Консольный лепесток из карбида кремния (SiC Cantilever Paddle) - это высокоэффективный конструкционный компонент, изготовленный из карбида кремния, соединенного реакционным способом (RB-SiC). Разработанный специально для высокотемпературного полупроводникового и фотоэлектрического оборудования, он обеспечивает превосходную термическую стабильность, механическую прочность, коррозионную стойкость и точность размеров в экстремальных условиях эксплуатации.
Благодаря своей консольной структуре лепестки могут поддерживать и безопасно транспортировать несколько пластин в диффузионных печах, печах окисления, системах LPCVD и оборудовании для нанесения покрытий. По сравнению с обычными кварцевыми или металлическими системами носителей, консольные лепестки из SiC обеспечивают значительно больший срок службы, меньший риск загрязнения и превосходную устойчивость к тепловым деформациям.
Благодаря низкому коэффициенту теплового расширения и высокой теплопроводности лепестки сохраняют отличную структурную целостность при многократных циклах нагрева и охлаждения, что делает их идеальными для непрерывного использования в высокотемпературных условиях промышленного производства.
Основные характеристики консольного весла SiC
Отличная устойчивость к высоким температурам
Консольный лепесток из SiC может непрерывно работать при температурах до 1380 °C без деформации или разрушения структуры. Это делает его очень подходящим для процессов диффузии, окисления, нитрирования, отжига и LPCVD полупроводников, работающих в диапазоне 1000-1300 °C.
Выдающаяся механическая прочность
Материал RB-SiC обеспечивает исключительную прочность на изгиб и жесткость даже при повышенных температурах. Стабильная конструкция поперечного сечения обеспечивает надежную поддержку пластин большого диаметра, сводя к минимуму вибрацию и провисание во время работы печи.
Сверхнизкий уровень загрязнения
В отличие от металлических носителей, карбид кремния не выделяет металлических ионов или частиц при высокотемпературной обработке. Это помогает поддерживать чистоту пластин и повышает производительность полупроводникового производства.
Отличная устойчивость к термоударам
Лопасть выдерживает циклы быстрого нагрева и охлаждения, не трескаясь и не деформируясь. Высокая устойчивость к тепловым ударам значительно продлевает срок службы и снижает частоту технического обслуживания.
Превосходная коррозионная стойкость
Материал SiC демонстрирует отличную устойчивость к кислотам, щелочам, окислению и агрессивным технологическим газам, что делает его пригодным для использования в жестких условиях химической обработки.
Совместимость с процессами LPCVD
Коэффициент теплового расширения карбида кремния в точности соответствует обычным материалам для LPCVD-покрытий, что позволяет эффективно снизить тепловое напряжение, отслоение покрытия и загрязнение частицами.
Длительный срок службы
По сравнению с кварцевыми и металлическими лепестками, консольные лепестки SiC обладают значительно более высокой долговечностью и меньшей частотой замены, что снижает долгосрочные эксплуатационные расходы.
Технические характеристики
| Артикул | Единица | Данные |
|---|---|---|
| Максимальная рабочая температура | ℃ | 1380 |
| Плотность | г/см³ | 3.04–3.08 |
| Открытая пористость | % | <0.1 |
| Прочность на изгиб | МПа | 250 (20℃) / 280 (1200℃) |
| Модуль упругости | ГПа | 330 (20℃) / 300 (1200℃) |
| Теплопроводность | Вт/м-К | 45 (1200℃) |
| Коэффициент теплового расширения | K-¹×10-⁶ | 4.5 |
| Твердость (Виккерс) | HV2 | ≥2100 |
| Устойчивость к кислотам/щелочам | — | Превосходно |
Стандартные размеры
Доступные стандартные длины включают:
- 2378 мм
- 2550 мм
- 2660 мм
Возможны нестандартные размеры, структура щелей, емкость пластин и конфигурации крепления в соответствии с проектами печей и технологическими требованиями заказчика.
Типовые применения
Полупроводниковая промышленность
Консольные лепестки из SiC широко используются в процессах производства полупроводников, включая:
- Диффузия пластин
- Окисление
- Осаждение методом LPCVD
- Нитридирование
- Отжиг
- Транспортировка и погрузка пластин
Их высокая чистота и стабильность размеров помогают снизить риск загрязнения и повысить стабильность процесса.
Фотоэлектрическая промышленность
При производстве солнечных батарей лопатка служит высокотемпературным носителем для пластин:
- Поликристаллические кремниевые пластины
- Монокристаллические кремниевые пластины
- Диффузионные печи
- PECVD и системы нанесения покрытий
Материал сохраняет стабильность при многократных термоциклических режимах, характерных для линий по производству фотоэлектрических элементов.
Химические и промышленные применения
Благодаря отличной коррозионной стойкости консольные лопасти из SiC могут также использоваться в:
- Коррозионные химические реакторы
- Высокотемпературные циркуляционные системы
- Промышленное оборудование для термической обработки
- Агрессивные газовые среды
Преимущества по сравнению с металлическими или кварцевыми лопастями
| Недвижимость | SiC Paddle | Кварцевая лопатка | Металлическое весло |
| Стойкость к высоким температурам | Превосходно | Умеренный | Умеренный |
| Устойчивость к тепловому удару | Превосходно | Бедный | Умеренный |
| Устойчивость к коррозии | Превосходно | Хорошо | Бедный |
| Механическая прочность | Очень высокий | Низкий | Высокий |
| Загрязнение частицами | Очень низкий | Умеренный | Высокий |
| Срок службы | Длинный | Короткие | Умеренный |
| Поддержка больших пластин | Превосходно | Ограниченный | Умеренный |
Часто задаваемые вопросы - Консольная лопатка из карбида кремния
1. Какова максимальная рабочая температура?
Максимальная рабочая температура составляет 1380 °C. Он надежно работает в высокотемпературных полупроводниковых и фотоэлектрических процессах в диапазоне 1000-1300 °C.
2. Почему стоит выбрать карбид кремния вместо металлических лопаток?
Металлические лепестки могут окисляться, деформироваться или выделять металлические загрязнения при высоких температурах. Карбид кремния обеспечивает превосходную твердость, термическую стабильность, коррозионную стойкость и сверхнизкий уровень загрязнения.
3. Подходит ли лопатка для больших пластин, таких как 12-дюймовые пластины?
Да. Консольная конструкция и высокая механическая прочность обеспечивают стабильную поддержку пластин большого диаметра при сохранении точности размеров.
4. Можно ли его настроить?
Да. По желанию заказчика возможны нестандартные размеры, толщина, емкость пластин, конструкция пазов и монтажных конструкций.
Отзывы
Отзывов пока нет.