Gốm kết cấu trong sản xuất chất bán dẫn: Vật liệu, ứng dụng và xu hướng tương lai
Sản xuất chất bán dẫn hiện đại đòi hỏi mức độ chính xác, độ sạch, độ ổn định nhiệt và độ tin cậy ở mức chưa từng có. Khi kiến trúc chip tiếp tục phát triển theo hướng các nút công nghệ nhỏ hơn, mật độ công suất cao hơn và các công nghệ đóng gói tiên tiến, các vật liệu kim loại truyền thống ngày càng bộc lộ những hạn chế trong các môi trường chế tạo liên quan đến tiếp xúc với plasma, chân không cực cao, hóa chất ăn mòn và nhiệt độ cực đoan. Do đó, gốm kết cấu đã trở thành vật liệu không thể thiếu […]
Gốm kết cấu trong sản xuất chất bán dẫn: Vật liệu, ứng dụng và xu hướng tương lai Đọc thêm »




