Piikarbidin pystysuora uuniputki on suunniteltu erityisesti korkean lämpötilan puolijohde- ja aurinkosähköteollisuuden lämpökäsittelysovelluksiin. Se toimii kriittisenä uloimpana prosessiputkena pystysuorissa diffuusiouuneissa ja auttaa ylläpitämään vakaata lämpötilan tasaisuutta ja hallittua prosessi-ilmapiiriä korkean lämpötilan toiminnoissa.

Uunin putki on valmistettu edistyksellisellä 3D-tulostustekniikalla, ja siinä on saumaton integroitu rakenne ilman hitsausliitoksia tai kokoonpanon heikkoja kohtia. Tämä parantaa merkittävästi mekaanista lujuutta, mittapysyvyyttä ja toimintavarmuutta jatkuvissa lämpövaihteluolosuhteissa.

Puolijohteiden valmistuksen erittäin puhtaiden vaatimusten täyttämiseksi putken pinta on päällystetty erittäin puhtaalla CVD-piikarbidilla (Chemical Vapor Deposition SiC). Pinnoite vähentää pinnan epäpuhtaustasoja alle 5 PPM:n ja parantaa samalla korroosionkestävyyttä ja käyttöikää.

Piikarbidiuuniputki, jolla on erinomainen lämmönjohtavuus, alhainen lämpölaajeneminen ja erinomainen lämpöshokkien kestävyys, tarjoaa pitkäaikaisen ja vakaan suorituskyvyn jopa 1300 °C:n vaikeissa korkean lämpötilan prosessiympäristöissä.

Tärkeimmät ominaisuudet

Yksiosainen 3D-tulostettu rakenne

Integroitu valuprosessi poistaa hitsaussaumat ja kokoonpanon jännityskohdat, mikä parantaa huomattavasti rakenteellista eheyttä ja pitkäaikaiskestävyyttä.

Erittäin erittäin puhdas materiaali

• Epäpuhtauspitoisuus: ＜ 300 PPM
• Pinnan epäpuhtauspitoisuus CVD-SiC-pinnoituksen jälkeen: ＜ 5 PPM

Erittäin puhdas pinta minimoi kontaminaatioriskit puolijohdekiekkojen käsittelyn aikana.

Erinomainen lämmönjohtavuus

Piikarbidi tarjoaa nopean ja tasaisen lämmönsiirron, mikä takaa erittäin tasaisen uunin lämpötilajakauman ja prosessin vakauden.

Erinomainen lämpöshokkien kestävyys

Uunin putki kestää toistuvia nopeita lämmitys- ja jäähdytysjaksoja ilman halkeamia tai muodonmuutoksia, mikä vähentää huoltotiheyttä ja pidentää käyttöikää.

Erinomainen korroosionkestävyys

CVD-piikarbidipinnoite kestää poikkeuksellisen hyvin syövyttäviä kaasuja ja ankaraa prosessi-ilmapiiriä, joita käytetään yleisesti puolijohteiden diffuusio- ja hapetusprosesseissa.

Pitkä käyttöikä

Tavanomaisiin kvartsi- ja alumiinioksidiputkiin verrattuna piikarbidi tarjoaa huomattavasti paremman kestävyyden, lämpöstabiilisuuden ja käyttöiän.

Sovellukset

Puolijohteiden valmistus

Käytetään laajalti:

• Diffuusiouunit
• Hapetusjärjestelmät
• Hehkutusprosessit
• LPCVD-lämpökäsittelylaitteet
• Kiekkojen lämpökäsittelyjärjestelmät

Aurinkosähköteollisuus

Sopii:

• Aurinkokennojen diffuusion käsittely
• Piikiekon passivointi
• Korkean lämpötilan aurinkosähkövalmistus

Kehittynyt lämpökäsittely

Soveltuu teollisuus- ja laboratorioympäristöihin, joissa vaaditaan:

• Korkea terminen tasaisuus
• Erittäin puhtaat käsittelyolosuhteet
• Vakaa toiminta korkeissa lämpötiloissa

Tuotteen edut

Verrattuna perinteisiin kvartsi-uuniputkiin piikarbidipystyuuniputket tarjoavat:

• Korkeampi lämmönkestävyys
• Nopeampi lämpövaste
• Parempi lämpötilan tasaisuus
• Pienempi saastumisriski
• Erinomainen lämpöshokkien kestävyys
• Erinomainen korroosionkestävyys
• Pidempi käyttöikä

Nämä edut parantavat tuotannon tehokkuutta, vähentävät uunin seisokkiaikoja ja alentavat yleisiä käyttökustannuksia.

Tekniset tiedot

Kohde	Tekniset tiedot
Tuotteen nimi	Piikarbidi Pystysuora uuniputki
Materiaali	Erittäin puhdas piikarbidi
Pinnoite	CVD SiC-pinnoite
Valmistusprosessi	3D-tulostus yhden kappaleen muotitus
Perusmateriaalin epäpuhtaus	＜ 300 PPM
Pinnan epäpuhtaudet pinnoituksen jälkeen	＜ 5 PPM
Suurin käyttölämpötila	≤ 1300°C
Lämmönjohtavuus	Korkea
Lämpölaajenemiskerroin	Erittäin alhainen
Lämpöshokin kestävyys	Erinomainen
Korroosionkestävyys	Erinomainen
Kulutuskestävyys	Erinomainen
Hakemus	Puolijohde / aurinkosähköinen lämpöprosessointi

Miksi valita SiC-pystyuuniputki

Pystysuorat piikarbidiuuniputket valmistetaan edistyksellisellä tarkkuuskäsittelyllä ja tiukoilla laadunvalvontastandardeilla puolijohteiden lämpöjärjestelmien vaativien vaatimusten täyttämiseksi.

Erittäin puhtaan SiC-materiaalin, saumattoman yksiosaisen rakenteen ja CVD-piikarbidipinnoitteen yhdistelmä takaa:

• Korkeampi prosessin vakaus
• Parempi kiekon tuotto
• Vähentynyt saastuminen
• Pidentynyt uunin komponenttien käyttöikä

Asiakaskohtaisia mittoja, seinämänpaksuuksia ja pinnoitemäärityksiä on saatavana asiakkaan laitevaatimusten mukaisesti.

FAQ

Kysymys 1: Mikä on piikarbidipystyuuniputken päätehtävä?

Uuniputki ylläpitää vakaata korkean lämpötilan prosessiympäristöä puolijohde- ja aurinkosähköisten lämpökäsittelyjärjestelmien sisällä ja varmistaa samalla lämpötilan tasaisuuden ja kontaminaation hallinnan.

Q2: Mikä on suurin käyttölämpötila?

Pystysuora piikarbidiuuniputki voi toimia jatkuvasti jopa 1300 °C:n lämpötilassa.

Kysymys 3: Miksi käyttää piikarbidia kvartsi-uuniputkien sijasta?

Kvartsiin verrattuna piikarbidi tarjoaa:

• Korkeampi lämmönjohtavuus
• Parempi lämpöshokkien kestävyys
• Pidempi käyttöikä
• Pienempi saastumisriski
• Erinomainen korroosionkestävyys

Näiden etujen ansiosta SiC soveltuu paremmin kehittyneeseen puolijohdevalmistukseen.