Structurele keramiek voor de productie van halfgeleiders: Materialen, toepassingen en toekomstige trends
De moderne halfgeleiderproductie vereist een ongekend niveau van precisie, reinheid, thermische stabiliteit en betrouwbaarheid. Naarmate chiparchitecturen zich steeds verder ontwikkelen in de richting van kleinere knooppunten, een hogere vermogensdichtheid en geavanceerde verpakkingstechnologieën, stuiten conventionele metalen materialen steeds vaker op hun grenzen in procesomgevingen met blootstelling aan plasma, ultrahoge vacuümdruk, agressieve chemicaliën en extreme temperaturen. Structureel keramiek is daarom een onmisbaar materiaal geworden […]




