Karbid křemíku Cantilever Paddle (SiC Cantilever Paddle) je vysoce výkonná konstrukční součást vyrobená z reakčně vázaného karbidu křemíku (RB-SiC). Je navržena speciálně pro vysokoteplotní zařízení na zpracování polovodičů a fotovoltaických panelů a poskytuje vynikající tepelnou stabilitu, mechanickou pevnost, odolnost proti korozi a rozměrovou přesnost v extrémních provozních podmínkách.
Díky své konzolové konstrukci může lopatka bezpečně podpírat a přepravovat více destiček uvnitř difuzních pecí, oxidačních pecí, systémů LPCVD a zařízení pro nanášení povlaků. V porovnání s běžnými křemennými nebo kovovými nosnými systémy nabízejí konzolová pádla SiC výrazně delší životnost, nižší riziko kontaminace a vyšší odolnost vůči tepelným deformacím.
Díky nízkému koeficientu tepelné roztažnosti a vysoké tepelné vodivosti si lopatka zachovává vynikající strukturální integritu během opakovaných cyklů ohřevu a chlazení, takže je ideální pro nepřetržité průmyslové výrobní prostředí s vysokými teplotami.
Klíčové vlastnosti SiC konzolového pádla
Vynikající odolnost proti vysokým teplotám
SiC konzolová lopatka může pracovat nepřetržitě při teplotách až 1380 °C bez deformace nebo strukturálního selhání. Díky tomu je velmi vhodná pro difuzní, oxidační, nitridační, žíhací a LPCVD procesy pracující při teplotách 1000-1300 °C.
Vynikající mechanická pevnost
Materiál RB-SiC poskytuje výjimečnou pevnost v ohybu a tuhost i při zvýšených teplotách. Stabilní konstrukce průřezu zajišťuje spolehlivou podporu destiček o velkém průměru a zároveň minimalizuje vibrace a prohýbání během provozu pece.
Velmi nízká kontaminace
Na rozdíl od kovových nosičů neuvolňuje karbid křemíku při vysokoteplotním zpracování kovové ionty nebo částice. To pomáhá udržovat čistotu destiček a zlepšuje výtěžnost výroby polovodičů.
Vynikající odolnost proti teplotním šokům
Lopatka odolává rychlým cyklům zahřívání a ochlazování, aniž by praskla nebo se zdeformovala. Její vysoká odolnost proti tepelným šokům výrazně prodlužuje provozní životnost a snižuje četnost údržby.
Vynikající odolnost proti korozi
Materiál SiC vykazuje vynikající odolnost vůči kyselinám, louhům, oxidaci a korozivním procesním plynům, takže je vhodný do náročných podmínek chemického zpracování.
Kompatibilita procesu LPCVD
Koeficient tepelné roztažnosti karbidu křemíku se blíží běžným povlakovým materiálům LPCVD, což účinně snižuje tepelné namáhání, delaminaci povlaku a kontaminaci částicemi.
Dlouhá životnost
V porovnání s křemennými a kovovými lopatkami nabízejí SiC konzolové lopatky výrazně lepší životnost a nižší četnost výměny, což snižuje dlouhodobé provozní náklady.
Technické specifikace
| Položka | Jednotka | Data |
|---|---|---|
| Maximální provozní teplota | ℃ | 1380 |
| Hustota | g/cm³ | 3.04–3.08 |
| Otevřená pórovitost | % | <0.1 |
| Pevnost v ohybu | MPa | 250 (20℃) / 280 (1200℃) |
| Modul pružnosti | GPa | 330 (20℃) / 300 (1200℃) |
| Tepelná vodivost | W/m-K | 45 (1200℃) |
| Koeficient tepelné roztažnosti | K-¹×10-⁶ | 4.5 |
| Tvrdost (Vickers) | HV2 | ≥2100 |
| Odolnost vůči kyselinám a zásadám | — | Vynikající |
Standardní rozměry
K dispozici jsou standardní délky:
- 2378 mm
- 2550 mm
- 2660 mm
Podle návrhů pecí a procesních požadavků zákazníka jsou k dispozici vlastní velikosti, struktury štěrbin, kapacity destiček a konfigurace montáže.
Typické aplikace
Polovodičový průmysl
SiC konzolové lopatky se široce používají v procesech výroby polovodičů, včetně:
- Difúze destiček
- Oxidace
- LPCVD depozice
- Nitridace
- Žíhání
- Přeprava a nakládání oplatek
Jejich vysoká čistota a rozměrová stabilita pomáhají snižovat rizika kontaminace a zlepšují konzistenci procesu.
Fotovoltaický průmysl
Při výrobě solárních článků slouží lopatka jako vysokoteplotní nosič destiček pro:
- Polykrystalické křemíkové destičky
- Monokrystalické křemíkové destičky
- Difuzní pece
- PECVD a povlakovací systémy
Materiál si zachovává stabilitu při opakovaných tepelných cyklech, které se běžně vyskytují ve fotovoltaických výrobních linkách.
Chemické a průmyslové aplikace
Díky vynikající odolnosti proti korozi lze SiC konzolové pádlo použít také v:
- Žíravé chemické reaktory
- Vysokoteplotní oběhové systémy
- Zařízení pro průmyslové tepelné zpracování
- Agresivní plynné prostředí
Výhody ve srovnání s kovovými nebo křemennými pádly
| Majetek | SiC pádlo | Křemenné pádlo | Kovové pádlo |
| Odolnost proti vysokým teplotám | Vynikající | Mírná | Mírná |
| Odolnost proti teplotním šokům | Vynikající | Špatný | Mírná |
| Odolnost proti korozi | Vynikající | Dobrý | Špatný |
| Mechanická pevnost | Velmi vysoká | Nízká | Vysoká |
| Kontaminace částicemi | Velmi nízká | Mírná | Vysoká |
| Životnost | Long | Krátké | Mírná |
| Velká podpora oplatek | Vynikající | Omezené | Mírná |
Často kladené otázky - Karbid křemíku Cantilever Paddle
1. Jaká je maximální provozní teplota?
Maximální provozní teplota je 1380 °C. Spolehlivě funguje při vysokoteplotních procesech v oblasti polovodičů a fotovoltaiky v rozmezí 1000-1300 °C.
2. Proč zvolit karbid křemíku místo kovových lopatek?
Kovové lopatky mohou při vysokých teplotách oxidovat, deformovat se nebo uvolňovat kovové nečistoty. Karbid křemíku nabízí vynikající tvrdost, tepelnou stabilitu, odolnost proti korozi a velmi nízkou úroveň znečištění.
3. Je lopatka vhodná pro velké oplatky, jako jsou 12palcové oplatky?
Ano. Konzolová konstrukce a vysoká mechanická pevnost umožňují stabilní podepření destiček o velkém průměru při zachování rozměrové přesnosti.
4. Lze jej přizpůsobit?
Ano. Na základě požadavků zákazníka jsou k dispozici vlastní rozměry, tloušťky, kapacity destiček, provedení drážek a montážní struktury.
Recenze
Zatím zde nejsou žádné recenze.