O tubo de forno vertical de carboneto de silício foi especificamente concebido para aplicações de processamento térmico de semicondutores e fotovoltaicos a alta temperatura. Funciona como um tubo de processo exterior crítico em fornos de difusão vertical, ajudando a manter uma uniformidade de temperatura estável e atmosferas de processo controladas durante operações a alta temperatura.

Fabricado com recurso a tecnologia avançada de moldagem de uma peça por impressão 3D, o tubo do forno apresenta uma estrutura integrada sem juntas de soldadura ou pontos fracos de montagem. Isto melhora significativamente a resistência mecânica, a estabilidade dimensional e a fiabilidade operacional em condições de ciclo térmico contínuo.

Para cumprir os requisitos ultra-limpos do fabrico de semicondutores, a superfície do tubo é revestida com carboneto de silício CVD de elevada pureza (Chemical Vapor Deposition SiC). O revestimento reduz os níveis de impureza da superfície para menos de 5 ppm, melhorando simultaneamente a resistência à corrosão e a vida útil.

Com excelente condutividade térmica, baixa expansão térmica e resistência superior a choques térmicos, o tubo de forno de carboneto de silício proporciona um desempenho estável a longo prazo em ambientes de processo de alta temperatura até 1300°C.

Caraterísticas principais

Estrutura impressa em 3D numa só peça

O processo de moldagem integrado elimina os cordões de soldadura e os pontos de tensão da montagem, melhorando consideravelmente a integridade estrutural e a durabilidade a longo prazo.

Material de pureza ultra-elevada

• Teor de impurezas de base: ＜ 300 PPM
• Teor de impurezas na superfície após o revestimento de SiC por CVD: ＜ 5 PPM

A superfície ultra-limpa minimiza os riscos de contaminação durante o processamento de bolachas semicondutoras.

Excelente condutividade térmica

O carboneto de silício oferece uma transferência de calor rápida e uniforme, assegurando uma distribuição altamente consistente da temperatura do forno e a estabilidade do processo.

Excelente resistência a choques térmicos

O tubo do forno suporta ciclos repetidos de aquecimento e arrefecimento rápido sem fissuras ou deformações, reduzindo a frequência de manutenção e prolongando a vida útil.

Resistência superior à corrosão

O revestimento de carboneto de silício CVD oferece uma resistência excecional a gases corrosivos e a atmosferas de processo agressivas normalmente utilizadas em processos de difusão e oxidação de semicondutores.

Longa vida útil

Em comparação com os tubos de forno de quartzo e alumina convencionais, o carboneto de silício proporciona uma durabilidade, estabilidade térmica e vida útil operacional significativamente melhores.

Aplicações

Fabrico de semicondutores

Amplamente utilizado em:

• Fornos de difusão
• Sistemas de oxidação
• Processos de recozimento
• Equipamento de processamento térmico LPCVD
• Sistemas de tratamento térmico de bolachas

Indústria fotovoltaica

Adequado para:

• Processamento de difusão de células solares
• Passivação de pastilhas de silício
• Fabrico fotovoltaico a alta temperatura

Processamento térmico avançado

Aplicável a ambientes industriais e laboratoriais que exijam:

• Elevada uniformidade térmica
• Condições de processamento ultra-limpas
• Funcionamento estável a altas temperaturas

Vantagens do produto

Em comparação com os tubos de forno de quartzo tradicionais, os tubos de forno verticais de carboneto de silício fornecem..:

• Maior resistência à temperatura
• Resposta térmica mais rápida
• Melhor uniformidade da temperatura
• Menor risco de contaminação
• Resistência superior ao choque térmico
• Excelente resistência à corrosão
• Vida útil mais longa

Estas vantagens ajudam a melhorar a eficiência da produção, a reduzir o tempo de inatividade do forno e a diminuir os custos operacionais globais.

Especificações técnicas

Item	Especificação
Nome do produto	Tubo para forno vertical de carboneto de silício
Material	Carboneto de silício de alta pureza
Revestimento	Revestimento CVD SiC
Processo de fabrico	Impressão 3D de moldes de uma peça
Impureza do material de base	＜ 300 PPM
Impureza da superfície após o revestimento	＜ 5 PPM
Temperatura máxima de funcionamento	≤ 1300°C
Condutividade térmica	Elevado
Coeficiente de expansão térmica	Muito baixo
Resistência ao choque térmico	Excelente
Resistência à corrosão	Excelente
Resistência ao desgaste	Excelente
Aplicação	Processamento térmico de semicondutores / fotovoltaicos

Porquê escolher o nosso tubo para forno vertical SiC

Os nossos tubos para fornos verticais de carboneto de silício são fabricados com processamento de precisão avançado e normas de controlo de qualidade rigorosas para satisfazer os requisitos exigentes dos sistemas térmicos de semicondutores.

A combinação de material SiC de elevada pureza, construção de peça única sem costuras e revestimento de carboneto de silício CVD garante:

• Maior estabilidade do processo
• Rendimento melhorado das bolachas
• Redução da contaminação
• Prolongamento da vida útil dos componentes do forno

As dimensões, espessuras de parede e especificações de revestimento personalizadas estão disponíveis de acordo com os requisitos de equipamento do cliente.

FAQ

Q1: Qual é a principal função de um tubo de forno vertical de carboneto de silício?

O tubo do forno mantém um ambiente de processo estável a alta temperatura no interior dos sistemas de processamento térmico de semicondutores e fotovoltaicos, assegurando simultaneamente a uniformidade da temperatura e o controlo da contaminação.

Q2: Qual é a temperatura máxima de funcionamento?

O tubo do forno vertical de carboneto de silício pode funcionar continuamente a temperaturas até 1300°C.

Q3: Porquê utilizar carboneto de silício em vez de tubos de quartzo para fornos?

Em comparação com o quartzo, o carboneto de silício fornece:

• Maior condutividade térmica
• Melhor resistência ao choque térmico
• Vida útil mais longa
• Menor risco de contaminação
• Resistência superior à corrosão

Estas vantagens tornam o SiC mais adequado para o fabrico de semicondutores avançados.