Piikarbidikannatin (SiC-kannatin) on korkean suorituskyvyn rakenneosa, joka on valmistettu reaktiosidotusta piikarbidista (RB-SiC). Se on suunniteltu erityisesti korkean lämpötilan puolijohde- ja aurinkosähkötekniikan käsittelylaitteisiin, ja se tarjoaa erinomaisen lämpöstabiilisuuden, mekaanisen lujuuden, korroosionkestävyyden ja mittatarkkuuden äärimmäisissä käyttöolosuhteissa.
Kannattavan rakenteensa ansiosta mela voi tukea ja kuljettaa useita kiekkoja turvallisesti diffuusiouunien, hapetusuunien, LPCVD-järjestelmien ja pinnoituslaitteiden sisällä. Verrattuna tavanomaisiin kvartsi- tai metallisiin kantajajärjestelmiin SiC-kannattimet tarjoavat huomattavasti pidemmän käyttöiän, pienemmän kontaminaatioriskin ja paremman lämpömuodonmuutosten kestävyyden.
Alhaisen lämpölaajenemiskertoimen ja korkean lämmönjohtavuuden ansiosta mela säilyttää erinomaisen rakenteellisen eheyden toistuvien lämmitys- ja jäähdytyssyklien aikana, mikä tekee siitä ihanteellisen jatkuviin korkean lämpötilan teolliseen tuotantoympäristöön.
SiC Cantilever -melan tärkeimmät ominaisuudet
Erinomainen korkean lämpötilan kestävyys
SiC-kannattajamela voi toimia jatkuvasti jopa 1380 °C:n lämpötiloissa ilman muodonmuutoksia tai rakenteellisia vikoja. Tämän vuoksi se soveltuu erinomaisesti puolijohteiden diffuusio-, hapetus-, nitridointi-, hehkutus- ja LPCVD-prosesseihin, jotka toimivat 1000-1300 °C:n lämpötiloissa.
Erinomainen mekaaninen lujuus
RB-SiC-materiaali tarjoaa poikkeuksellisen taivutuslujuuden ja jäykkyyden myös korkeissa lämpötiloissa. Vakaa poikkileikkausrakenne takaa luotettavan tuen halkaisijaltaan suurille kiekoille ja minimoi samalla tärinän ja notkahduksen uunin käytön aikana.
Erittäin vähäinen saastuminen
Toisin kuin metallikantajat, piikarbidi ei vapauta metalli-ioneja tai -hiukkasia korkean lämpötilan käsittelyn aikana. Tämä auttaa säilyttämään kiekon puhtauden ja parantaa puolijohdevalmistuksen tuottoa.
Erinomainen lämpöshokkien kestävyys
Mela kestää nopeita lämmitys- ja jäähdytysjaksoja halkeilematta tai vääntymättä. Sen korkea lämpöshokkien kestävyys pidentää käyttöikää huomattavasti ja vähentää huoltotiheyttä.
Erinomainen korroosionkestävyys
SiC-materiaali kestää erinomaisesti happoja, emäksiä, hapettumista ja syövyttäviä prosessikaasuja, joten se soveltuu vaativiin kemiallisiin käsittely-ympäristöihin.
LPCVD-prosessin yhteensopivuus
Piikarbidin lämpölaajenemiskerroin vastaa läheisesti tavallisia LPCVD-pinnoitemateriaaleja, mikä vähentää tehokkaasti lämpöjännitystä, pinnoitteen irtoamista ja hiukkasten aiheuttamaa saastumista.
Pitkä käyttöikä
Kvartsi- ja metallilapoihin verrattuna SiC-kannattajalapojen kestävyys on huomattavasti parempi ja vaihtotiheys pienempi, mikä alentaa pitkän aikavälin käyttökustannuksia.
