Bộ phận đầu cuối bằng gốm là một thành phần xử lý robot có độ chính xác cao, được thiết kế để chuyển giao tấm bán dẫn, phục vụ cho các hệ thống tự động hóa công nghiệp và các môi trường sản xuất yêu cầu độ sạch cao. Được sản xuất từ các vật liệu gốm SiC (Cacbua silic) và Al₂O₃ (Alumina) có độ tinh khiết cao, bộ phận đầu cuối này mang lại khả năng chống mài mòn vượt trội, tính ổn định nhiệt và độ bền hóa học cao, đáp ứng các ứng dụng tự động hóa đòi hỏi khắt khe.

Được thiết kế dành riêng cho các hệ thống xử lý tấm wafer bằng robot, các bộ phận đầu cuối bằng gốm này được ứng dụng rộng rãi trong thiết bị sản xuất bán dẫn, hệ thống gia công chính xác và các dây chuyền sản xuất tự động – những nơi mà việc kiểm soát ô nhiễm và độ ổn định kích thước là yếu tố then chốt.

So với các bộ phận đầu cuối bằng kim loại truyền thống, cánh tay robot bằng gốm có khả năng chống ăn mòn vượt trội, tạo ra ít hạt bụi hơn, chịu nhiệt tốt hơn và có tuổi thọ cao hơn.

Các tính năng chính của đầu kẹp gốm

Độ tinh khiết cực cao cho các ứng dụng trong lĩnh vực bán dẫn

Được chế tạo từ vật liệu gốm đạt tiêu chuẩn bán dẫn, bộ phận tác động cuối giúp giảm thiểu hiệu quả tình trạng nhiễm bẩn và sự hình thành các hạt bụi trong quá trình xử lý tấm wafer.

Ưu điểm:

• Mức phát thải hạt cực thấp
• Hiệu suất làm sạch cao
• Phù hợp với môi trường phòng sạch
• Độ ổn định hóa học tuyệt vời

Khả năng chống mài mòn tuyệt vời

Vật liệu gốm có độ cứng và khả năng chống mài mòn cực cao, cho phép hoạt động lâu dài mà không bị suy giảm đáng kể về bề mặt.

Lợi ích:

• Giảm tần suất bảo trì
• Tuổi thọ hoạt động dài hơn
• Độ chính xác ổn định trong quá trình vận hành
• Giảm thiểu ô nhiễm do mài mòn

Khả năng chịu nhiệt độ cao

Bộ phận đầu cuối bằng gốm duy trì độ ổn định cấu trúc tuyệt vời trong điều kiện nhiệt độ cao và môi trường sản xuất khắc nghiệt.

Hiệu suất:

• Nhiệt độ bay hơi lên đến 2700℃
• Khả năng chịu sốc nhiệt tuyệt vời
• Hoạt động ổn định trong môi trường nhiệt độ cao

Độ chính xác cao & Độ ổn định kích thước

Công nghệ gia công gốm sứ tiên tiến đảm bảo độ phẳng, độ song song và độ ổn định kích thước tuyệt vời.

Phù hợp với:

• Hệ thống chuyển wafer
• Xử lý bằng robot chính xác
• Thiết bị tự động hóa trong ngành bán dẫn
• Các ứng dụng định vị có độ chính xác cao

Cấu trúc nhẹ

So với cánh tay robot bằng kim loại, các bộ phận đầu cuối bằng gốm có trọng lượng nhẹ hơn nhưng vẫn đảm bảo độ cứng cao.

Kết quả:

• Giảm tải trọng cho cánh tay robot
• Phản hồi chuyển động nhanh hơn
• Nâng cao hiệu quả tự động hóa
• Tiêu thụ năng lượng thấp hơn

Thông số kỹ thuật

Tài sản	Giá trị
Tên sản phẩm	Đầu hiệu ứng bằng gốm
Chất liệu	Gốm SiC / Al₂O₃
Độ tinh khiết hóa học	99.99995%
Độ cứng	2500 V
Nhiệt độ thăng hoa	2700°C
Năng lượng nhiệt	640 J·kg⁻¹·K⁻¹
Chứng nhận	RoHS
Nơi xuất xứ	Trung Quốc

Các tùy chọn vật liệu có sẵn

Gốm cacbua silic (SiC)

Tính năng:

• Độ dẫn nhiệt tuyệt vời
• Độ cứng cao
• Khả năng chống mài mòn vượt trội
• Khả năng chống plasma vượt trội

Được khuyến nghị cho:

• Xử lý tấm bán dẫn
• Hệ thống tự động hóa nhiệt độ cao
• Môi trường chân không

Gốm alumina (Al₂O₃)

