แผ่นเซรามิกขั้นบันไดซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เป็นส่วนประกอบเซรามิกโครงสร้างประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับอุปกรณ์การประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์และระบบอุตสาหกรรมที่มีอุณหภูมิสูง ด้วยโปรไฟล์ขั้นบันไดที่ผ่านการกลึงอย่างแม่นยำ ส่วนประกอบนี้ช่วยให้สามารถจัดตำแหน่งได้อย่างแม่นยำ ประกอบได้อย่างปลอดภัย และมีความเสถียรทางมิติที่ยอดเยี่ยมในสภาพแวดล้อมกระบวนการที่ท้าทาย.
ผลิตจากเซรามิกคาร์ไบด์ซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูง ส่วนประกอบนี้มีความต้านทานที่ยอดเยี่ยมต่อการสัมผัสพลาสมา การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว การกัดกร่อนทางเคมี และอุณหภูมิที่รุนแรง ความแข็งและความนำความร้อนสูงทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานโครงสร้างและการป้องกันภายในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์.
ออกแบบมาเพื่อความน่าเชื่อถือในระยะยาว แผ่นเซรามิกขั้นบันได SiC ถูกใช้อย่างแพร่หลายในห้องกระบวนการ ระบบสุญญากาศ อุปกรณ์ความร้อน และการประยุกต์ใช้เซมิคอนดักเตอร์ที่เกี่ยวข้องกับพลาสมา.
คุณสมบัติเด่น
วัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์ความบริสุทธิ์สูง
ผลิตจากเซรามิก SiC ≥99% ที่มีประสิทธิภาพทางความร้อนและเชิงกลที่ยอดเยี่ยม.
โครงสร้างแบบขั้นแม่นยำ
รูปทรงขอบแบบขั้นช่วยให้การวางตำแหน่งแม่นยำและการประกอบเชิงกลมีความมั่นคง.
ความเสถียรทางความร้อนที่โดดเด่น
สามารถทำงานต่อเนื่องได้ที่อุณหภูมิสูงกว่า 1600°C ในสภาพแวดล้อมเฉื่อยที่มีการเปลี่ยนรูปน้อยที่สุด.
ต้านทานพลาสมาได้อย่างยอดเยี่ยม
ทนต่อการกัดกร่อนจากพลาสมาและก๊าซกระบวนการที่มีฤทธิ์กัดกร่อนซึ่งใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์.
การนำความร้อนสูง
การนำความร้อนที่ 120–200 วัตต์ต่อเมตรเคลวิน ช่วยให้การถ่ายเทความร้อนมีประสิทธิภาพและความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ.
ความแข็งแรงทางกลสูง
ความแข็งแกร่งและความทนทานต่อการสึกหรอที่ยอดเยี่ยมสำหรับการใช้งานระยะยาวภายใต้สภาวะที่ท้าทาย.
เข้ากันได้กับระบบสุญญากาศ
คุณสมบัติการปล่อยก๊าซต่ำทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่สะอาดและสุญญากาศ.
ปรับแต่งได้อย่างเต็มที่
ขนาด, โครงสร้างขั้นบันได, ความคลาดเคลื่อน, และรูปทรงขอบสามารถปรับแต่งได้ตามแบบ.
