Trubice vertikální pece na karbid křemíku je speciálně navržena pro vysokoteplotní aplikace tepelného zpracování polovodičů a fotovoltaiky. Slouží jako kritická vnější procesní trubka ve vertikálních difuzních pecích, která pomáhá udržovat stabilní teplotní rovnoměrnost a řízenou procesní atmosféru během vysokoteplotních operací.

Trubka pece, vyrobená pomocí pokročilé technologie 3D tisku z jednoho kusu, má bezešvou integrovanou strukturu bez svarových spojů nebo slabých míst sestavy. To výrazně zvyšuje mechanickou pevnost, rozměrovou stabilitu a provozní spolehlivost v podmínkách nepřetržitého tepelného cyklu.

Aby byly splněny požadavky na ultračistotu při výrobě polovodičů, je povrch trubice pokryt vysoce čistým karbidem křemíku CVD (Chemical Vapor Deposition SiC). Povlak snižuje obsah nečistot v povrchu na méně než 5 PPM a zároveň zvyšuje odolnost proti korozi a životnost.

Díky vynikající tepelné vodivosti, nízké tepelné roztažnosti a vynikající odolnosti proti teplotním šokům poskytuje trubice pece z karbidu křemíku dlouhodobě stabilní výkon v náročných vysokoteplotních procesních prostředích až do 1300 °C.

Klíčové vlastnosti

Jednodílná 3D tištěná konstrukce

Integrovaný proces lisování eliminuje svařovací švy a místa namáhání při montáži, což výrazně zlepšuje strukturální integritu a dlouhodobou životnost.

Materiál s velmi vysokou čistotou

• Obsah základních nečistot: ＜ 300 PPM
• Obsah povrchových nečistot po CVD povlaku SiC: ＜ 5 PPM

Ultračistý povrch minimalizuje rizika kontaminace při zpracování polovodičových destiček.

Vynikající tepelná vodivost

Karbid křemíku nabízí rychlý a rovnoměrný přenos tepla, což zajišťuje vysoce konzistentní rozložení teploty v peci a stabilitu procesu.

Vynikající odolnost proti teplotním šokům

Trubka pece odolává opakovaným rychlým cyklům zahřívání a ochlazování, aniž by došlo k jejímu popraskání nebo deformaci, což snižuje četnost údržby a prodlužuje životnost.

Vynikající odolnost proti korozi

Povlak karbidu křemíku CVD poskytuje výjimečnou odolnost vůči korozivním plynům a drsným procesním atmosférám, které se běžně používají v difúzních a oxidačních procesech polovodičů.

Dlouhá životnost

V porovnání s běžnými křemennými a korundovými pecními trubkami poskytuje karbid křemíku výrazně lepší odolnost, tepelnou stabilitu a provozní životnost.

Aplikace

Výroba polovodičů

Široké použití v:

• Difuzní pece
• Oxidační systémy
• Procesy žíhání
• Zařízení pro tepelné zpracování LPCVD
• Systémy tepelného zpracování destiček

Fotovoltaický průmysl

Vhodné pro:

• Difuzní zpracování solárních článků
• Pasivace křemíkových destiček
• Výroba vysokoteplotních fotovoltaických článků

Pokročilé tepelné zpracování

Použitelné v průmyslovém a laboratorním prostředí, které vyžaduje:

• Vysoká tepelná rovnoměrnost
• Ultračisté podmínky zpracování
• Stabilní provoz při vysokých teplotách

Výhody produktu

V porovnání s tradičními křemennými pecními trubkami poskytují vertikální pecní trubky z karbidu křemíku:

• Vyšší teplotní odolnost
• Rychlejší tepelná odezva
• Lepší rovnoměrnost teploty
• Nižší riziko kontaminace
• Vynikající odolnost proti teplotním šokům
• Vynikající odolnost proti korozi
• Delší provozní životnost

Tyto výhody pomáhají zvýšit efektivitu výroby, zkrátit prostoje pece a snížit celkové provozní náklady.

Technické specifikace

Položka	Specifikace
Název produktu	Karbid křemíku vertikální pec trubky
Materiál	Karbid křemíku vysoké čistoty
Nátěry	CVD povlak SiC
Výrobní proces	3D tisk jednodílných výlisků
Příměs základního materiálu	＜ 300 PPM
Povrchová nečistota po pokovení	＜ 5 PPM
Maximální provozní teplota	≤ 1300°C
Tepelná vodivost	Vysoká
Koeficient tepelné roztažnosti	Velmi nízká
Odolnost proti teplotním šokům	Vynikající
Odolnost proti korozi	Vynikající
Odolnost proti opotřebení	Vynikající
Aplikace	Tepelné zpracování polovodičů / fotovoltaiky

Proč si vybrat naši vertikální pecní trubku SiC?

Naše vertikální pecní trubky z karbidu křemíku jsou vyráběny s pokročilým přesným zpracováním a přísnými standardy kontroly kvality, aby splňovaly náročné požadavky na tepelné systémy polovodičové třídy.

Kombinace vysoce čistého materiálu SiC, bezešvé jednodílné konstrukce a povlaku karbidu křemíku CVD zajišťuje:

• Vyšší stabilita procesu
• Zlepšená výtěžnost destiček
• Snížení kontaminace
• Prodloužená životnost součástí pece

Podle požadavků zákazníka na vybavení jsou k dispozici vlastní rozměry, tloušťky stěn a specifikace povlaků.

ČASTO KLADENÉ DOTAZY

Otázka 1: Jaká je hlavní funkce vertikální pecní trubky z karbidu křemíku?

Trubice pece udržuje stabilní vysokoteplotní procesní prostředí v systémech tepelného zpracování polovodičů a fotovoltaiky a zároveň zajišťuje rovnoměrnost teploty a kontrolu kontaminace.

Otázka 2: Jaká je maximální provozní teplota?

Vertikální pecní trubice z karbidu křemíku může pracovat nepřetržitě při teplotách až 1300 °C.

Otázka 3: Proč používat karbid křemíku namísto křemenných pecních trubek?

V porovnání s křemenem poskytuje karbid křemíku:

• Vyšší tepelná vodivost
• Lepší odolnost proti teplotním šokům
• Delší životnost
• Nižší riziko kontaminace
• Vynikající odolnost proti korozi

Díky těmto výhodám je SiC vhodnější pro pokročilou výrobu polovodičů.