إن المستجيب الطرفي الخزفي المصنوع من كربيد السيليكون (SiC) هو مكون مناولة رقاقة عالية الدقة مصمم لأنظمة أتمتة أشباه الموصلات، بما في ذلك روبوتات نقل الرقاقات وأنظمة AMHS ومعدات الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية الأورو-ضوئية وأدوات المعالجة ذات درجة الحرارة العالية.
هذا المستجيب الطرفي مصنوع من CVD SiC عالي النقاء أو SSiC المصمم هندسيًا، ويوفر صلابة استثنائية وتوليد جسيمات منخفضة للغاية واستقرارًا حراريًا وكيميائيًا متميزًا. يُستخدم على نطاق واسع في مصانع أشباه الموصلات ذات العقدة 300 مم والعقدة المتقدمة، حيث يكون التحكم في التلوث ودقة تحديد المواقع أمرًا بالغ الأهمية.
بالمقارنة مع المستجيبات الطرفية التقليدية المصنوعة من الألومنيوم أو الكوارتز، تعمل حلول سيراميك SiC على تحسين استقرار العملية وسلامة الرقاقة وعمر المعدات بشكل كبير.
المزايا الرئيسية
تلوث جسيمات منخفضة للغاية
- توليد الجسيمات: <0.1/سم² (متوافق مع SEMI F57)
- عدم وجود تلوث أيونات الفلزات
- مثالية لعمليات الأشعة فوق البنفسجية الضوئية الأوروبية والعقد المتقدمة
صلابة عالية وثبات دقيق
- معامل يونغ: حوالي 420 جيجا باسكال
- يمنع اختلال محاذاة الرقاقة الناتج عن الاهتزازات
- يضمن النقل الآلي المستقر عالي السرعة
ثبات حراري ممتاز
- درجة حرارة التشغيل: حتى 1600 درجة مئوية (مؤكسدة)
- حتى 1950 درجة مئوية (جو خامل)
- مناسبة لبيئات أشباه الموصلات القاسية
مقاومة فائقة للمواد الكيميائية والبلازما
- مقاومة للأحماض والقلويات وبيئات البلازما
- لا يوجد تآكل في غرف الحفر بالحمض الفيزيئي القابل للتفتيت/التفحيم الطيفي المستمر/الحفر بالحمض الفيزيئي المتطاير
- مستقرة في غازات معالجة SiH₄، NH₃، HCl
عمر خدمة طويل وخالٍ من التآكل
- صلابة فيكرز: ~ 2800 HV
- عدم تساقط الجسيمات أثناء التشغيل طويل الأمد
- متانة ممتازة للسطح (Ra < 0.2 ميكرومتر)
الميزات الهيكلية والتصميمية
هندسة مناولة الرقاقة الدقيقة
يدعم:
- رقاقات 150 مم / 200 مم / 300 مم / 450 مم / 450 مم
- قبضة الحافة/محاذاة الشق/تصميمات الدعم المسطح
- تكامل ذراع الروبوت المخصص
هيكل خفيف الوزن عالي الصلابة
- نسبة صلابة عالية إلى الوزن
- مناسبة للأنظمة الروبوتية عالية السرعة
- يقلل من الانحراف الديناميكي أثناء الحركة
معالجة الأسطح فائقة النظافة
- الطحن والتلميع الدقيق
- خشونة السطح المنخفضة
- هيكل متوافق مع غرف التعقيم
واجهة هندسية مخصصة
- توافق تركيب ذراع الروبوت
- تكامل مصنعي المعدات الأصلية لأنظمة AMHS
- مواضع الفتحات المخصصة وتصميم التركيبات
خيارات المواد
كربيد السيليكون بالتفريغ القابل للتفكيك بالتقنية CVD (CVD SiC)
- نقاء فائق النقاء
- الأفضل لعمليات الأشعة فوق البنفسجية الضوئية الأوروبية/ أشباه الموصلات المتقدمة
- مستوى تلوث منخفض للغاية
كربيد السيليكون الملبد (SSiC)
- قوة عالية ومقاومة عالية للتآكل
- مناسبة لأنظمة مناولة الرقائق الصناعية
- توازن ممتاز بين التكلفة والأداء
