen stabiilisuus
- Pidempi käyttöikä puolijohdelaitteissa
FAQ
Kysymys 1: Mikä on porrastetun rakenteen ensisijainen tarkoitus?
Porrastettu geometria mahdollistaa tarkan paikannuksen ja luotettavan kokoonpanon prosessilaitteiden sisällä.
Kysymys 2: Kestääkö tämä komponentti plasmaympäristöjä?
Kyllä. Piikarbidi kestää erinomaisesti plasmaeroosiota ja syövyttäviä prosessikaasuja.
Kysymys 3: Onko komponentti tyhjiöyhteensopiva?
Kyllä. Materiaalilla on alhainen kaasunpoistoaste ja vakaa suorituskyky tyhjiöolosuhteissa.
Q4: Voiko mittoja mukauttaa?
Kyllä. Koko, askelprofiili, toleranssit ja reunaominaisuudet voidaan valmistaa asiakkaan vaatimusten mukaisesti.
Q5: Onko kiillotettuja versioita saatavilla?
Valinnainen hienohionta ja kiillotus voidaan tarjota sovelluksen vaatimusten mukaan.
Arviot
Tuotearvioita ei vielä ole.