SiC-keramiikkalevy on suorituskykyinen kiekkokantaja, joka on suunniteltu kehittyneisiin puolijohdeprosesseihin, kuten MOCVD-, epitaksia- ja ICP-syövytykseen. Sitä on saatavana kahtena rakenteena:
- Grafiittisubstraatti, jossa on CVD-SiC-pinnoite
- Monoliittinen erittäin puhdas CVD-SiC-tarjotin (≥99,99%)
Tavanomaisiin grafiittikantajiin verrattuna tämä tuote tarjoaa huomattavasti paremman lämpöstabiilisuuden, korroosionkestävyyden ja käyttöiän, mikä tekee siitä ihanteellisen vaativiin korkean lämpötilan puolijohteiden valmistusympäristöihin.
Sitä käytetään laajalti GaN-LED-tuotannossa, tehopuolijohteiden valmistuksessa ja tarkkuuskiekkojen käsittelyjärjestelmissä.
Tärkeimmät ominaisuudet ja edut
1. Erittäin korkea lämpötilakestävyys
- Vakaa toiminta 1100-1200°C+ lämpötilassa
- Soveltuu vaativiin MOCVD- ja epitaksikasvatusympäristöihin.
- Ei muodonmuutoksia pitkäaikaisessa lämpökierrossa
2. Ylivoimainen CVD SiC-pinnoitteen suojaus
- Puhtaus enintään 99,999% SiC
- Tiivis pinnoite estää kaasun tunkeutumisen ja alustan eroosion.
- Poistaa grafiittihiukkasten aiheuttaman kontaminaation kiekkojen käsittelyssä.
3. Erinomainen korroosion ja kemikaalien kestävyys
- Kestää HF, H₂SO₄, HCl ja reaktiiviset prosessikaasut.
- Ihanteellinen aggressiivisiin puolijohteiden etsausympäristöihin
4. Korkea lämmönjohtavuus ja tasainen lämmitys
- Varmistaa tasaisen lämpötilan jakautumisen koko kiekon pinnalle
- Parantaa kalvon laatua ja prosessin vakautta
5. Pitkä käyttöikä
- Jopa 4× pidempi käyttöikä kuin perinteisillä grafiittipohjaisilla alustoilla.
- Pienempi seisokkiaika ja alhaisempi vaihtotiheys
Tekniset tiedot
| Parametri | Arvo |
|---|---|
| Materiaalin tyyppi | Grafiitti + CVD SiC-pinnoite / Täydellinen CVD SiC |
| SiC Puhtaus | ≥99,9% (päällystetty), ≥99,99% (monoliitti). |
| Halkaisija-alue | Φ380 mm - Φ600 mm |
| Käyttölämpötila | 1100-1200°C |
| Lämmönjohtavuus | Korkea |
| Korroosionkestävyys | Erinomainen (HF, H₂SO₄ kestävä) |
| Käyttöikä | ~4× grafiittipohjaiset lokerot |
Sovellusalueet
Puolijohteiden valmistus
- MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition, orgaaninen kemiallinen höyrystyminen)
- Epitaksiaalinen kiekon kasvatus (GaN, SiC jne.).
- ICP-syövytysprosessit
- Korkean tarkkuuden kiekkojen käsittelyjärjestelmät
LED-teollisuus
- Korkean kirkkauden sininen ja valkoinen LED-tuotanto
- GaN-pohjaiset optoelektroniset laitteet
Kehittynyt elektroniikka
- Tehopuolijohteet
- Suurtaajuuslaitteet
- Tarkkuus ohutkalvopäällystysjärjestelmät
Suorituskykyedut verrattuna perinteisiin grafiittilautasiin
| Kohde | Grafiitti tarjotin | CVD SiC-pinnoitettu tarjotin |
|---|---|---|
| Lämpötilan kestävyys | Medium | Erittäin korkea |
| Korroosionkestävyys | Huono | Erinomainen |
| Hiukkasten aiheuttama saastuminen | Korkea riski | Minimaalinen |
| Käyttöikä | Lyhyt | 3-4× pidempi |
| Pinnan vakaus | Hajoaa ajan myötä | Erittäin vakaa |
Pakkaus ja käsittely
- Saatavana puhdastilaluokan pakkaus
- Iskunkestävä puulaatikko tai tyhjiöpakkaus
- Suunniteltu puolijohteiden kontaminaatiovapaaseen kuljetukseen
- Tuetaan mukautettuja kokoja (Φ380-Φ600 mm tai räätälöityjä malleja).
Miksi valita tämä tuote
Tämä SiC-kiekkojen kantoteline on suunniteltu seuraavan sukupolven puolijohdevalmistukseen, jossa puhtaus, lämpöstabiilisuus ja kontaminaation hallinta ovat kriittisiä. Korvaamalla perinteiset grafiittipohjaiset kantoaineet se parantaa merkittävästi tuotannon tuottoa, vähentää ylläpitokustannuksia ja varmistaa prosessin vakaan pitkän aikavälin suorituskyvyn.
FAQ
Q1: Mikä on CVD SiC-pinnoitteen tärkein etu verrattuna grafiittilautasiin?
CVD-SiC-pinnoite muodostaa tiheän, erittäin puhtaan suojakerroksen, joka estää kaasun tunkeutumisen ja grafiittihiukkasten irtoamisen, mikä parantaa huomattavasti kestävyyttä ja vähentää kiekon saastumista.
Kysymys 2: Voidaanko tätä SiC-tarjotinta käyttää MOCVD-korkean lämpötilan prosesseissa?
Kyllä. Se on suunniteltu erityisesti MOCVD-sovelluksiin, ja se toimii luotettavasti 1100-1200 °C:n lämpötilassa erinomaisen lämpöstabiilin ja tasaisen lämmönjakautumisen ansiosta.
Kysymys 3: Mitä eroa on päällystetyillä grafiittilautasilla ja täydellisillä CVD-SiC-lautasilla?
Pinnoitetuissa grafiittilokerikoissa käytetään grafiittiytimen kanssa suojaavaa SiC-kerrosta, kun taas täysin CVD-SiC-kerikot ovat monoliittisia rakenteita, joilla on korkeampi puhtaus, parempi korroosionkestävyys ja pidempi käyttöikä.
Arviot
Tuotearvioita ei vielä ole.