Ống lò đứng bằng cacbua silic được thiết kế chuyên dụng cho các ứng dụng xử lý nhiệt trong lĩnh vực bán dẫn và quang điện. Sản phẩm này đóng vai trò là ống xử lý bên ngoài quan trọng trong các lò khuếch tán đứng, giúp duy trì sự đồng đều nhiệt độ ổn định và kiểm soát môi trường xử lý trong quá trình vận hành ở nhiệt độ cao.

Được sản xuất bằng công nghệ đúc nguyên khối tiên tiến thông qua in 3D, ống lò có cấu trúc liền mạch, không có mối hàn hay điểm yếu trong quá trình lắp ráp. Điều này giúp cải thiện đáng kể độ bền cơ học, độ ổn định kích thước và độ tin cậy vận hành trong điều kiện thay đổi nhiệt độ liên tục.

Để đáp ứng các yêu cầu về độ sạch cực cao trong sản xuất chất bán dẫn, bề mặt ống được phủ một lớp cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao, được tạo thành bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD). Lớp phủ này giúp giảm hàm lượng tạp chất trên bề mặt xuống dưới 5 PPM, đồng thời tăng cường khả năng chống ăn mòn và kéo dài tuổi thọ sử dụng.

Với độ dẫn nhiệt tuyệt vời, hệ số giãn nở nhiệt thấp và khả năng chịu sốc nhiệt vượt trội, ống lò bằng cacbua silic mang lại hiệu suất ổn định lâu dài trong các môi trường xử lý nhiệt độ cao khắc nghiệt, lên đến 1300°C.

Các tính năng chính

Cấu trúc in 3D nguyên khối

Quy trình đúc tích hợp giúp loại bỏ các đường hàn và các điểm chịu lực do lắp ráp, từ đó nâng cao đáng kể độ bền kết cấu và độ bền lâu dài.

Vật liệu có độ tinh khiết cực cao

• Hàm lượng tạp chất cơ bản: ＜ 300 PPM
• Hàm lượng tạp chất trên bề mặt sau khi phủ SiC bằng phương pháp CVD: ＜ 5 PPM

Bề mặt siêu sạch giúp giảm thiểu rủi ro nhiễm bẩn trong quá trình gia công tấm wafer bán dẫn.

Độ dẫn nhiệt tuyệt vời

Cacbua silic giúp truyền nhiệt nhanh chóng và đồng đều, đảm bảo sự phân bố nhiệt độ lò nung ổn định cao và tính ổn định của quá trình.

Khả năng chịu sốc nhiệt vượt trội

Ống lò có thể chịu được các chu kỳ gia nhiệt và làm nguội nhanh lặp đi lặp lại mà không bị nứt hoặc biến dạng, giúp giảm tần suất bảo trì và kéo dài tuổi thọ.

Khả năng chống ăn mòn vượt trội

Lớp phủ cacbua silic CVD mang lại khả năng chống chịu vượt trội trước các loại khí ăn mòn và môi trường quá trình khắc nghiệt thường được sử dụng trong các quy trình khuếch tán và oxy hóa bán dẫn.

Tuổi thọ cao

So với các ống lò bằng thạch anh và nhôm oxit thông thường, cacbua silic mang lại độ bền, tính ổn định nhiệt và tuổi thọ hoạt động cao hơn đáng kể.

Ứng dụng

Sản xuất chất bán dẫn

Được sử dụng rộng rãi trong:

• Lò khuếch tán
• Hệ thống oxy hóa
• Các quy trình ủ
• Thiết bị xử lý nhiệt LPCVD
• Hệ thống xử lý nhiệt tấm wafer

Ngành công nghiệp quang điện

Phù hợp với:

• Quy trình khuếch tán trong tế bào quang điện
• Quá trình cách ly tấm wafer silicon
• Sản xuất pin quang điện ở nhiệt độ cao

Công nghệ xử lý nhiệt tiên tiến

Áp dụng cho các môi trường công nghiệp và phòng thí nghiệm có yêu cầu:

