صفيحة كربيد السيليكون الخزفية المتدرجة (SiC) عبارة عن مكون سيراميك هيكلي عالي الأداء مصمم هندسيًا لمعدات معالجة أشباه الموصلات والأنظمة الصناعية عالية الحرارة. يتميز هذا المكون بمظهر جانبي متدرج دقيق التشكيل، ويتيح المكوّن تحديدًا دقيقًا للموضع وتجميعًا آمنًا وثباتًا ممتازًا في الأبعاد في بيئات المعالجة الصعبة.
صُنع هذا المكوّن من سيراميك كربيد السيليكون عالي النقاء، ويوفر مقاومة استثنائية للتعرض للبلازما والصدمات الحرارية والتآكل الكيميائي ودرجات الحرارة القصوى. كما أن صلابته العالية وتوصيله الحراري يجعله مثاليًا للتطبيقات الهيكلية والوقائية داخل معدات أشباه الموصلات.
تُستخدم ألواح السيراميك المتدرجة SiC، المصممة لتحقيق الموثوقية على المدى الطويل، على نطاق واسع في غرف المعالجة، وأنظمة التفريغ، والمعدات الحرارية، وتطبيقات أشباه الموصلات المتعلقة بالبلازما.
الميزات الرئيسية
مادة كربيد السيليكون عالية النقاء
مصنوع من سيراميك ≥99% SiC سيراميك ≥99% بأداء حراري وميكانيكي ممتاز.
بنية متدرجة دقيقة
توفر هندسة الحافة المتدرجة تموضعاً دقيقاً وتجميعاً ميكانيكياً مستقراً.
ثبات حراري متميز
قادرة على العمل بشكل مستمر في درجات حرارة أعلى من 1600 درجة مئوية في بيئات خاملة بأقل قدر من التشوه.
مقاومة ممتازة للبلازما
مقاومة لتآكل البلازما وغازات العمليات المسببة للتآكل المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات.
موصلية حرارية عالية
تتيح الموصلية الحرارية التي تتراوح بين 120-200 واط/م-ك نقل الحرارة بكفاءة وتوحيد درجة الحرارة.
قوة ميكانيكية عالية
صلابة ممتازة ومقاومة ممتازة للتشغيل طويل الأمد في ظل الظروف الصعبة.
متوافق مع المكنسة الكهربائية
خصائص منخفضة الانبعاثات الغازية تجعله مناسبًا لبيئات المعالجة النظيفة والفراغية.
قابل للتخصيص بالكامل
يمكن تخصيص الأبعاد وهيكل الدرجات والتفاوتات والتفاوتات المسموح بها وهندسة الحواف وفقًا للرسومات.
التطبيقات النموذجية
- غرف معالجة أشباه الموصلات
- أنظمة التفحيم بالتقنية CVD/التفحيم الكهروضوئي المستقل/التفحيم الكهروضوئي المنخفض الكثافة
- معدات الحفر بالبلازما
- أغطية الحجرة وأغطية البطانة
- هياكل الدعم في درجات الحرارة العالية
- أنظمة المعالجة بالتفريغ
- مكونات سيراميك مواجهة للبلازما
- معدات تصنيع الإلكترونيات الضوئية
المواصفات الفنية
| البند | المواصفات |
|---|---|
| المواد | كربيد السيليكون (SiC) |
| النقاء | ≥99% |
| الكثافة | 3.10 - 3.20 جم/سم مكعب |
| الصلابة | ≥ 2500 فولت هيدروجيني |
| قوة الانثناء | ≥350 ميجا باسكال |
| معامل المرونة | ~حوالي 410 جيجا باسكال |
| التوصيل الحراري | 120-200 واط/م/كلفن |
| معامل التمدد الحراري | ~4.0 ×10-⁶ /K |
| درجة الحرارة القصوى (الغلاف الجوي الخامل) | >1600°C |
| درجة الحرارة القصوى (الهواء) | ~1400°C |
| تشطيب السطح | التلميع الأرضي / الاختياري |
| التوافق البيئي | التفريغ والبلازما والغازات المسببة للتآكل |
قدرات التصنيع
نحن ندعم تقنيات معالجة السيراميك المتقدمة بما في ذلك:
- التصنيع الآلي الدقيق باستخدام الحاسب الآلي
- طحن السطح
- الصقل والتلميع الدقيق
- التصنيع الآلي التدريجي المخصص
- معالجة شطب الحواف
- تصنيع التفاوتات الضيقة
- النموذج الأولي والإنتاج بكميات كبيرة
خيارات التخصيص
يتضمن التخصيص المتاح ما يلي:
- القطر الخارجي والسُمك
- ارتفاع الخطوة وعرضها
- متطلبات التسطيح
- التحكم في خشونة السطح
- هيكل الحواف والشطب
- خيارات التلميع الدقيقة
- إنتاج المعدات الأصلية القائمة على الرسم
مزايا مكوّنات سيراميك SiC
بالمقارنة مع المواد التقليدية، يوفر سيراميك SiC:
- توصيل حراري أعلى
- مقاومة أفضل للصدمات الحرارية
- متانة بلازما فائقة
- تمدد حراري أقل
- ثبات كيميائي قوي
- عمر خدمة أطول في معدات أشباه الموصلات
الأسئلة الشائعة
س1: ما هو الغرض الأساسي من الهيكل المتدرج؟
تتيح الهندسة المتدرجة التموضع الدقيق والتجميع الموثوق به داخل معدات المعالجة.
س2: هل يمكن لهذا المكون أن يتحمل بيئات البلازما؟
نعم. يتمتع كربيد السيليكون بمقاومة ممتازة لتآكل البلازما وغازات المعالجة المسببة للتآكل.
س3: هل المكوّن متوافق مع المكنسة الكهربائية؟
نعم، تُظهر المادة انبعاثات غازية منخفضة وأداءً مستقرًا في ظروف التفريغ.
س4: هل يمكن تخصيص الأبعاد؟
نعم. يمكن إنتاج كل من الحجم، والمظهر الجانبي المتدرج، والتفاوتات المسموح بها، وميزات الحواف وفقًا لمتطلبات العميل.
س5: هل تتوفر إصدارات مصقولة؟
يمكن توفير الطحن والصقل الدقيق الاختياري حسب متطلبات الاستخدام.
المراجعات
لا توجد مراجعات بعد.