高温セラミック
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アルミナ (Al2O3)アルミナセラミックマルチホールプレート 半導体および産業用カスタムエンジニアリング部品
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炭化ケイ素（SiC）カスタム炭化ケイ素は半導体高温装置のための陶磁器の版を段階的に積み重ねた
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アルミナ (Al2O3)半導体・電子用途向け高純度Al₂O₃アルミナ・セラミック基板
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炭化ケイ素（SiC）半導体高温耐食キャリア用高純度SiCウェハボート
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炭化ケイ素（SiC）半導体装置の精密ウェハーハンドリング用SiCセラミックエンドエフェクター