Tin tức ngành

Vật liệu gốm tiên tiến trong sản xuất chất bán dẫn: Độ tinh khiết cao, khả năng chịu nhiệt cực cao và độ cứng vượt trội

As semiconductor technology continues to evolve toward smaller nodes, higher integration density, and more complex manufacturing processes, the demand for advanced materials inside semiconductor equipment has increased dramatically. Modern semiconductor fabrication environments require materials capable of withstanding extreme temperatures, corrosive plasma exposure, ultra-clean vacuum conditions, and high mechanical stress while maintaining dimensional stability and contamination […]

Vật liệu gốm tiên tiến trong sản xuất chất bán dẫn: Độ tinh khiết cao, khả năng chịu nhiệt cực cao và độ cứng vượt trội Đọc thêm »

Các linh kiện gốm sứ tiên tiến trong sản xuất bán dẫn: Nguyên lý và xu hướng của đế điện tĩnh

1. Giới thiệu: Vai trò của gốm sứ tiên tiến trong thiết bị bán dẫn Trong ngành sản xuất bán dẫn hiện đại, các thiết bị hoạt động trong điều kiện khắc nghiệt như môi trường chân không, nhiệt độ cao, tiếp xúc với plasma và yêu cầu kiểm soát chuyển động siêu chính xác. Các vật liệu kim loại truyền thống thường không đáp ứng được các yêu cầu kết hợp về độ ổn định, độ sạch, cách điện và quản lý nhiệt. Gốm kỹ thuật tiên tiến — chẳng hạn như alumina (Al₂O₃), nhôm

Các linh kiện gốm sứ tiên tiến trong sản xuất bán dẫn: Nguyên lý và xu hướng của đế điện tĩnh Đọc thêm »