• Độ đồng đều nhiệt cao
• Điều kiện chế biến siêu sạch
• Hoạt động ổn định ở nhiệt độ cao

Ưu điểm của sản phẩm

So với các ống lò thạch anh truyền thống, các ống lò thẳng đứng bằng cacbua silic mang lại:

• Khả năng chịu nhiệt độ cao hơn
• Phản ứng nhiệt nhanh hơn
• Độ đồng đều nhiệt độ cao hơn
• Giảm nguy cơ ô nhiễm
• Khả năng chịu sốc nhiệt vượt trội
• Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời
• Tuổi thọ hoạt động dài hơn

Những ưu điểm này giúp nâng cao hiệu quả sản xuất, giảm thời gian ngừng hoạt động của lò nung và cắt giảm chi phí vận hành tổng thể.

Thông số kỹ thuật

Mặt hàng	Thông số kỹ thuật
Tên sản phẩm	Ống lò đứng bằng cacbua silic
Chất liệu	Cacbua silic có độ tinh khiết cao
Lớp phủ	Lớp phủ SiC bằng phương pháp CVD
Quy trình sản xuất	In 3D theo phương pháp đúc nguyên khối
Tạp chất trong vật liệu nền	＜ 300 PPM
Tạp chất bề mặt sau khi phủ	＜ 5 PPM
Nhiệt độ hoạt động tối đa	≤ 1300°C
Độ dẫn nhiệt	Cao
Hệ số giãn nở nhiệt	Rất thấp
Khả năng chịu sốc nhiệt	Tuyệt vời
Khả năng chống ăn mòn	Tuyệt vời
Khả năng chống mài mòn	Tuyệt vời
Ứng dụng	Xử lý nhiệt trong lĩnh vực bán dẫn / quang điện

Tại sao nên chọn ống lò đứng SiC của chúng tôi

Các ống lò đứng bằng cacbua silic của chúng tôi được sản xuất bằng công nghệ gia công chính xác tiên tiến và tuân thủ các tiêu chuẩn kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt nhằm đáp ứng các yêu cầu khắt khe của các hệ thống nhiệt dành cho ngành bán dẫn.

Sự kết hợp giữa vật liệu SiC có độ tinh khiết cao, cấu trúc liền khối không mối hàn và lớp phủ cacbua silic CVD đảm bảo:

• Độ ổn định quá trình cao hơn
• Nâng cao hiệu suất sản xuất wafer
• Giảm thiểu ô nhiễm
• Kéo dài tuổi thọ của các bộ phận lò nung

Chúng tôi có thể cung cấp các kích thước, độ dày thành ống và thông số kỹ thuật lớp phủ theo yêu cầu cụ thể của thiết bị khách hàng.

Câu hỏi thường gặp

Câu hỏi 1: Chức năng chính của ống lò đứng bằng cacbua silic là gì?

Ống lò giúp duy trì môi trường xử lý nhiệt độ cao ổn định bên trong các hệ thống xử lý nhiệt cho ngành bán dẫn và quang điện, đồng thời đảm bảo sự đồng đều về nhiệt độ và kiểm soát ô nhiễm.

Câu hỏi 2: Nhiệt độ hoạt động tối đa là bao nhiêu?

Ống lò đứng bằng cacbua silic có thể hoạt động liên tục ở nhiệt độ lên đến 1300°C.

Câu hỏi 3: Tại sao lại sử dụng ống lò bằng cacbua silic thay vì ống lò bằng thạch anh?

So với thạch anh, cacbua silic mang lại:

• Độ dẫn nhiệt cao hơn
• Khả năng chịu sốc nhiệt tốt hơn
• Tuổi thọ cao hơn
• Giảm nguy cơ ô nhiễm
• Khả năng chống ăn mòn vượt trội

Những ưu điểm này khiến SiC trở nên phù hợp hơn cho quá trình sản xuất bán dẫn tiên tiến.