Puolijohdevalmistuksen rakennekeramiikka: Materiaalit, sovellukset ja tulevaisuuden suuntaukset
Nykyaikainen puolijohteiden valmistus vaatii ennennäkemättömän tarkkuuden, puhtauden, lämpöstabiilisuuden ja luotettavuuden. Kun siruarkkitehtuurit kehittyvät jatkuvasti kohti pienempiä solmuja, suurempaa tehotiheyttä ja edistyneitä pakkaustekniikoita, perinteiset metallimateriaalit törmäävät yhä useammin rajoituksiin prosessiympäristöissä, joissa esiintyy plasmalle altistumista, erittäin korkeaa tyhjiötä, aggressiivisia kemikaaleja ja äärimmäisiä lämpötiloja. Rakennekeramiikka on siksi tullut välttämättömäksi materiaaliksi […]