Tính năng:

• Độ cách điện tuyệt vời
• Khả năng chống ăn mòn tốt
• Giải pháp tiết kiệm chi phí
• Độ chính xác ở không gian cao chiều

Được khuyến nghị cho:

• Hệ thống tự động hóa tổng quát
• Thiết bị lắp ráp chính xác
• Các ứng dụng trong lĩnh vực chế biến hóa chất

Ứng dụng của các bộ phận đầu cuối bằng gốm

Xử lý tấm bán dẫn

Được sử dụng rộng rãi trong:

• Robot chuyển wafer
• Thiết bị chế tạo bán dẫn
• Hệ thống xử lý chân không
• Hệ thống nạp FOUP
• Thiết bị kiểm tra tấm wafer

Tương thích với:

• Tấm silicon
• Tấm wafer sapphire
• Tấm wafer SiC
• Tấm wafer GaN

Tự động hóa công nghiệp

Được sử dụng trong các dây chuyền sản xuất tự động có yêu cầu:

• Độ chính xác cao
• Khả năng chống mài mòn
• Tính ổn định hóa học
• Độ tin cậy lâu dài

Sản xuất chính xác

Phù hợp với:

• Lắp ráp linh kiện điện tử
• Xử lý thiết bị quang học
• Hệ thống định vị chính xác

Thiết bị y tế và phòng thí nghiệm

Các bộ phận đầu cuối robot bằng gốm cũng được ứng dụng trong:

• Robot phẫu thuật
• Tự động hóa phòng thí nghiệm
• Thiết bị dược phẩm

nhờ tính năng vệ sinh và khả năng chống ăn mòn vượt trội.

Các loại đầu cuối

Bộ kẹp robot

Dùng để:

• Xử lý tấm wafer
• Hệ thống đặt và lấy
• Các ứng dụng kẹp chính xác

Các bộ phận đầu hút chân không

Dành cho:

• Xử lý bề mặt nhẵn
• Chuyển wafer không tiếp xúc
• Tự động hóa phòng sạch bán dẫn

Các bộ phận đầu cuối tích hợp cảm biến

Có thể tích hợp:

• Cảm biến lực
• Cảm biến vị trí
• Hệ thống phản hồi xúc giác

dành cho tự động hóa robot tiên tiến.

Dịch vụ tùy chỉnh

Chúng tôi cung cấp các giải pháp đầu kẹp gốm được thiết kế theo yêu cầu, dựa trên bản vẽ và các yêu cầu kỹ thuật của khách hàng.

Các tùy chọn tùy chỉnh có sẵn

• Kích thước tùy chỉnh
• Cấu trúc lỗ chân không
• Đánh bóng bề mặt
• Tối ưu hóa mã nhẹ
• Lớp phủ đặc biệt
• Cấu hình nhiều cánh tay
• Quy trình gia công đảm bảo độ phẳng cao
• Vệ sinh theo tiêu chuẩn bán dẫn

Ưu điểm so với các bộ phận đầu cuối bằng kim loại

Tài sản	Đầu hiệu ứng bằng gốm	Bộ phận đầu cuối bằng kim loại
Khả năng chống mài mòn	Tuyệt vời	Trung bình
Khả năng chống ăn mòn	Tuyệt vời	Số lượng có hạn
Tạo hạt	Rất thấp	Cao hơn
Độ ổn định ở nhiệt độ cao	Tuyệt vời	Trung bình
Trọng lượng	Nhẹ	Nặng hơn
Khả năng tương thích với chất bán dẫn	Tuyệt vời	Số lượng có hạn

Câu hỏi thường gặp

Tại sao lại sử dụng đầu kẹp bằng gốm trong sản xuất bán dẫn?

Các bộ phận đầu cuối bằng gốm có mức độ ô nhiễm cực thấp, khả năng chống mài mòn tuyệt vời và độ ổn định kích thước cao, khiến chúng trở thành lựa chọn lý tưởng cho các hệ thống xử lý tấm bán dẫn.

Có những loại vật liệu nào được sử dụng để chế tạo các bộ phận đầu cuối bằng gốm?

Các vật liệu phổ biến bao gồm:

• Cacbua silic (SiC)
• Alumina (Al₂O₃)
• Gốm zirconia

tùy thuộc vào yêu cầu của ứng dụng.

Có thể tùy chỉnh bộ phận đầu cuối bằng gốm không?

Đúng vậy. Chúng tôi hỗ trợ các kích thước, cấu trúc, thiết kế hệ thống chân không và phương pháp xử lý bề mặt theo yêu cầu riêng, dựa trên thông số kỹ thuật thiết bị của khách hàng.