Teollisuuden uutiset

Kehittyneet keraamiset materiaalit puolijohteiden valmistuksessa: Erittäin puhdas, äärimmäinen lämmönkestävyys ja erittäin kova suorituskyky.

As semiconductor technology continues to evolve toward smaller nodes, higher integration density, and more complex manufacturing processes, the demand for advanced materials inside semiconductor equipment has increased dramatically. Modern semiconductor fabrication environments require materials capable of withstanding extreme temperatures, corrosive plasma exposure, ultra-clean vacuum conditions, and high mechanical stress while maintaining dimensional stability and contamination […]

Kehittyneet keraamiset materiaalit puolijohteiden valmistuksessa: Erittäin puhdas, äärimmäinen lämmönkestävyys ja erittäin kova suorituskyky. Lue lisää »

Kehittyneet keraamiset komponentit puolijohdevalmistuksessa: Sähköstaattisen kiinnittimen periaatteet ja suuntaukset: Sähköstaattisen kiinnittimen periaatteet ja suuntaukset

1. Johdanto: Kehittyneiden keraamisten materiaalien rooli puolijohdelaitteissa Nykyaikaisessa puolijohteiden valmistuksessa laitteet toimivat äärimmäisissä olosuhteissa, kuten tyhjiöympäristöissä, korkeissa lämpötiloissa, plasman vaikutuksen alaisina sekä vaativissa ultra-tarkkojen liikkeiden ohjausolosuhteissa. Perinteiset metallimateriaalit eivät useinkaan pysty täyttämään vakautta, puhtautta, sähköeristystä ja lämmönhallintaa koskevia vaatimuksia yhdessä. Kehittyneet tekniset keraamit – kuten alumiinioksidi (Al₂O₃), alumiini

Kehittyneet keraamiset komponentit puolijohdevalmistuksessa: Sähköstaattisen kiinnittimen periaatteet ja suuntaukset: Sähköstaattisen kiinnittimen periaatteet ja suuntaukset Lue lisää »