De Silicon Carbide Cantilever Paddle (SiC Cantilever Paddle) is een hoogwaardige structurele component vervaardigd uit reactiegebonden siliciumcarbide (RB-SiC). Het is speciaal ontworpen voor verwerkingsapparatuur voor halfgeleiders en fotovoltaïsche toepassingen bij hoge temperaturen en biedt uitstekende thermische stabiliteit, mechanische sterkte, corrosiebestendigheid en maatnauwkeurigheid onder extreme bedrijfsomstandigheden.
Met zijn cantileverstructuur kan de paddle meerdere wafers veilig ondersteunen en transporteren in diffusieovens, oxidatieovens, LPCVD-systemen en coatingapparatuur. Vergeleken met conventionele kwarts of metalen draagsystemen bieden cantilever-paddles van SiC een aanzienlijk langere levensduur, een lager vervuilingsrisico en een superieure weerstand tegen thermische vervorming.
Dankzij de lage thermische uitzettingscoëfficiënt en hoge thermische geleidbaarheid behoudt de paddle een uitstekende structurele integriteit tijdens herhaalde verwarmings- en koelcycli, waardoor hij ideaal is voor continue industriële productieomgevingen met hoge temperaturen.
Belangrijkste kenmerken van SiC Cantilever Paddle
Uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen
De SiC cantilever schoep kan continu werken bij temperaturen tot 1380 °C zonder vervorming of structurele defecten. Dit maakt hem zeer geschikt voor halfgeleiderdiffusie-, oxidatie-, nitridatie-, gloei- en LPCVD-processen tussen 1000-1300 °C.
Uitstekende mechanische sterkte
Het RB-SiC materiaal biedt een uitzonderlijke buigsterkte en stijfheid, zelfs bij hoge temperaturen. De stabiele dwarsdoorsnede zorgt voor een betrouwbare ondersteuning van wafers met een grote diameter en minimaliseert trillingen en doorzakken tijdens het gebruik van de oven.
Ultralage vervuiling
In tegenstelling tot metaaldragers laat siliciumcarbide geen metaalionen of -deeltjes los tijdens verwerking bij hoge temperatuur. Dit helpt om de wafer schoon te houden en verbetert de opbrengst van halfgeleiderfabricage.
Uitstekende weerstand tegen thermische schokken
De peddel is bestand tegen snelle verwarmings- en koelcycli zonder te barsten of krom te trekken. De hoge weerstand tegen thermische schokken verlengt de operationele levensduur aanzienlijk en verlaagt de onderhoudsfrequentie.
Superieure corrosiebestendigheid
SiC-materiaal is uitstekend bestand tegen zuren, alkaliën, oxidatie en corrosieve procesgassen, waardoor het geschikt is voor ruwe chemische verwerkingsomgevingen.
Compatibiliteit met LPCVD-proces
De thermische uitzettingscoëfficiënt van siliciumcarbide komt dicht in de buurt van de gebruikelijke LPCVD-coatingmaterialen, waardoor thermische spanning, coating delaminatie en deeltjesvervuiling effectief worden verminderd.
Lange levensduur
In vergelijking met kwarts- en metalen schoepen bieden SiC cantilever schoepen een aanzienlijk langere levensduur en een lagere vervangingsfrequentie, waardoor de bedrijfskosten op lange termijn dalen.
Technische specificaties
| Item | Eenheid | Gegevens |
|---|---|---|
| Maximale bedrijfstemperatuur | ℃ | 1380 |
| Dichtheid | g/cm³ | 3.04–3.08 |
| Open porositeit | % | <0.1 |
| Buigsterkte | MPa | 250 (20℃) / 280 (1200℃) |
| Elasticiteitsmodulus | GPa | 330 (20℃) / 300 (1200℃) |
| Thermische geleidbaarheid | W/m-K | 45 (1200℃) |
| Thermische uitzettingscoëfficiënt | K-¹×10-⁶ | 4.5 |
| Hardheid (Vickers) | HV2 | ≥2100 |
| Zuur/alkalische weerstand | — | Uitstekend |
Standaardafmetingen
Beschikbare standaardlengtes zijn onder andere:
- 2378 mm
- 2550 mm
- 2660 mm
Aangepaste afmetingen, groefstructuren, wafercapaciteiten en montageconfiguraties zijn beschikbaar volgens het ovenontwerp en de procesvereisten van de klant.
Typische toepassingen
Halfgeleiderindustrie
SiC cantilever paddles worden veel gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, waaronder:
- Wafer verspreiding
- Oxidatie
- LPCVD-depositie
- Nitridatie
- Gloeien
- Transport en laden van wafers
Hun hoge zuiverheid en dimensionale stabiliteit helpen contaminatierisico's te verminderen en de procesconsistentie te verbeteren.
Fotovoltaïsche industrie
Bij de productie van zonnecellen dient de paddle als drager voor wafers bij hoge temperatuur:
- Polykristallijn silicium wafers
- Monokristallijn silicium wafers
- Diffusieovens
- PECVD en coatingsystemen
Het materiaal blijft stabiel onder herhaalde thermische cyclische omstandigheden die vaak voorkomen in fotovoltaïsche productielijnen.
Chemische en industriële toepassingen
Dankzij de uitstekende corrosiebestendigheid kan de SiC cantilever schoep ook worden gebruikt in:
- Corrosieve chemische reactoren
- Circulatiesystemen voor hoge temperaturen
- Industriële thermische verwerkingsapparatuur
- Agressieve gasomgevingen
Voordelen vergeleken met metalen of kwarts peddels
| Eigendom | SiC peddel | Kwarts peddel | Metalen peddel |
| Weerstand tegen hoge temperaturen | Uitstekend | Matig | Matig |
| Weerstand tegen thermische schokken | Uitstekend | Slecht | Matig |
| Corrosiebestendigheid | Uitstekend | Goed | Slecht |
| Mechanische sterkte | Zeer hoog | Laag | Hoog |
| Deeltjesverontreiniging | Zeer laag | Matig | Hoog |
| Levensduur | Lang | Kort | Matig |
| Grote wafersteun | Uitstekend | Beperkt | Matig |
FAQ - Siliciumcarbide cantilever schoep
1. Wat is de maximale bedrijfstemperatuur?
De maximale bedrijfstemperatuur is 1380 °C. Hij presteert betrouwbaar in halfgeleider- en fotovoltaïsche processen bij hoge temperaturen tussen 1000-1300 °C.
2. Waarom kiezen voor siliciumcarbide in plaats van metalen schoepen?
Metalen schoepen kunnen bij hoge temperaturen oxideren, vervormen of metaalverontreinigingen afgeven. Siliciumcarbide biedt superieure hardheid, thermische stabiliteit, corrosiebestendigheid en ultralage vervuilingskenmerken.
3. Is de peddel geschikt voor grote wafels zoals wafels van 12 inch?
Ja. De cantileverstructuur en hoge mechanische sterkte zorgen voor een stabiele ondersteuning van wafers met een grote diameter, terwijl de maatnauwkeurigheid behouden blijft.
4. Kan het worden aangepast?
Ja. Aangepaste afmetingen, diktes, wafercapaciteiten, sleufontwerpen en montagestructuren zijn beschikbaar op basis van de vereisten van de klant.
Beoordelingen
Er zijn nog geen beoordelingen.