アルミナ・セラミック・マルチホール・プレートは、優れた寸法安定性、電気絶縁性、長期的な機械的信頼性を必要とする厳しい産業環境向けに設計された高精度のエンジニアード・コンポーネントです。.
95-99.5%の高純度アルミナ（Al₂O₃）から製造されたこのセラミックプレートは、精密加工されたマイクロホールアレイとスロット構造を統合しており、高度な装置システムにおいて、制御されたガスフロー、正確なアライメント、安定した機械的位置決めを可能にする。.
半導体加工、レーザーシステム、マイクロ流体工学、高温治具、精密自動化装置などに広く使用されている。.
主な特徴
高純度アルミナ
硬度、絶縁性、化学的安定性に優れた95%、96%、99%、または99.5% Al₂O₃製。.
高精度マイクロマシニング
レーザードリルまたは超音波で加工された微細穴（0.1mmまで）が特徴で、位置精度が高い。.
優れた熱安定性
までの環境で安定した動作 1600°C, 高温および熱サイクル条件に適している。.
卓越した電気絶縁
高い絶縁耐力と体積抵抗率により、高電圧やRF環境に最適です。.
耐薬品性および耐プラズマ性
酸、アルカリ、溶剤、プラズマに強く、長寿命。.
フルカスタマイズ可能なデザイン
すべての構造はカスタマイズ可能である：
- 穴径と間隔
- スロットの形状とレイアウト
- 厚みと寸法
- 表面仕上げとコーティング
アプリケーション
- 半導体ウェハー加工用治具
- ガス分配とマイクロフロー制御プレート
- レーザーおよび光学システムのアライメント・コンポーネント
- 真空およびプラズマ対応チャンバー
- 高圧絶縁および支持構造
- 精密自動化および校正プラットフォーム
- マイクロ流体およびラボ用デバイス
材料特性
- 材料アルミナセラミック（Al₂O₃）95〜99.5%
- カラー：アイボリー/ホワイト
- 密度3.80-3.95 g/cm³
- 硬度：≥ 1200 HV
- 圧縮強度：≥ 2000 MPa
- 曲げ強度: 300-400 MPa
- 絶縁耐力: ≥ 15 kV/mm
- 体積抵抗率：≥ 10¹⁴ Ω-cm
- 最高使用温度1100-1600°C
- 熱膨張率: 7.2-8.0 × 10-⁶ /K
精度と公差
- 平坦度: ≤ 0.02-0.05 mm
- 厚さ公差：±0.02 mm
- 穴位置精度：±0.03 mm
- 表面粗さRa 0.2-0.8 μm（オプションで研磨可能）
- マイクロホール径: 0.1-0.6 mm
製造能力
私たちは、以下のような高度なセラミック加工技術を活用している：
- 冷間静水圧プレス（CIP）成形
- 高温焼結
- CNC精密加工
- レーザードリルと超音波加工
- 平面研削・研磨
- オプションのメタライゼーション（Mo-Mn、W）およびNi/Auめっき
カスタマイズ・オプション
完全なOEMカスタマイズをサポートします：
- 材料グレードの選択（95% / 96% / 99% / 99.5%）
- 複雑なホールアレイとスロットパターン
- 構造設計の最適化
- 高精度加工
- 表面研磨またはラッピング
- 導電層の統合（メタライゼーション）
従来の素材に対する利点
金属やプラスチックと比較して、アルミナセラミックは提供します：
- より高い耐熱性
- より優れた寸法安定性
- 優れた電気絶縁性
- 長寿命
- 腐食やプラズマ環境に対する耐性
よくあるご質問
Q1: このセラミック・プレートは高温環境で使用できますか？
はい、材料グレードにもよりますが、1100～1600℃まで安定した運転が可能です。.
Q2: 最小の穴サイズはどのくらいですか？
レーザー加工や超音波加工により、0.1mmという微細な穴あけが可能。.
Q3: ホールレイアウトをカスタマイズできますか？
はい、すべてのパターン、間隔、形状は、図面に基づいて完全にカスタマイズすることができます。.
Q4: メタライゼーションや導電性コーティングに対応していますか？
Mo-Mnめっき、タングステンめっき、Ni/Auめっきが可能です。.
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