A szilícium-karbid (SiC) lépcsős kerámialap egy nagy teljesítményű szerkezeti kerámiaelem, amelyet félvezető-feldolgozó berendezésekhez és magas hőmérsékletű ipari rendszerekhez terveztek. A precíziósan megmunkált lépcsős profillal rendelkező alkatrész pontos pozicionálást, biztonságos összeszerelést és kiváló méretstabilitást tesz lehetővé igényes technológiai környezetekben.
A nagy tisztaságú szilícium-karbid kerámiából készült alkatrész kivételes ellenállást biztosít a plazmaexpozícióval, a termikus sokkokkal, a kémiai korrózióval és a szélsőséges hőmérsékletekkel szemben. Nagy merevségének és hővezető képességének köszönhetően ideális a félvezető berendezéseken belüli szerkezeti és védelmi alkalmazásokhoz.
A hosszú távú megbízhatóságra tervezett SiC lépcsős kerámialemezeket széles körben használják technológiai kamrákban, vákuumrendszerekben, termikus berendezésekben és plazmával kapcsolatos félvezető alkalmazásokban.
Fő jellemzők
Nagy tisztaságú szilícium-karbid anyag
Kiváló termikus és mechanikai teljesítményű ≥99% SiC kerámiából készül.
Precíziós lépcsős szerkezet
A lépcsős élgeometria pontos pozicionálást és stabil mechanikai összeszerelést biztosít.
Kiváló hőstabilitás
Folyamatosan 1600 °C feletti hőmérsékleten, inert környezetben, minimális deformációval képes működni.
Kiváló plazmaállóság
Ellenáll a plazmaeróziónak és a félvezetőgyártásban használt korróziós folyamatgázoknak.
Magas hővezető képesség
A 120-200 W/m-K hővezető képesség hatékony hőátadást és egyenletes hőmérsékletet tesz lehetővé.
Nagy mechanikai szilárdság
Kiváló merevség és kopásállóság a hosszú távú működéshez igényes körülmények között.
Vákuum kompatibilis
Alacsony kiáramlási jellemzői alkalmassá teszik tiszta és vákuumos feldolgozási környezetekben.
Teljesen testreszabható
A méretek, a lépésszerkezet, a tűrések és az élgeometria a rajzok alapján testre szabhatók.
Tipikus alkalmazások
- Félvezető technológiai kamrák
- CVD / PECVD / LPCVD rendszerek
- Plazma maró berendezés
- Kamrafedelek és béléssapkák
- Magas hőmérsékletű tartószerkezetek
- Vákuum-feldolgozó rendszerek
- Plazmára néző kerámia alkatrészek
- Optoelektronikai gyártóberendezések
Műszaki specifikációk
| Tétel | Specifikáció |
|---|---|
| Anyag | Szilícium-karbid (SiC) |
| Tisztaság | ≥99% |
| Sűrűség | 3,10-3,20 g/cm³ |
| Keménység | ≥2500 HV |
| Hajlítószilárdság | ≥350 MPa |
| Rugalmassági modulus | ~410 GPa |
| Hővezető képesség | 120-200 W/m-K |
| Hőtágulási együttható | ~4.0 ×10-⁶ /K |
| Maximális hőmérséklet (inert atmoszféra) | >1600°C |
| Maximális hőmérséklet (levegő) | ~1400°C |
| Felületkezelés | Csiszolás / opcionális polírozás |
| Környezeti kompatibilitás | Vákuum, plazma, maró gázok |
Gyártási képességek
Támogatjuk a fejlett kerámiafeldolgozási technológiákat, beleértve:
- Precíziós CNC megmunkálás
- Felületcsiszolás
- Finom simítás és polírozás
- Egyedi lépéses megmunkálás
- Szélfazettás feldolgozás
- Szűk tűréshatárú gyártás
- Prototípus és sorozatgyártás
Testreszabási lehetőségek
A rendelkezésre álló testreszabási lehetőségek közé tartozik:
- Külső átmérő és vastagság
- Lépcső magassága és szélessége
- Lapossági követelmények
- Felület érdességének ellenőrzése
- Szélek szerkezete és fazetták
- Finompolírozási lehetőségek
- Rajz alapú OEM gyártás
A SiC kerámia alkatrészek előnyei
A hagyományos anyagokkal összehasonlítva a SiC-kerámia a következőket kínálja:
- Magasabb hővezető képesség
- Jobb hőállóság
- Kiváló plazma tartósság
- Alacsonyabb hőtágulás
- Erős kémiai stabilitás
- Hosszabb élettartam a félvezető berendezésekben
GYIK
1. kérdés: Mi a lépcsős szerkezet elsődleges célja?
A lépcsőzetes geometria pontos pozicionálást és megbízható összeszerelést tesz lehetővé a technológiai berendezéseken belül.
2. kérdés: Ez az alkatrész ellenáll a plazmakörnyezetnek?
Igen. A szilíciumkarbid kiválóan ellenáll a plazmaeróziónak és a korrozív technológiai gázoknak.
3. kérdés: Az alkatrész vákuum-kompatibilis?
Igen. Az anyag alacsony kiáramlású és stabil teljesítményt mutat vákuumkörülmények között.
4. kérdés: A méretek testre szabhatók?
Igen. A méret, a lépcsőprofil, a tűrések és az élek jellemzői az ügyfél igényei szerint gyárthatók.
5. kérdés: Kaphatóak csiszolt verziók?
Az alkalmazás követelményeitől függően opcionális finomcsiszolás és polírozás is biztosítható.
Értékelések
Még nincsenek értékelések.