La plaque multitrou en céramique d'alumine est un composant technique de haute précision conçu pour les environnements industriels exigeants qui requièrent une excellente stabilité dimensionnelle, une isolation électrique et une fiabilité mécanique à long terme.
Fabriquée à partir d'alumine de haute pureté (Al₂O₃) 95-99,5%, cette plaque céramique intègre des réseaux de micro-trous et des structures de fentes usinés avec précision, permettant un flux de gaz contrôlé, un alignement précis et un positionnement mécanique stable dans les systèmes d'équipement avancés.
Il est largement utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, les systèmes laser, la microfluidique, les montages à haute température et les équipements d'automatisation de précision.
Caractéristiques principales
Matériau en alumine de haute pureté
Fabriqué à partir de 95%, 96%, 99% ou 99.5% Al₂O₃ avec une excellente dureté, isolation et stabilité chimique.
Micro-usinage de haute précision
Comprend des micro-trous percés au laser ou usinés par ultrasons (jusqu'à 0,1 mm) avec une grande précision de positionnement.
Excellente stabilité thermique
Fonctionnement stable dans des environnements allant jusqu'à 1600°C, Le système est adapté aux conditions de haute température et de cyclage thermique.
Isolation électrique exceptionnelle
Sa rigidité diélectrique élevée et sa résistivité volumique en font un produit idéal pour les environnements haute tension et RF.
Résistance aux produits chimiques et au plasma
Résistant aux acides, aux alcalis, aux solvants et à l'exposition au plasma pour une longue durée de vie.
Conception entièrement personnalisable
Toutes les structures peuvent être personnalisées :
- Diamètre et espacement des trous
- Géométrie et disposition des fentes
- Épaisseur et dimensions
- Finition de surface et revêtements
Applications
- Dispositifs de traitement des plaquettes de semi-conducteurs
- Plaques de distribution de gaz et de contrôle du microdébit
- Composants d'alignement des lasers et des systèmes optiques
- Chambres compatibles avec le vide et le plasma
- Isolation haute tension et structures de support
- Plateformes d'automatisation et d'étalonnage de précision
- Dispositifs microfluidiques et de laboratoire
Propriétés des matériaux
- Matériau : Céramique d'alumine (Al₂O₃) 95-99.5%
- Couleur : Ivoire / Blanc
- Densité : 3,80-3,95 g/cm³
- Dureté : ≥ 1200 HV
- Résistance à la compression : ≥ 2000 MPa
- Résistance à la flexion : 300-400 MPa
- Rigidité diélectrique : ≥ 15 kV/mm
- Résistivité volumique : ≥ 10¹⁴ Ω-cm
- Température de fonctionnement maximale : 1100-1600°C
- Dilatation thermique : 7,2-8,0 × 10-⁶ /K
Précision et tolérance
- Planéité : ≤ 0,02-0,05 mm
- Tolérance sur l'épaisseur : ±0,02 mm
- Précision de la position du trou : ±0,03 mm
- Rugosité de surface : Ra 0,2-0,8 μm (polissage disponible en option).
- Diamètre des micro-trous : 0,1-0,6 mm
Capacités de production
Nous utilisons des technologies avancées de traitement des céramiques, notamment
- Formage par pressage isostatique à froid (CIP)
- Frittage à haute température
- Usinage de précision CNC
- Perçage au laser et usinage par ultrasons
- Meulage et polissage de surface
- Métallisation (Mo-Mn, W) et placage Ni/Au en option
Options de personnalisation
Nous prenons en charge la personnalisation complète des OEM :
- Sélection de la qualité du matériau (95% / 96% / 99% / 99.5%)
- Matrices de trous et de fentes complexes
- Optimisation de la conception des structures
- Usinage à tolérances serrées
- Polissage ou rodage de surface
- Intégration de couches conductrices (métallisation)
Avantages par rapport aux matériaux conventionnels
Par rapport aux métaux ou aux plastiques, la céramique d'alumine offre les avantages suivants
- Résistance accrue à la température
- Meilleure stabilité dimensionnelle
- Isolation électrique supérieure
- Durée de vie plus longue
- Résistance à la corrosion et aux environnements plasma
FAQ
Q1 : Cette plaque céramique peut-elle être utilisée dans des environnements à haute température ?
Oui, il peut fonctionner de manière stable jusqu'à 1100-1600°C en fonction de la qualité du matériau.
Q2 : Quelle est la plus petite taille de trou que vous pouvez produire ?
Des micro-trous aussi petits que 0,1 mm peuvent être réalisés par usinage laser ou ultrasonique.
Q3 : Puis-je personnaliser la disposition des trous ?
Oui, tous les motifs, espacements et géométries peuvent être entièrement personnalisés sur la base des dessins.
Q4 : Êtes-vous favorable à la métallisation ou aux revêtements conducteurs ?
Oui, la métallisation Mo-Mn, la métallisation au tungstène et le placage Ni/Au sont disponibles.
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