Tekniset tiedot
| Kohde | Yksikkö | Tiedot |
|---|---|---|
| Suurin käyttölämpötila | ℃ | 1380 |
| Tiheys | g/cm³ | 3.04–3.08 |
| Avoin huokoisuus | % | <0.1 |
| Taivutuslujuus | MPa | 250 (20℃) / 280 (1200℃) |
| Kimmomoduuli | GPa | 330 (20℃) / 300 (1200℃) |
| Lämmönjohtavuus | W/m-K | 45 (1200℃) |
| Lämpölaajenemiskerroin | K-¹×10-⁶ | 4.5 |
| Kovuus (Vickers) | HV2 | ≥2100 |
| Happo/emäksinen kestävyys | — | Erinomainen |
Vakiomitat
Saatavilla olevat vakiopituudet ovat:
- 2378 mm
- 2550 mm
- 2660 mm
Asiakaskohtaisia kokoja, aukkorakenteita, kiekkokapasiteettia ja asennuskokoonpanoja on saatavana asiakkaan uunimallien ja prosessivaatimusten mukaisesti.
Tyypilliset sovellukset
Puolijohdeteollisuus
SiC-kannattajalevyjä käytetään laajalti puolijohteiden valmistusprosesseissa, mukaan lukien:
- Kiekon diffuusio
- Hapettuminen
- LPCVD-pinnoitus
- Nitridointi
- Hehkutus
- Kiekkojen kuljetus ja lastaus
Niiden korkea puhtaus ja mittapysyvyys auttavat vähentämään kontaminaatioriskiä ja parantamaan prosessin johdonmukaisuutta.
Aurinkosähköteollisuus
Aurinkokennojen valmistuksessa mela toimii korkean lämpötilan kiekon kantajana:
- Monikiteiset piikiekot
- Yksikiteiset piikiekot
- Diffuusiouunit
- PECVD- ja pinnoitusjärjestelmät
Materiaali säilyy vakaana toistuvissa lämpösykliolosuhteissa, joita esiintyy yleisesti aurinkosähköjen tuotantolinjoilla.
Kemialliset ja teolliset sovellukset
Erinomaisen korroosionkestävyytensä ansiosta SiC-kannattajamela voidaan käyttää myös:
- Syövyttävät kemialliset reaktorit
- Korkean lämpötilan kiertojärjestelmät
- Teolliset lämpökäsittelylaitteet
- Aggressiiviset kaasuympäristöt
Edut verrattuna metalli- tai kvartsilapoihin
| Kiinteistö | SiC-mela | Kvartsi meloa | Metallinen mela |
| Korkean lämpötilan kestävyys | Erinomainen | Kohtalainen | Kohtalainen |
| Lämpöshokin kestävyys | Erinomainen | Huono | Kohtalainen |
| Korroosionkestävyys | Erinomainen | Hyvä | Huono |
| Mekaaninen lujuus | Erittäin korkea | Matala | Korkea |
| Hiukkasten aiheuttama saastuminen | Erittäin alhainen | Kohtalainen | Korkea |
| Käyttöikä | Pitkä | Lyhyt | Kohtalainen |
| Suuri kiekkotuki | Erinomainen | Rajoitettu | Kohtalainen |
Usein kysytyt kysymykset - Piikarbidi Cantilever -mela
1. Mikä on suurin käyttölämpötila?
Suurin käyttölämpötila on 1380 °C. Se toimii luotettavasti korkean lämpötilan puolijohde- ja aurinkosähköprosesseissa 1000-1300 °C:n lämpötiloissa.
2. Miksi valita piikarbidi metallilapojen sijaan?
Metallilavat voivat hapettua, deformoitua tai vapauttaa metallisia epäpuhtauksia korkeissa lämpötiloissa. Piikarbidi tarjoaa ylivoimaisen kovuuden, lämpöstabiilisuuden, korroosionkestävyyden ja erittäin vähäiset epäpuhtaudet.
3. Soveltuuko mela suurille kiekoille, kuten 12 tuuman kiekoille?
Kyllä. Kannattavan rakenteen ja suuren mekaanisen lujuuden ansiosta halkaisijaltaan suurten kiekkojen tukeminen on vakaata ja mittatarkkuus säilyy.
4. Voiko sitä räätälöidä?
Kyllä. Asiakaskohtaiset mitat, paksuudet, kiekkokapasiteetit, aukkomallit ja kiinnitysrakenteet ovat saatavissa asiakkaan vaatimusten mukaisesti.
Arviot
Tuotearvioita ei vielä ole.