การใช้งานทั่วไป
- ห้องกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
- ระบบ CVD / PECVD / LPCVD
- อุปกรณ์การกัดเซาะด้วยพลาสมา
- ฝาครอบห้องและฝาปิดซับใน
- โครงสร้างรองรับอุณหภูมิสูง
- ระบบกระบวนการสุญญากาศ
- ส่วนประกอบเซรามิกที่สัมผัสพลาสมา
- อุปกรณ์การผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เชิงแสง
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| รายการ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| วัสดุ | ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) |
| ความบริสุทธิ์ | ≥99% |
| ความหนาแน่น | 3.10–3.20 กรัม/ลูกบาศก์เซนติเมตร |
| ความแข็ง | ≥2500 โวลต์สูง |
| ความแข็งแรงในการดัด | ≥350 เมกะปาสคาล |
| โมดูลัสยืดหยุ่น | ประมาณ 410 กิกะปาสคาล |
| การนำความร้อน | 120–200 วัตต์ต่อตารางเมตร·เคลวิน |
| สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน | ประมาณ 4.0 ×10⁻⁶ /K |
| อุณหภูมิสูงสุด (ในบรรยากาศเฉื่อย) | >1600°C |
| อุณหภูมิสูงสุด (อากาศ) | ประมาณ 1400°C |
| ผิวสำเร็จ | พื้นผิว / การขัดเงาตามต้องการ |
| ความเข้ากันได้กับสิ่งแวดล้อม | สูญญากาศ, พลาสมา, แก๊สกัดกร่อน |
ศักยภาพการผลิต
เราสนับสนุนเทคโนโลยีการแปรรูปเซรามิกขั้นสูง รวมถึง:
- การกลึงซีเอ็นซีด้วยความแม่นยำสูง
- การเจียรผิว
- การขัดเงาและการขัดเงาละเอียด
- การกลึงขั้นบันไดตามสั่ง
- การตัดขอบเอียง
- การผลิตที่มีความแม่นยำสูง
- ต้นแบบและการผลิตจำนวนมาก
ตัวเลือกการปรับแต่ง
การปรับแต่งที่มีให้เลือก ได้แก่:
- เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกและความหนา
- ความสูงและความกว้างของขั้นบันได
- ข้อกำหนดความเรียบ
- การควบคุมความหยาบผิว
- โครงสร้างขอบและมุมลบมุม
- ตัวเลือกการขัดเงาละเอียด
- การผลิตแบบ OEM ที่ใช้การวาดภาพเป็นพื้นฐาน
ข้อดีของส่วนประกอบเซรามิก SiC
เมื่อเปรียบเทียบกับวัสดุแบบดั้งเดิม เซรามิก SiC มีข้อดีดังนี้:
- การนำความร้อนที่สูงขึ้น
- ทนต่อแรงกระแทกทางความร้อนได้ดีขึ้น
- ความทนทานของพลาสมาที่เหนือกว่า
- การขยายตัวทางความร้อนที่ต่ำกว่า
- ความคงตัวทางเคมีสูง
- อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้นในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
คำถามที่พบบ่อย
คำถามที่ 1: วัตถุประสงค์หลักของโครงสร้างแบบขั้นคืออะไร?
รูปทรงแบบขั้นบันไดช่วยให้สามารถจัดวางตำแหน่งได้อย่างแม่นยำและประกอบภายในอุปกรณ์กระบวนการได้อย่างเชื่อถือได้.
คำถามที่ 2: ส่วนประกอบนี้สามารถทนต่อสภาพแวดล้อมพลาสมาได้หรือไม่?
ใช่. ซิลิคอนคาร์ไบด์มีความต้านทานต่อการกัดกร่อนจากพลาสมาและก๊าซกระบวนการที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้อย่างยอดเยี่ยม.
คำถามที่ 3: ส่วนประกอบนี้สามารถใช้งานกับระบบสุญญากาศได้หรือไม่?
ใช่ วัสดุนี้มีการปล่อยก๊าซต่ำและมีประสิทธิภาพที่เสถียรภายใต้สภาวะสุญญากาศ.
คำถามที่ 4: สามารถปรับแต่งขนาดได้หรือไม่?
ใช่ ขนาด, รูปแบบขั้นบันได, ความคลาดเคลื่อน, และลักษณะขอบสามารถผลิตได้ตามความต้องการของลูกค้า.
คำถามที่ 5: มีเวอร์ชันที่ขัดเงาจำหน่ายหรือไม่?
สามารถให้บริการการบดละเอียดและการขัดเงาเพิ่มเติมได้ตามความต้องการของการใช้งาน.
รีวิว
ยังไม่มีบทวิจารณ์