氧化鋁陶瓷多孔板是一種高精密工程元件,專為要求極佳尺寸穩定性、電絕緣和長期機械可靠性的嚴苛工業環境而設計。.
此陶瓷板由 95-99.5% 高純度氧化鋁 (Al₂O₃) 製成,整合了精密加工的微孔陣列和槽結構,可在先進的設備系統中實現氣流控制、精確對位和穩定的機械定位。.
廣泛應用於半導體加工、雷射系統、微流體、高溫夾具及精密自動化設備。.
主要功能
高純度氧化鋁材料
由 95%、96%、99% 或 99.5% Al₂O₃製成,具有極佳的硬度、絕緣性和化學穩定性。.
高精密微加工
具有雷射鑽孔或超聲波加工的微孔(小至 0.1 mm),位置精確度高。.
優異的熱穩定性
可在高達 1600°C, ,適用於高溫和熱循環條件。.
傑出的電氣絕緣
高介电强度和体积电阻率使其成为高压和射频环境的理想选择。.
耐化學及電漿
耐酸、鹼、溶劑及等離子曝露,使用壽命長。.
完全客製化設計
所有結構均可客製化,包括
- 孔徑與間距
- 插槽幾何形狀與佈局
- 厚度與尺寸
- 表面處理與塗層
應用
- 半導體晶圓加工治具
- 氣體分配與微氣流控制板
- 雷射與光學系統校準元件
- 真空與等離子相容腔體
- 高壓絕緣和支撐結構
- 精密自動化與校正平台
- 微流體與實驗室裝置
材料特性
- 材質:氧化鋁陶瓷 (Al₂O₃) 95-99.5%
- 顏色:象牙白 / 白色
- 密度:3.80-3.95 g/cm³
- 硬度:≥ 1200 HV
- 抗壓強度: ≥ 2000 MPa
- 抗彎強度:300-400 MPa
- 介電強度: ≥ 15 kV/mm
- 體積電阻率: ≥ 10¹⁴ Ω-cm
- 最高工作溫度:1100-1600°C
- 熱膨脹:7.2-8.0 × 10-⁶ /K
精度與公差
- 平面度: ≤ 0.02-0.05 mm
- 厚度公差:±0.02 mm
- 孔位精度: ±0.03 mm
- 表面粗糙度:Ra 0.2-0.8 μm(可選擇拋光)
- 微孔直徑:0.1-0.6 mm
製造能力
我們採用先進的陶瓷加工技術,包括
- 冷等靜壓成型 (CIP)
- 高溫燒結
- CNC 精密加工
- 雷射鑽孔與超音波加工
- 表面研磨與拋光
- 可選擇金屬化 (鉬、鎢) 和鎳/金電鍍
客製化選項
我們支援完整的 OEM 客製化服務:
- 材料等級選擇 (95% / 96% / 99% / 99.5%)
- 複雜的孔陣和槽型
- 結構設計最佳化
- 高公差加工
- 表面拋光或研磨
- 導電層整合(金屬化)
優於傳統材料
與金屬或塑膠相比,氧化鋁陶瓷具有以下優點:
- 更高的耐溫性
- 更好的尺寸穩定性
- 優異的電氣絕緣
- 更長的使用壽命
- 耐腐蝕和等離子環境
常見問題
Q1: 這種陶瓷板可以在高溫環境下使用嗎?
是的,根據材料等級的不同,它可以在 1100-1600°C 的溫度下穩定運行。.
Q2: 您能生產的最小孔尺寸是多少?
使用雷射或超音波加工,可實現小至 0.1 mm 的微孔。.
Q3: 我可以自訂洞的佈局嗎?
是的,所有圖樣、間距和幾何形狀都可以根據圖紙完全客製化。.
Q4: 您是否支持金屬化或導電塗層?
是的,可提供鉬、鎢金屬化和鎳/金電鍍。.






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