إن ظرف تفريغ الهواء SiC لربط الرقاقات هو مكون امتصاص سيراميك عالي الدقة وعالي الأداء مصمم لتطبيقات تغليف أشباه الموصلات المتقدمة وربط الرقاقات.
صُنع هذا الظرف المفرغ من الهواء باستخدام كربيد السيليكون عالي النقاء بتقنية CVD كربيد السيليكون (SiC) أو تقنيات كربيد السيليكون الملبد المتقدمة، ويوفر هذا الظرف المفرغ من الهواء ثباتًا حراريًا استثنائيًا وصلابة فائقة ودقة سطح على مستوى دون الميكرون لعمليات الربط الحرجة.
من خلال هياكل امتصاص الفراغ الدقيقة والمعالجة السطحية المسطحة للغاية، يحمل الظرف الرقاقات بإحكام أثناء عمليات تجميع الرقاقات من رقاقة إلى رقاقة (W2W) ومن رقاقة إلى رقاقة (C2W) والربط الهجين وتغليف نظام إدارة الرقائق (MEMS) وعمليات تجميع أشباه الموصلات المتقدمة.
ويضمن تمددها الحراري المنخفض وثبات أبعادها الفائق دقة وضع الرقاقة مع تقليل التشوه الحراري أثناء العمليات ذات درجات الحرارة المرتفعة.
الميزات الرئيسية
سطح امتصاص الرقاقة المسطح للغاية
- تسطيح السطح ≤ 1 ميكرومتر
- التوازي ≤ 1 μم
- يضمن تلامس الرقاقة بشكل موحد للغاية
- يحسن دقة محاذاة الروابط
يقلل التسطيح بدرجة المرآة من الإجهاد الموضعي ويقلل من تشوه الرقاقة أثناء الربط.
تلميع مرآة فائقة النعومة
خشونة السطح:
ر ≤ 0.01 ميكرومتر
المزايا:
- تقليل التلوث بالجسيمات
- تحسين أداء التفريغ المحسّن
- امتزاز الرقاقة المستقرة
- التوافق مع غرف تنظيف أشباه الموصلات
استقرار حراري استثنائي
معروضات كربيد السيليكون:
- معامل التمدد الحراري المنخفض (~ 4.5 × 4.5 × 10 ⁶/ درجة مئوية)
- موصلية حرارية عالية
- ثبات أبعاد ممتاز
يسمح ذلك للظرف بالحفاظ على التموضع الدقيق في ظروف الربط في درجات الحرارة المرتفعة.
صلابة ميكانيكية عالية
معامل المرونة:
> 400 جيجا باسكال
المزايا:
- يمنع التشوه تحت الضغط
- يدعم دقة تحميل الرقاقة العالية الدقة
- يحسن اتساق العملية
الصلابة العالية أمر بالغ الأهمية لعمليات المحاذاة دون الميكرون.
تصميم قناة تفريغ دقيقة
تصنيع الأخدود الفراغي عالي الدقة:
الدقة:
± 5 ميكرومتر
يضمن:
- توزيع موحد لقوة الامتزاز
- تثبيت الرقاقة المستقرة
- انخفاض تركيز الإجهاد الموضعي
المواصفات الفنية
| البند | المواصفات |
|---|---|
| المواد | كربيد السيليكون عالي النقاء |
| نقاوة SiC | ≥99.9991.999% |
| تسطيح السطح | ≤1 μم |
| خشونة السطح | ر ≤0.01 ميكرومتر |
| معامل المرونة | > 400 جيجا باسكال |
| التوصيل الحراري | ~حوالي 120 واط/م-ك |
| الكثافة | ≥ 3.1 جم/سم مكعب |
| CTE | ~4.5×10-⁶/°C |
| دقة الأخدود | ± 5 ميكرومتر |
| درجة حرارة التشغيل | RT-400 درجة مئوية |
| معالجة السطح | مرآة مصقولة |
| حجم الرقاقة | متاح حسب الطلب |
التطبيقات
تغليف أشباه الموصلات المتقدمة
تستخدم على نطاق واسع في:
- الربط من رقاقة إلى رقاقة (W2W)
- الربط من رقاقة إلى رقاقة (C2W)
- الترابط الهجين
- عمليات الضغط الحراري للنحاس-النحاس-النحاس
- تغليف الدوائر المتكاملة ثلاثية الأبعاد
- نظام في حزمة (SiP)
تغليف أجهزة MEMS
يوفر دعماً مستقراً للرقاقة الرقاقة:
- الربط بالتفريغ
- الترابط الأنودي
- تغليف المستشعر
يحمي الهيكل الصلب أجهزة MEMS الحساسة من التشويه الحراري أو الميكانيكي.
أجهزة أشباه موصلات الطاقة
مناسب لـ
- تغليف وحدة SiC
- تجميع جهاز طاقة GaN
- تلبيد الفضة
- ترابط TLP
ثبات حراري ممتاز يضمن اتساق العملية.
الضوئيات وتصنيع الصمامات الثنائية الباعثة للضوء والصمامات الثنائية الباعثة للضوء الدقيقة
يدعم:
- أنظمة نقل الصمام الثنائي الباعث للضوء الصغيرة
- الربط بين الزجاج والسيليكون
- تكامل الأجهزة البصرية
- دقة تحديد موضع الركيزة
مزايا المنتج
- مادة SiC عالية النقاء للغاية
- تسطيح السطح ≤1 μm
- سطح امتزاز مصقول كالمرآة
- ثبات حراري ممتاز
- صلابة وصلابة عالية
- انخفاض تلوث الجسيمات
- التصنيع الآلي الدقيق لقنوات التفريغ الهوائي
- مناسبة لبيئات التغليف المتقدمة
- هندسة مخصصة متاحة
خيارات التخصيص
نحن نقدم التخصيص الكامل لتصنيع المعدات الأصلية/التصنيع حسب الطلب بناءً على الرسومات أو متطلبات التطبيق:
- أقطار الرقاقات المخصصة
- تخطيطات أخدود الفراغ
- الهياكل عبر الفتحات
- خيارات تلميع المرآة
- مناطق الامتزاز الخاصة
- تنظيف من فئة أشباه الموصلات
- معالجة فائقة التسطيح
- الأشكال الهندسية الخزفية المعقدة
يمكن تعبئة جميع المنتجات في بيئات غرف الأبحاث من الفئة 100 لتطبيقات أشباه الموصلات.
الأسئلة الشائعة
س1: لماذا استخدام خراطيش التفريغ الهوائي المصنوعة من SiC بدلاً من الألومنيوم أو الكوارتز؟
عروض SiC:
- تمدد حراري أقل
- صلابة أعلى
- مقاومة أفضل لدرجات الحرارة
- تقليل مخاطر التلوث
- عمر تشغيلي أطول
س2: ما هي عمليات الترابط المدعومة؟
متوافق مع:
- الترابط W2W
- الترابط C2W
- الترابط الهجين
- الربط بالضغط الحراري
- الترابط MEMS
س3: هل يمكن تصنيع أخاديد تفريغ الهواء المخصصة؟
نعم. يمكن تخصيص أنماط الأخاديد وتخطيطات الفتحات ومناطق الامتصاص والأبعاد.
س4: هل يتوفر تنظيف من أشباه الموصلات؟
نعم. يمكن تنظيف المنتجات وتعبئتها في ظروف غرف الأبحاث من الفئة 100.
المراجعات
لا توجد مراجعات بعد.