La bandeja cerámica SiC es un soporte de carburo de silicio de alto rendimiento diseñado para entornos avanzados de procesamiento de obleas y fabricación de semiconductores. Fabricadas con material cerámico de carburo de silicio (SiC) de gran pureza, estas bandejas ofrecen una estabilidad térmica excepcional, una gran resistencia mecánica y una excelente resistencia química para aplicaciones exigentes a altas temperaturas.

Las bandejas cerámicas de SiC se utilizan ampliamente en procesos de fabricación de semiconductores como:

• Procesado LPCVD / CVD
• Recocido de obleas
• Difusión
• Oxidación
• Epitaxia (EPI)
• Sinterización a alta temperatura
• Tratamiento térmico de semiconductores

Disponible para:

• Procesado de obleas de 2 pulgadas
• Procesado de obleas de 4 pulgadas
• Procesamiento de obleas de 6 pulgadas
• Procesado de obleas de 8 pulgadas
• Tamaños y estructuras de oblea personalizados

Estas bandejas garantizan un excelente soporte de las obleas, uniformidad de la temperatura y control de la contaminación durante todo el proceso de fabricación.

Características del producto

Excelente resistencia a altas temperaturas

Las bandejas cerámicas de carburo de silicio mantienen una estabilidad excepcional a temperaturas extremas, lo que las hace ideales para aplicaciones de hornos de semiconductores y sistemas de procesamiento térmico.

Ventajas:

• Excelente resistencia al choque térmico
• Rendimiento estable durante calentamiento y enfriamiento rápidos
• Larga vida útil en funcionamiento continuo a altas temperaturas

Alta resistencia mecánica

En comparación con los materiales cerámicos convencionales, las bandejas de SiC ofrecen una dureza y una resistencia a la flexión superiores, lo que reduce el riesgo de deformación o agrietamiento durante el procesamiento.

Ventajas:

• Gran capacidad de carga
• Excelente estabilidad dimensional
• Adecuado para sistemas automatizados de manipulación de obleas
• Menor frecuencia de mantenimiento

Excelente resistencia química

Las bandejas cerámicas de SiC son muy resistentes a los productos químicos corrosivos y a los gases de proceso reactivos que se utilizan habitualmente en la fabricación de semiconductores.

Resistente a:

• Ácidos
• Álcalis
• Gases corrosivos
• Vapores químicos

Esto garantiza la fiabilidad a largo plazo en entornos de proceso difíciles.

Excelente conductividad térmica

La elevada conductividad térmica del carburo de silicio permite una transferencia de calor rápida y uniforme por toda la superficie de la bandeja.

Beneficios de tramitación:

• Mejora de la uniformidad de la temperatura de las obleas
• Gradientes térmicos reducidos
• Mayor coherencia del proceso
• Menor índice de defectos en las obleas

Baja expansión térmica

El bajo coeficiente de dilatación térmica ayuda a mantener la precisión estructural durante ciclos térmicos repetidos.

Resultado:

• Reducción del alabeo
• Mejor alineación de las obleas
• Mayor estabilidad de la producción

Pureza de grado semiconductor

Fabricadas con material de carburo de silicio de alta pureza 99,9%, las bandejas ayudan a minimizar la contaminación por partículas y cumplen las normas de producción de semiconductores en salas blancas.

Especificaciones técnicas

Propiedad	Valor
Material	Carburo de silicio (SiC)
Pureza	99.9%
Color	Negro
Densidad	3,14 g/cm³
Resistencia a la flexión	410 MPa
Módulo de Young	430 GPa
Relación de Poisson	0.17
Resistencia a la fractura	2-3 MPa-m1/2
Coeficiente de dilatación térmica	4.1 × 10-⁶/K
Conductividad térmica	170 W/m-K

Comparación de tecnologías de fabricación de SiC

Método de fabricación	Características	Aplicaciones típicas
SiC sinterizado sin presión	Alta pureza y estabilidad térmica	Bandejas para obleas semiconductoras
SiC prensado en caliente	Mayor resistencia mecánica	Piezas cerámicas estructurales
CVD SiC	Superficie de pureza ultra alta	Equipos semiconductores avanzados
Si-SiC	Solución rentable	Componentes de hornos industriales

Aplicaciones de las bandejas cerámicas SiC

Procesado de obleas semiconductoras

Muy utilizadas como soportes de obleas y bandejas de apoyo en:

• Sistemas LPCVD
• Sistemas CVD
• Hornos de difusión
• Hornos de oxidación
• Equipo de recocido
• Reactores térmicos semiconductores

Compatible con:

• Obleas de silicio
• Obleas de zafiro
• Obleas de SiC
• Obleas de GaN
• Sustratos semiconductores compuestos

Sinterización a alta temperatura

Ideal para aplicaciones avanzadas de sinterización de cerámica y polvos que requieran:

• Estabilidad térmica
• Resistencia a la oxidación
• Larga vida útil

Equipos de procesamiento químico

Adecuado para entornos químicos agresivos gracias a su excelente resistencia a la corrosión.

Las aplicaciones incluyen:

• Reactores químicos
• Procesado húmedo de semiconductores
• Entornos de gases corrosivos

Óptica y fabricación de precisión

Proporciona un soporte estable para:

• Sustratos ópticos
• Componentes ópticos de zafiro
• Piezas cerámicas de precisión

Sistemas térmicos aeroespaciales e industriales

Utilizado en industrias que requieren:

• Materiales ligeros de alta resistencia
• Gestión térmica
• Componentes resistentes a la corrosión

Servicios de personalización

Proporcionamos soluciones de bandejas cerámicas de SiC personalizadas según los requisitos del cliente.

Opciones personalizadas disponibles

• Dimensiones personalizadas
• Diseños de bandeja multioblea
• Mecanizado de ranuras
• Taladrado de precisión
• Pulido de superficies
• Recubrimientos especiales
• Compatibilidad con procesos térmicos personalizados

Ventajas de las bandejas cerámicas SiC

En comparación con las bandejas de cuarzo, alúmina y grafito, las bandejas cerámicas de carburo de silicio proporcionan:

Rendimiento	Bandeja cerámica SiC
Conductividad térmica	Excelente
Resistencia al choque térmico	Excelente
Resistencia mecánica	Excelente
Resistencia a la corrosión	Excelente
Estabilidad dimensional	Excelente
Vida útil	Largo

PREGUNTAS FRECUENTES

¿Se puede personalizar la bandeja de cerámica SiC?

Sí. Admitimos tamaños, estructuras, ranuras y diseños de procesamiento personalizados según las especificaciones de las obleas del cliente y los requisitos del equipo.

¿Qué tamaños de oblea se admiten?

Las bandejas pueden diseñarse para:

• Obleas de 2 pulgadas
• Barquillos de 4 pulgadas
• Barquillos de 15 cm
• Barquillos de 8 pulgadas
• Formatos de oblea personalizados más grandes

¿Es adecuada la bandeja de SiC para aplicaciones en hornos de semiconductores?

Sí. Las bandejas cerámicas de SiC están diseñadas específicamente para entornos de procesamiento de semiconductores a alta temperatura y proporcionan una excelente estabilidad térmica y durabilidad.