Tấm gốm bậc thang bằng cacbua silic (SiC) là một linh kiện gốm kết cấu hiệu suất cao, được thiết kế dành riêng cho thiết bị chế biến bán dẫn và các hệ thống công nghiệp nhiệt độ cao. Với cấu trúc bậc thang được gia công chính xác, linh kiện này đảm bảo khả năng định vị chính xác, lắp ráp chắc chắn và độ ổn định kích thước tuyệt vời trong các môi trường sản xuất khắc nghiệt.
Được chế tạo từ gốm cacbua silic có độ tinh khiết cao, linh kiện này có khả năng chống chịu vượt trội trước tác động của plasma, sốc nhiệt, ăn mòn hóa học và nhiệt độ cực cao. Độ cứng cao cùng khả năng dẫn nhiệt tốt khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng cho các ứng dụng kết cấu và bảo vệ bên trong thiết bị bán dẫn.
Được thiết kế để đảm bảo độ tin cậy lâu dài, các tấm gốm bậc thang SiC được sử dụng rộng rãi trong buồng xử lý, hệ thống chân không, thiết bị nhiệt và các ứng dụng bán dẫn liên quan đến plasma.
Các tính năng chính
Vật liệu cacbua silic có độ tinh khiết cao
Được sản xuất từ gốm SiC loại ≥99% với hiệu suất nhiệt và cơ học vượt trội.
Cấu trúc bậc thang chính xác
Hình dạng cạnh bậc thang giúp định vị chính xác và lắp ráp cơ khí ổn định.
Độ ổn định nhiệt vượt trội
Có khả năng hoạt động liên tục ở nhiệt độ trên 1600°C trong môi trường trơ với độ biến dạng tối thiểu.
Khả năng chống plasma tuyệt vời
Chống lại sự ăn mòn do plasma và các loại khí quá trình ăn mòn được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn.
Độ dẫn nhiệt cao
Độ dẫn nhiệt từ 120–200 W/m·K giúp truyền nhiệt hiệu quả và đảm bảo nhiệt độ đồng đều.
Độ bền cơ học cao
Độ cứng và khả năng chống mài mòn vượt trội, đảm bảo hoạt động lâu dài trong điều kiện khắc nghiệt.
Tương thích với môi trường chân không
Đặc tính thoát khí thấp khiến sản phẩm này phù hợp với các môi trường xử lý sạch và chân không.
Có thể tùy chỉnh hoàn toàn
Kích thước, cấu trúc bậc thang, dung sai và hình dạng cạnh có thể được tùy chỉnh theo bản vẽ.
Các ứng dụng điển hình
- Buồng xử lý bán dẫn
- Hệ thống CVD / PECVD / LPCVD
- Thiết bị khắc plasma
- Nắp buồng và nắp lót
- Cấu trúc chịu lực ở nhiệt độ cao
- Hệ thống xử lý chân không
- Các bộ phận gốm tiếp xúc với plasma
- Thiết bị sản xuất quang điện tử
Thông số kỹ thuật
| Mặt hàng | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Chất liệu | Cacbua silic (SiC) |
| Sự tinh khiết | ≥99% |
| Mật độ | 3,10–3,20 g/cm³ |
| Độ cứng | ≥2500 HV |
| Độ bền uốn | ≥350 MPa |
| Mô đun đàn hồi | ~410 GPa |
| Độ dẫn nhiệt | 120–200 W/m·K |
| Hệ số giãn nở nhiệt | ~4,0 × 10⁻⁶ /K |
| Nhiệt độ tối đa (trong môi trường khí trơ) | >1600°C |
| Nhiệt độ tối đa (không khí) | ~1.400°C |
| Bề mặt hoàn thiện | Mài / Đánh bóng (tùy chọn) |
| Tính tương thích với môi trường | Chân không, plasma, khí ăn mòn |
Năng lực sản xuất
Chúng tôi hỗ trợ các công nghệ chế biến gốm sứ tiên tiến, bao gồm:
- Gia công CNC chính xác
- Mài phẳng
- Mài và đánh bóng tinh
- Gia công theo bước tùy chỉnh
- Xử lý vát cạnh
- Sản xuất với độ chính xác cao
- Sản xuất mẫu thử và sản xuất hàng loạt
Các tùy chọn tùy chỉnh
Các tùy chọn tùy chỉnh bao gồm:
- Đường kính ngoài và độ dày
- Chiều cao và chiều rộng bậc thang
- Yêu cầu về độ phẳng
- Kiểm soát độ nhám bề mặt
- Cấu trúc mép và các góc vát
- Các tùy chọn đánh bóng mịn
- Sản xuất OEM dựa trên bản vẽ
Ưu điểm của các linh kiện gốm SiC
So với các vật liệu truyền thống, gốm SiC mang lại những ưu điểm sau:
- Độ dẫn nhiệt cao hơn
- Khả năng chịu sốc nhiệt tốt hơn
- Độ bền plasma vượt trội
- Hệ số giãn nở nhiệt thấp hơn
- Độ ổn định hóa học cao
- Tuổi thọ cao hơn cho thiết bị bán dẫn
Câu hỏi thường gặp
Câu hỏi 1: Mục đích chính của cấu trúc bậc thang là gì?
Cấu trúc bậc thang cho phép định vị chính xác và lắp ráp đáng tin cậy bên trong thiết bị công nghệ.
Câu hỏi 2: Linh kiện này có chịu được môi trường plasma không?
Đúng vậy. Carbide silic có khả năng chống mài mòn do plasma và các loại khí quá trình ăn mòn rất tốt.
Câu hỏi 3: Linh kiện này có tương thích với môi trường chân không không?
Đúng vậy. Vật liệu này có mức thoát khí thấp và duy trì hiệu suất ổn định trong điều kiện chân không.
Câu hỏi 4: Có thể tùy chỉnh kích thước không?
Đúng vậy. Kích thước, cấu hình bậc thang, dung sai và các đặc điểm cạnh đều có thể được sản xuất theo yêu cầu của khách hàng.
Câu hỏi 5: Có phiên bản đã được hoàn thiện không?
Có thể cung cấp dịch vụ mài mịn và đánh bóng tùy chọn tùy theo yêu cầu của ứng dụng.
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.