Stupňovitá keramická deska z karbidu křemíku (SiC) je vysoce výkonná konstrukční keramická součástka určená pro zařízení na zpracování polovodičů a vysokoteplotní průmyslové systémy. Tato součástka s přesně opracovaným stupňovitým profilem umožňuje přesné polohování, bezpečnou montáž a vynikající rozměrovou stabilitu v náročných procesních prostředích.
Tato součástka je vyrobena z vysoce čistého karbidu křemíku a nabízí výjimečnou odolnost vůči působení plazmatu, tepelným šokům, chemické korozi a extrémním teplotám. Díky vysoké tuhosti a tepelné vodivosti je ideální pro konstrukční a ochranné aplikace uvnitř polovodičových zařízení.
Stupňovité keramické desky SiC jsou navrženy pro dlouhodobou spolehlivost a jsou široce používány v procesních komorách, vakuových systémech, tepelných zařízeních a polovodičových aplikacích souvisejících s plazmou.
Klíčové vlastnosti
Materiál karbidu křemíku vysoké čistoty
Vyrobeno z keramiky ≥99% SiC s vynikajícími tepelnými a mechanickými vlastnostmi.
Přesná stupňovitá konstrukce
Geometrie stupňovitých hran zajišťuje přesné polohování a stabilní mechanickou montáž.
Vynikající tepelná stabilita
Jsou schopny nepřetržitého provozu při teplotách nad 1600 °C v inertním prostředí s minimální deformací.
Vynikající odolnost proti plazmatu
Odolnost vůči plazmové erozi a korozivním procesním plynům používaným při výrobě polovodičů.
Vysoká tepelná vodivost
Tepelná vodivost 120-200 W/m-K umožňuje účinný přenos tepla a rovnoměrné rozložení teploty.
Vysoká mechanická pevnost
Vynikající tuhost a odolnost proti opotřebení pro dlouhodobý provoz v náročných podmínkách.
Kompatibilní s vakuem
Díky nízkému obsahu plynů je vhodný do čistého a vakuového prostředí.
Plně přizpůsobitelné
Rozměry, strukturu stupňů, tolerance a geometrii hran lze přizpůsobit podle výkresů.
Typické aplikace
- Procesní komory pro polovodiče
- Systémy CVD / PECVD / LPCVD
- Plazmové leptací zařízení
- Kryty komor a víčka vložek
- Podpěrné konstrukce pro vysoké teploty
- Vakuové systémy zpracování
- Keramické komponenty s plazmovým povrchem
- Optoelektronická výrobní zařízení
Technické specifikace
| Položka | Specifikace |
|---|---|
| Materiál | Karbid křemíku (SiC) |
| Purity | ≥99% |
| Hustota | 3,10-3,20 g/cm³ |
| Tvrdost | ≥2500 HV |
| Pevnost v ohybu | ≥350 MPa |
| Modul pružnosti | ~410 GPa |
| Tepelná vodivost | 120-200 W/m-K |
| Koeficient tepelné roztažnosti | ~4.0 ×10-⁶ /K |
| Maximální teplota (inertní atmosféra) | >1600°C |
| Maximální teplota (vzduch) | ~1400°C |
| Povrchová úprava | Broušení / volitelné leštění |
| Kompatibilita s prostředím | Vakuum, plazma, korozivní plyn |
Výrobní kapacity
Podporujeme pokročilé technologie zpracování keramiky včetně:
- Přesné CNC obrábění
- Broušení povrchu
- Jemné lapování a leštění
- Zakázkové stupňovité obrábění
- Zpracování hran
- Výroba s úzkou tolerancí
- Prototypová a sériová výroba
Možnosti přizpůsobení
Dostupné úpravy zahrnují:
- Vnější průměr a tloušťka
- Výška a šířka kroku
- Požadavky na rovinnost
- Kontrola drsnosti povrchu
- Struktura hran a zkosení
- Možnosti jemného leštění
- Výroba OEM na základě výkresů
Výhody keramických komponentů SiC
V porovnání s běžnými materiály nabízí keramika SiC:
- Vyšší tepelná vodivost
- Lepší odolnost proti teplotním šokům
- Vynikající odolnost plazmy
- Nižší tepelná roztažnost
- Silná chemická stabilita
- Delší životnost polovodičových zařízení
ČASTO KLADENÉ DOTAZY
Otázka 1: Jaký je hlavní účel stupňovité struktury?
Stupňovitá geometrie umožňuje přesné polohování a spolehlivou montáž uvnitř technologického zařízení.
Otázka 2: Může tato součástka odolávat plazmovému prostředí?
Ano, karbid křemíku má vynikající odolnost proti plazmové erozi a korozivním procesním plynům.
Otázka 3: Je součástka kompatibilní s vakuem?
Ano. Materiál vykazuje nízkou míru odplyňování a stabilní výkon ve vakuu.
Otázka 4: Lze rozměry přizpůsobit?
Ano. Velikost, profil kroku, tolerance a hrany lze vyrobit podle požadavků zákazníka.
Otázka 5: Jsou k dispozici leštěné verze?
V závislosti na požadavcích aplikace lze volitelně zajistit jemné broušení a leštění.
Recenze
Zatím zde nejsou žádné recenze.