A szilícium-karbid függőleges kemencecsövet kifejezetten magas hőmérsékletű félvezető és fotovoltaikus hőkezelési alkalmazásokhoz tervezték. Kritikus külső folyamatcsőként szolgál a függőleges diffúziós kemencékben, segít fenntartani a stabil hőmérsékleti egyenletességet és az ellenőrzött folyamatlégkört a magas hőmérsékletű műveletek során.

A fejlett 3D nyomtatási egy darabból álló öntési technológiával gyártott kemencecső zökkenőmentes, integrált szerkezettel rendelkezik, hegesztési illesztések vagy összeszerelési gyenge pontok nélkül. Ez jelentősen javítja a mechanikai szilárdságot, a méretstabilitást és a működési megbízhatóságot folyamatos hőciklusos körülmények között.

A félvezetőgyártás ultra-tiszta követelményeinek való megfelelés érdekében a cső felületét nagy tisztaságú CVD szilíciumkarbiddal (Chemical Vapor Deposition SiC) vonják be. A bevonat 5 PPM alá csökkenti a felületi szennyeződések szintjét, miközben növeli a korrózióállóságot és az élettartamot.

A kiváló hővezető képességgel, alacsony hőtágulással és kiváló hősokkállósággal a szilíciumkarbid kemencecső hosszú távú stabil teljesítményt nyújt a kemény, magas hőmérsékletű, akár 1300 °C-os technológiai környezetben.

Fő jellemzők

Egy darabból álló 3D nyomtatott szerkezet

Az integrált öntési folyamat kiküszöböli a hegesztési varratokat és az összeszerelési feszültségpontokat, jelentősen javítva a szerkezeti integritást és a hosszú távú tartósságot.

Ultra-nagy tisztaságú anyag

• Bázis szennyezőanyag-tartalom: ＜ 300 PPM
• Felületi szennyezőanyag-tartalom a CVD SiC bevonat után: ＜ 5 PPM

Az ultra-tiszta felület minimalizálja a félvezető ostyák feldolgozása során a szennyeződések kockázatát.

Kiváló hővezető képesség

A szilícium-karbid gyors és egyenletes hőátadást biztosít, ami nagymértékben egyenletes kemence-hőmérsékleteloszlást és folyamatstabilitást biztosít.

Kiemelkedő termikus ütésállóság

A kemencecső repedés vagy deformáció nélkül bírja az ismételt gyors fűtési és hűtési ciklusokat, csökkentve a karbantartási gyakoriságot és meghosszabbítva az élettartamot.

Kiváló korrózióállóság

A CVD szilícium-karbid bevonat kivételes ellenállást biztosít a korrozív gázokkal és a félvezető diffúziós és oxidációs folyamatokban általánosan használt kemény technológiai légkörrel szemben.

Hosszú élettartam

A hagyományos kvarc- és alumínium-oxid kemencecsövekhez képest a szilícium-karbid lényegesen jobb tartósságot, hőstabilitást és működési élettartamot biztosít.

Alkalmazások

Félvezetőgyártás

Széles körben használják:

• Diffúziós kemencék
• Oxidációs rendszerek
• Izzítási folyamatok
• LPCVD hőkezelő berendezések
• Wafer hőkezelő rendszerek

Fotovoltaikus ipar

Alkalmas:

• Napelemes diffúziós feldolgozás
• Szilícium ostya passziválása
• Magas hőmérsékleten történő fotovoltaikus gyártás

Fejlett termikus feldolgozás

Ipari és laboratóriumi környezetekben alkalmazható:

• Nagy termikus egyenletesség
• Ultratiszta feldolgozási körülmények
• Stabil magas hőmérsékletű működés

Termékelőnyök

A hagyományos kvarc kemencecsövekkel összehasonlítva a szilícium-karbid függőleges kemencecsövek:

• Magasabb hőmérsékleti ellenállás
• Gyorsabb hőreakció
• Jobb hőmérsékleti egyenletesség
• Alacsonyabb szennyeződési kockázat
• Kiváló hőállóság
• Kiváló korrózióállóság
• Hosszabb működési élettartam

Ezek az előnyök hozzájárulnak a termelés hatékonyságának javításához, a kemence állásidejének csökkentéséhez és az általános üzemeltetési költségek csökkentéséhez.

Műszaki specifikációk

Tétel	Specifikáció
Termék neve	Szilícium-karbid függőleges kemencecső
Anyag	Nagy tisztaságú szilícium-karbid
Bevonat	CVD SiC bevonat
Gyártási folyamat	3D nyomtatás egy darabból álló formázás
Alapanyag szennyeződés	＜ 300 PPM
Felületi szennyeződés bevonat után	＜ 5 PPM
Maximális üzemi hőmérséklet	≤ 1300°C
Hővezető képesség	Magas
Hőtágulási együttható	Nagyon alacsony
Hősokk-ellenállás	Kiváló
Korrózióállóság	Kiváló
Kopásállóság	Kiváló
Alkalmazás	Félvezető / fotovoltaikus hőkezelés

Miért válassza a SiC függőleges kemencecsövünket?

Szilícium-karbid függőleges kemencecsöveinket fejlett precíziós feldolgozással és szigorú minőségellenőrzési szabványokkal gyártjuk, hogy megfeleljenek a félvezető minőségű termikus rendszerek szigorú követelményeinek.

A nagy tisztaságú SiC anyag, a varratmentes, egy darabból álló szerkezet és a CVD szilíciumkarbid bevonat kombinációja biztosítja:

• Nagyobb folyamatstabilitás
• Javított ostyahozam
• Csökkentett szennyeződés
• Meghosszabbított élettartamú kemencealkatrészek

Egyedi méretek, falvastagságok és bevonati specifikációk állnak rendelkezésre az ügyfél berendezéseinek követelményei szerint.

GYIK

1. kérdés: Mi a szilícium-karbid függőleges kemencecső fő funkciója?

A kemencecső stabil, magas hőmérsékletű technológiai környezetet tart fenn a félvezető- és fotovoltaikus hőkezelő rendszerekben, miközben biztosítja a hőmérséklet egyenletességét és a szennyeződések ellenőrzését.

2. kérdés: Mi a maximális üzemi hőmérséklet?

A szilíciumkarbid függőleges kemencecső folyamatosan 1300 °C-ig terjedő hőmérsékleten működhet.

3. kérdés: Miért használjunk szilícium-karbidot a kvarc kemencecsövek helyett?

A kvarccal összehasonlítva a szilíciumkarbid:

• Magasabb hővezető képesség
• Jobb hőállóság
• Hosszabb élettartam
• Alacsonyabb szennyeződési kockázat
• Kiváló korrózióállóság

Ezek az előnyök alkalmassá teszik a SiC-et a fejlett félvezetőgyártásra.