صُمم أنبوب المعالجة الأفقي لكربيد السيليكون (SiC) لتطبيقات التلدين بالحرارة العالية LPCVD، والتحميض بالانبعاث الكهروضوئي المتقطع، والانتشار، والأكسدة، والتلدين في تصنيع أشباه الموصلات، والخلايا الضوئية، والمواد المتقدمة.
وباعتباره مكون غرفة التفاعل الأساسي في أنظمة المعالجة الحرارية الأفقية، يؤثر أنبوب المعالجة بشكل مباشر على انتظام درجة الحرارة، والتحكم في التلوث، واستقرار العملية، والعمر الافتراضي للمعدات بشكل عام.
يتم تصنيع أنابيب المعالجة الأفقية SiC الخاصة بنا باستخدام تقنية الطباعة ثلاثية الأبعاد المتجانسة المتقدمة مع طلاء كربيد السيليكون CVD فائق النقاء. يعمل الهيكل السلس المكون من قطعة واحدة على التخلص من وصلات اللحام ونقاط الضعف المتعلقة بالتجميع، مما يحسن بشكل كبير من الموثوقية الميكانيكية ومقاومة التسرب في ظل التشغيل المستمر في درجات الحرارة العالية.
ومقارنةً بأنابيب معالجة الكوارتز التقليدية، يوفر كربيد السيليكون موصلية حرارية أعلى بكثير، ومقاومة أفضل للصدمات الحرارية، ومقاومة فائقة للتآكل، وعمر تشغيلي أطول، خاصةً في بيئات المعالجة المؤكسدة العدوانية والمحتوية على الكلور.
تم تحسين المنتج لبيئات المعالجة النظيفة من فئة أشباه الموصلات التي تتطلب توليد جسيمات منخفضة وتلوثًا معدنيًا منخفضًا وأداءً حراريًا مستقرًا حتى 1250 درجة مئوية.
الميزات الرئيسية
هيكل من قطعة واحدة متجانسة من قطعة واحدة من SiC
يزيل جسم كربيد السيليكون المدمج المطبوع بتقنية الطباعة ثلاثية الأبعاد من اللحامات ونقاط اللحام بالنحاس ومسارات التسرب المحتملة الموجودة في الهياكل المجمعة التقليدية.
تشمل المزايا ما يلي:
- ثبات هيكلي أعلى
- تحسين سلامة التفريغ المحسّن
- اتساق أبعاد أفضل
- انخفاض تركيز الإجهاد الحراري
طلاء سي سي دي سي فائق النقاء CVD فائق النقاء
يوفّر طلاء كربيد السيليكون الكثيف بتقنية CVD:
- شوائب سطحية أقل من 5 جزء في المليون
- خمول كيميائي ممتاز
- تقليل التلوث بالجسيمات
- مقاومة فائقة للأكسدة والغازات الحاملة للكلور
وهذا يجعل أنبوب المعالجة مناسبًا لتطبيقات المعالجة الحرارية المتقدمة لأشباه الموصلات.
توصيل حراري ممتاز
يوفر كربيد السيليكون موصلية حرارية أعلى بكثير من الكوارتز أو الألومينا، مما يساعد على تحقيق
- استجابة حرارية أسرع
- تحسين انتظام درجة الحرارة المحورية والشعاعية المحسنة
- ظروف معالجة الرقاقة المستقرة
مقاومة فائقة للصدمات الحرارية
يمكن للأنبوب أن يتحمل دورات التسخين والتبريد السريعة المتكررة دون حدوث تشقق أو تشوه أو تشظي الطلاء.
