실리콘 카바이드 수직 퍼니스 튜브는 고온 반도체 및 태양광 열처리 애플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다. 수직 확산로에서 중요한 외부 공정 튜브 역할을 하여 고온 작업 중에 안정적인 온도 균일성과 제어된 공정 분위기를 유지하는 데 도움이 됩니다.

첨단 3D 프린팅 일체형 성형 기술을 사용하여 제조된 퍼니스 튜브는 용접 조인트나 조립 약점이 없는 매끄러운 일체형 구조가 특징입니다. 따라서 지속적인 열 순환 조건에서 기계적 강도, 치수 안정성 및 작동 신뢰성이 크게 향상됩니다.

반도체 제조의 초청정 요건을 충족하기 위해 튜브 표면은 고순도 CVD 실리콘 카바이드(화학 기상 증착 SiC)로 코팅됩니다. 이 코팅은 표면 불순물 수준을 5ppm 이하로 낮추는 동시에 내식성과 서비스 수명을 향상시킵니다.

열전도율이 우수하고 열팽창이 적으며 열충격 저항성이 뛰어난 탄화규소 퍼니스 튜브는 최대 1300°C의 열악한 고온 공정 환경에서도 장기간 안정적인 성능을 제공합니다.

주요 기능

일체형 3D 프린팅 구조

통합 성형 공정은 용접 이음새와 조립 응력 지점을 제거하여 구조적 무결성과 장기적인 내구성을 크게 향상시킵니다.

초고순도 소재

• 기본 불순물 함량: ＜ 300 PPM
• CVD SiC 코팅 후 표면 불순물 함량: ＜ 5 PPM

매우 깨끗한 표면은 반도체 웨이퍼 처리 중 오염 위험을 최소화합니다.

뛰어난 열 전도성

실리콘 카바이드는 빠르고 균일한 열 전달을 제공하여 매우 일관된 용광로 온도 분포와 공정 안정성을 보장합니다.

뛰어난 내열 충격성

퍼니스 튜브는 균열이나 변형 없이 반복되는 빠른 가열 및 냉각 사이클을 견뎌내므로 유지보수 빈도가 줄어들고 수명이 연장됩니다.

우수한 내식성

CVD 실리콘 카바이드 코팅은 반도체 확산 및 산화 공정에서 일반적으로 사용되는 부식성 가스 및 열악한 공정 환경에 대한 탁월한 내성을 제공합니다.

긴 서비스 수명

실리콘 카바이드는 기존의 석영 및 알루미나 용광로 튜브에 비해 내구성, 열 안정성 및 작동 수명이 훨씬 뛰어납니다.

애플리케이션

반도체 제조

널리 사용되는 분야:

• 확산로
• 산화 시스템
• 어닐링 프로세스
• LPCVD 열처리 장비
• 웨이퍼 열처리 시스템

태양광 산업

적합 대상:

• 태양 전지 확산 처리
• 실리콘 웨이퍼 패시베이션
• 고온 태양광 발전 제조

고급 열 처리

필요한 산업 및 실험실 환경에 적용할 수 있습니다:

• 높은 열 균일성
• 매우 깨끗한 처리 조건
• 안정적인 고온 작동

제품 이점

기존의 석영 용광로 튜브와 비교하여 실리콘 카바이드 수직 용광로 튜브는 다음과 같은 이점을 제공합니다:

• 더 높은 온도 저항
• 더 빠른 열 반응
• 온도 균일성 향상
• 오염 위험 감소
• 뛰어난 열 충격 저항성
• 뛰어난 내식성
• 더 길어진 운영 수명

이러한 장점은 생산 효율성을 개선하고 용광로 가동 중단 시간을 줄이며 전반적인 운영 비용을 절감하는 데 도움이 됩니다.

기술 사양

항목	사양
제품 이름	실리콘 카바이드 수직로 튜브
재료	고순도 실리콘 카바이드
코팅	CVD SiC 코팅
제조 프로세스	3D 프린팅 일체형 몰딩
기본 재료 불순물	＜ 300 PPM
코팅 후 표면 불순물	＜ 5 PPM 미만
최대 작동 온도	≤ 1300°C
열 전도성	높음
열팽창 계수	매우 낮음
열 충격 저항	우수
내식성	우수
내마모성	우수
애플리케이션	반도체/태양광 열처리

SiC 수직로 튜브를 선택해야 하는 이유

실리콘 카바이드 수직로 튜브는 반도체급 열 시스템의 까다로운 요구 사항을 충족하기 위해 첨단 정밀 가공 및 엄격한 품질 관리 표준으로 제조됩니다.

고순도 SiC 소재, 이음매 없는 일체형 구조, CVD 실리콘 카바이드 코팅의 조합이 이를 보장합니다:

• 프로세스 안정성 향상
• 웨이퍼 수율 향상
• 오염 감소
• 퍼니스 구성 요소 수명 연장

고객 장비 요구 사항에 따라 맞춤형 치수, 벽 두께 및 코팅 사양을 사용할 수 있습니다.

자주 묻는 질문

Q1: 탄화규소 수직로 튜브의 주요 기능은 무엇인가요?

퍼니스 튜브는 반도체 및 태양광 열처리 시스템 내부의 안정적인 고온 공정 환경을 유지하면서 온도 균일성 및 오염 제어를 보장합니다.

Q2: 최대 작동 온도는 얼마인가요?

실리콘 카바이드 수직 용광로 튜브는 최대 1300°C의 온도에서 연속적으로 작동할 수 있습니다.

Q3: 석영 용광로 튜브 대신 실리콘 카바이드를 사용하는 이유는 무엇인가요?

석영에 비해 실리콘 카바이드는 다음과 같은 이점을 제공합니다:

• 더 높은 열 전도성
• 열 충격에 대한 내성 향상
• 더 길어진 서비스 수명
• 오염 위험 감소
• 우수한 내식성

이러한 장점으로 인해 SiC는 첨단 반도체 제조에 더 적합합니다.