A placa multi-furos de cerâmica de alumina é um componente de engenharia de alta precisão concebido para ambientes industriais exigentes que requerem uma excelente estabilidade dimensional, isolamento elétrico e fiabilidade mecânica a longo prazo.
Fabricada a partir de alumina de alta pureza 95-99,5% (Al₂O₃), esta placa de cerâmica integra matrizes de microfuros maquinados com precisão e estruturas de ranhuras, permitindo um fluxo de gás controlado, um alinhamento preciso e um posicionamento mecânico estável em sistemas de equipamento avançados.
É amplamente utilizado no processamento de semicondutores, sistemas laser, microfluídica, dispositivos de alta temperatura e equipamento de automação de precisão.
Caraterísticas principais
Material de alumina de alta pureza
Fabricado em 95%, 96%, 99% ou 99,5% Al₂O₃ com excelente dureza, isolamento e estabilidade química.
Micro-usinagem de alta precisão
Possui microfuros perfurados a laser ou maquinados por ultra-sons (até 0,1 mm) com uma precisão posicional apertada.
Excelente estabilidade térmica
Funcionamento estável em ambientes até 1600°C, adequado para condições de alta temperatura e de ciclos térmicos.
Isolamento elétrico excecional
A elevada rigidez dieléctrica e a resistividade volumétrica tornam-no ideal para ambientes de alta tensão e RF.
Resistência química e a plasma
Resistente a ácidos, álcalis, solventes e exposição a plasma para uma longa vida útil.
Design totalmente personalizável
Todas as estruturas podem ser personalizadas, incluindo:
- Diâmetro e espaçamento dos furos
- Geometria e disposição das ranhuras
- Espessura e dimensões
- Acabamento de superfícies e revestimentos
Aplicações
- Dispositivos de processamento de bolachas semicondutoras
- Placas de distribuição de gás e de controlo de microfluxo
- Componentes de alinhamento de sistemas ópticos e laser
- Câmaras de vácuo e compatíveis com plasma
- Isolamento de alta tensão e estruturas de suporte
- Plataformas de automatização e calibração de precisão
- Dispositivos microfluídicos e de laboratório
Propriedades do material
- Material: Cerâmica de alumina (Al₂O₃) 95-99.5%
- Cor: Marfim / Branco
- Densidade: 3,80-3,95 g/cm³
- Dureza: ≥ 1200 HV
- Resistência à compressão: ≥ 2000 MPa
- Resistência à flexão: 300-400 MPa
- Resistência dieléctrica: ≥ 15 kV/mm
- Resistividade de volume: ≥ 10¹⁴ Ω-cm
- Temperatura máxima de funcionamento: 1100-1600°C
- Expansão térmica: 7,2-8,0 × 10-⁶ /K
Precision & Tolerance
- Flatness: ≤ 0.02–0.05 mm
- Thickness tolerance: ±0.02 mm
- Hole position accuracy: ±0.03 mm
- Surface roughness: Ra 0.2–0.8 μm (optional polishing available)
- Micro-hole diameter: 0.1–0.6 mm
Capacidades de fabrico
We utilize advanced ceramic processing technologies including:
- Cold isostatic pressing (CIP) forming
- Sinterização a alta temperatura
- Maquinação de precisão CNC
- Laser drilling & ultrasonic machining
- Surface grinding & polishing
- Optional metallization (Mo-Mn, W) and Ni/Au plating
Opções de personalização
We support full OEM customization:
- Material grade selection (95% / 96% / 99% / 99.5%)
- Complex hole arrays and slot patterns
- Structural design optimization
- Tight-tolerance machining
- Surface polishing or lapping
- Conductive layer integration (metallization)
Advantages Over Conventional Materials
Compared with metals or plastics, alumina ceramic offers:
- Maior resistência à temperatura
- Melhor estabilidade dimensional
- Superior electrical insulation
- Vida útil mais longa
- Resistance to corrosion and plasma environments
FAQ
Q1: Can this ceramic plate be used in high-temperature environments?
Yes, it can operate stably up to 1100–1600°C depending on material grade.
Q2: What is the smallest hole size you can produce?
Micro-holes as small as 0.1 mm can be achieved using laser or ultrasonic machining.
Q3: Can I customize the hole layout?
Yes, all patterns, spacing, and geometries can be fully customized based on drawings.
Q4: Do you support metallization or conductive coatings?
Yes, Mo-Mn, tungsten metallization, and Ni/Au plating are available.
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