عمر خدمة طويل
بالمقارنة مع أنابيب معالجة الكوارتز، توفر أنابيب SiC:
- فترات استبدال أطول
- انخفاض معدل تكرار الصيانة
- تقليل وقت تعطل الغرفة
- تحسين التكلفة الإجمالية للملكية (TCO)
التطبيقات النموذجية
تصنيع أشباه الموصلات
مناسب لـ
- أنظمة LPCVD
- معدات الترسيب بالترسيب بالقطع القابل للذوبان
- أفران الأكسدة
- أفران الانتشار
- أنظمة التلدين
- عمليات المعالجة الحرارية للرقاقة
الصناعة الكهروضوئية
مستخدمة في:
- معالجة انتشار الخلايا الشمسية
- تخميل السطح
- ترسيب الأغشية الرقيقة
- معالجة الرقاقة بدرجة حرارة عالية
معالجة المواد المتقدمة
تنطبق على:
- عمليات الكربنة
- المعالجة بالنيتريديشن
- تشكيل الأغشية الرقيقة الوظيفية
- تنشيط السطح وتعديله
توافق العملية
أجواء المعالجة المتوافقة
- الأكسجين (O₂)
- النيتروجين (N₂)
- الغازات الخاملة عالية النقاء
- الغازات المحتوية على الكلور الخاضعة للرقابة
- الأجواء المؤكسدة
نافذة العملية النموذجية
| المعلمة | المواصفات |
|---|---|
| درجة حرارة التشغيل المستمرة القصوى | 1250°C |
| نطاق الضغط | تفريغ LPCVD من الفراغ إلى ما يقرب من الغلاف الجوي |
| مقاومة الصدمات الحرارية | ممتاز |
| ضيق التسرب | ≤ 1 × 10 × 10 ⁹ باسكال - متر مكعب/ثانية |
| خشونة السطح | Ra ≤ 0.8 - 1.6 ميكرومتر |
| نقاء الطلاء | ＜ 5 جزء في المليون |
| شوائب الركيزة | ＜ 300 جزء في المليون |
المواصفات الفنية
| البند | المواصفات |
| اسم المنتج | أنابيب المعالجة الأفقية من كربيد السيليكون كربيد السيليكون |
| المواد | كربيد السيليكون عالي النقاء |
| الطلاء | طلاء السيليكون المطلي بتقنية CVD |
| عملية التصنيع | الطباعة المتجانسة ثلاثية الأبعاد |
| درجة حرارة التشغيل القصوى | ≤ 1250°C |
| التوصيل الحراري | عالية |
| مقاومة الصدمات الحرارية | ممتاز |
| مقاومة التآكل | ممتاز |
| خشونة السطح | Ra ≤ 0.8 - 1.6 ميكرومتر |
| شوائب الطلاء | ＜ 5 جزء في المليون |
| ضيق التسرب | ≤ 1 × 10 × 10 ⁹ باسكال - متر مكعب/ثانية |
| التطبيقات النموذجية | LPCVD / CVD / الانتشار / الأكسدة |
المزايا مقارنة بأنابيب المعالجة التقليدية
| الممتلكات | أنبوب معالجة SiC | أنبوب الكوارتز | أنبوب الألومينا |
| التوصيل الحراري | عالية | منخفضة | منخفضة |
| مقاومة الصدمات الحرارية | ممتاز | ضعيف | معتدل |
| مقاومة التآكل | ممتاز | معتدل | جيد |
| التحكم في الجسيمات | ممتاز | معتدل | معتدل |
| عمر الخدمة | طويل | قصير | متوسط |
| الاستقرار في درجات الحرارة العالية | ممتاز | معتدل | جيد |
خيارات التخصيص
تتوفر مواصفات مخصصة وفقًا لمتطلبات العملاء من المعدات، بما في ذلك:
- قطر الأنبوب وطوله
- تحسين سُمك الجدار
- هياكل الشفة والواجهات البينية
- منافذ الغاز الوظيفية
- تكوينات الطلاء الداخلي/الخارجي
- درجات تلميع السطح
- معايير النظافة
الأسئلة الشائعة
س1: لماذا تختار كربيد السيليكون بدلاً من أنابيب معالجة الكوارتز؟
يوفر كربيد السيليكون توصيلًا حراريًا أعلى، وتلوثًا أقل، ومقاومة أفضل للصدمات الحرارية، وعمر خدمة أطول بكثير من الكوارتز، خاصةً في عمليات أشباه الموصلات ذات درجات الحرارة العالية.
س2: ما هي العمليات المتوافقة مع هذا الأنبوب؟
الأنبوب مناسب لتطبيقات LPCVD وCVD والانتشار والأكسدة والتلدين والتخميل والتخميل وغيرها من تطبيقات المعالجة الحرارية عالية الحرارة.
س3: هل يمكن تشغيل الأنبوب في الأجواء المحتوية على الكلور؟
نعم، يوفر طلاء CVD SiC مقاومة ممتازة لبيئات المعالجة الحاملة للكلور الخاضعة للرقابة.
المراجعات
لا توجد مراجعات بعد.