Płytka ceramiczna Stepped Ceramic Plate z węglika krzemu (SiC) to wysokowydajny strukturalny element ceramiczny zaprojektowany z myślą o urządzeniach do przetwarzania półprzewodników i wysokotemperaturowych systemach przemysłowych. Dzięki precyzyjnie obrobionemu stopniowanemu profilowi, element ten umożliwia dokładne pozycjonowanie, bezpieczny montaż i doskonałą stabilność wymiarową w wymagających środowiskach procesowych.
Wykonany z ceramiki z węglika krzemu o wysokiej czystości, element ten oferuje wyjątkową odporność na działanie plazmy, szok termiczny, korozję chemiczną i ekstremalne temperatury. Jego wysoka sztywność i przewodność cieplna sprawiają, że idealnie nadaje się do zastosowań strukturalnych i ochronnych wewnątrz urządzeń półprzewodnikowych.
Zaprojektowane z myślą o długotrwałej niezawodności, płytki ceramiczne z SiC są szeroko stosowane w komorach procesowych, systemach próżniowych, urządzeniach termicznych i aplikacjach półprzewodnikowych związanych z plazmą.
Kluczowe cechy
Materiał z węglika krzemu o wysokiej czystości
Wykonany z ceramiki SiC ≥99% o doskonałych właściwościach termicznych i mechanicznych.
Precyzyjna struktura schodkowa
Geometria stopniowanych krawędzi zapewnia dokładne pozycjonowanie i stabilny montaż mechaniczny.
Wyjątkowa stabilność termiczna
Zdolny do ciągłej pracy w temperaturach powyżej 1600°C w środowiskach obojętnych przy minimalnych odkształceniach.
Doskonała odporność na plazmę
Odporność na erozję plazmową i korozyjne gazy procesowe stosowane w produkcji półprzewodników.
Wysoka przewodność cieplna
Przewodność cieplna na poziomie 120-200 W/m-K zapewnia wydajne przenoszenie ciepła i równomierność temperatury.
Wysoka wytrzymałość mechaniczna
Doskonała sztywność i odporność na zużycie zapewniają długotrwałą pracę w wymagających warunkach.
Kompatybilność z próżnią
Niska charakterystyka odgazowywania sprawia, że nadaje się do czystych i próżniowych środowisk przetwarzania.
W pełni konfigurowalny
Wymiary, struktura stopni, tolerancje i geometria krawędzi mogą być dostosowane zgodnie z rysunkami.
Typowe zastosowania
- Komory do procesów półprzewodnikowych
- Systemy CVD / PECVD / LPCVD
- Sprzęt do trawienia plazmowego
- Pokrywy komory i pokrywy wkładki
- Wysokotemperaturowe konstrukcje nośne
- Systemy przetwarzania próżniowego
- Ceramiczne elementy plazmowe
- Optoelektroniczny sprzęt produkcyjny
Specyfikacja techniczna
| Pozycja | Specyfikacja |
|---|---|
| Materiał | Węglik krzemu (SiC) |
| Czystość | ≥99% |
| Gęstość | 3,10-3,20 g/cm³ |
| Twardość | ≥2500 HV |
| Wytrzymałość na zginanie | ≥350 MPa |
| Moduł sprężystości | ~410 GPa |
| Przewodność cieplna | 120-200 W/m-K |
| Współczynnik rozszerzalności cieplnej | ~4.0 ×10-⁶ /K |
| Maksymalna temperatura (atmosfera obojętna) | >1600°C |
| Maksymalna temperatura (powietrze) | ~1400°C |
| Wykończenie powierzchni | Szlifowanie / opcjonalne polerowanie |
| Kompatybilność ze środowiskiem | Próżnia, plazma, gaz korozyjny |
Możliwości produkcyjne
Wspieramy zaawansowane technologie przetwarzania ceramiki, w tym
- Precyzyjna obróbka CNC
- Szlifowanie powierzchni
- Dokładne docieranie i polerowanie
- Niestandardowa obróbka stopniowa
- Obróbka fazowania krawędzi
- Produkcja w wąskiej tolerancji
- Prototyp i produkcja seryjna
Opcje dostosowywania
Dostępne opcje personalizacji obejmują:
- Średnica zewnętrzna i grubość
- Wysokość i szerokość stopnia
- Wymagania dotyczące płaskości
- Kontrola chropowatości powierzchni
- Struktura krawędzi i fazowania
- Opcje dokładnego polerowania
- Produkcja OEM oparta na rysunkach
Zalety komponentów ceramicznych SiC
W porównaniu z konwencjonalnymi materiałami, ceramika SiC oferuje:
- Wyższa przewodność cieplna
- Lepsza odporność na szok termiczny
- Najwyższa trwałość plazmy
- Niższa rozszerzalność cieplna
- Wysoka stabilność chemiczna
- Dłuższa żywotność sprzętu półprzewodnikowego
FAQ
P1: Jaki jest główny cel struktury schodkowej?
Stopniowa geometria umożliwia precyzyjne pozycjonowanie i niezawodny montaż wewnątrz urządzeń procesowych.
P2: Czy ten komponent może wytrzymać środowisko plazmowe?
Tak, węglik krzemu ma doskonałą odporność na erozję plazmową i korozyjne gazy procesowe.
P3: Czy komponent jest kompatybilny z próżnią?
Tak. Materiał wykazuje niski poziom odgazowywania i stabilne działanie w warunkach próżni.
P4: Czy wymiary można dostosować?
Tak. Rozmiar, profil stopnia, tolerancje i cechy krawędzi mogą być produkowane zgodnie z wymaganiami klienta.
P5: Czy dostępne są wersje spolszczone?
Opcjonalne dokładne szlifowanie i polerowanie może być zapewnione w zależności od wymagań aplikacji.
Opinie
Na razie nie ma opinii o produkcie.