المواصفات الفنية
| البند | المواصفات |
|---|---|
| المواد | CVD SiC / SSiC |
| النقاء | >99.5% |
| حجم الحبيبات | 4-10 ميكرومتر |
| الكثافة | >3.14 جم/سم مكعب |
| الصلابة | ~حوالي 2800 فولت هيدروجيني |
| قوة الانثناء | 450 ميجا باسكال |
| معامل المرونة | 420 جيجا باسكال |
| التوصيل الحراري | 160 واط/م-ك |
| درجة الحرارة القصوى | 1600 درجة مئوية (أكسدة) / 1950 درجة مئوية (خاملة) |
| المقاوماتية الكهربائية | 10⁶ -10⁸ Ω-سم |
| تشطيب السطح | مصقول فائق النعومة |
| الحجم | مخصص (رقاقات 150-450 مم) |
التطبيقات
تصنيع أشباه الموصلات
- مناولة رقاقة الطباعة الليثوغرافية بالانبعاث الضوئي الأوروبي
- أنظمة نقل الرقاقة الروبوتية 300 مم
- أتمتة غرفة الحفر بالحمض النووي القابل للتصوير بالأشعة المقطعية/التفحيم الطيفي بالبطاريات البولي فينيل فوسفاتية/الحفر الآلي
- نقل الرقاقة المزروعة بالأيونات
مواد أشباه الموصلات المتقدمة
- معالجة رقاقة رقاقة جهاز الطاقة SiC
- أنظمة إنتاج الغاليوم المشبع بالفلور (GaN epitaxy)
- عمليات MOCVD ذات درجة الحرارة العالية
الصناعة الكهروضوئية والصمامات الثنائية الباعثة للضوء
- خطوط أتمتة الرقاقات الشمسية
- أنظمة نقل الصمامات الثنائية الباعثة للضوء الصغيرة/المصغرة
- مناولة رقاقة الياقوت الياقوت
الأتمتة والروبوتات (AMHS)
- أذرع روبوت نقل الرقاقات
- أنظمة أتمتة غرف الأبحاث
- أنظمة مناولة المواد عالية السرعة
الأبحاث والمعدات المتطورة
- تصنيع الأجهزة الكمية
- أنظمة مناولة الرقاقات المبردة
- التعبئة والتغليف المتقدم (3D IC / MEMS)
ملخص مزايا المنتج
- انعدام مخاطر التلوث بالمعادن
- صلابة فائقة فائقة الصلابة للتعامل الدقيق
- ثبات حراري وكيميائي ممتاز
- عمر افتراضي طويل مع الحد الأدنى من التآكل
- متوافق مع أتمتة غرف الأبحاث
- قابلة للتخصيص لجميع أحجام الرقائق
- مناسبة لعقد EUV والعقد المتقدمة
خيارات التخصيص
نحن ندعم التخصيص الكامل لتصنيع المعدات الأصلية/التصنيع حسب الطلب:
- هندسة المستجيب الطرفي (قبضة مسطحة/قبضة الحافة/محاذاة الشق)
- توافق حجم الرقاقة (150-450 مم)
- تصميم واجهة الروبوت
- طلاء السطح (مضاد للكهرباء الساكنة/مضاد للماء اختياري)
- تحسين دقة التحمل
- تشطيبات من الدرجة النظيفة
الأسئلة الشائعة
س1: لماذا استخدام SiC بدلاً من الألومنيوم أو الكوارتز؟
- الألومنيوم: توليد الجسيمات + مشاكل الأكسدة
- الكوارتز: هش + مقاومة ضعيفة للصدمات الحرارية
- SiC: أفضل مزيج من الصلابة والنظافة والمتانة
س2: هل يمكنها دعم الرقائق مقاس 450 مم؟
نعم، تتوفر تصميمات مخصصة لأنظمة مناولة الرقاقات مقاس 450 مم.
س3: هل هي مناسبة للطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية فوق البنفسجية؟
نعم. تفي المستجيبات الطرفية المصنوعة من SiC بمتطلبات التوافق مع الجسيمات المنخفضة للغاية والتوافق مع التفريغ.
س4: هل يمكن استخدامه في أنظمة التفريغ والأنظمة ذات درجات الحرارة العالية؟
نعم، يعمل SiC بثبات في بيئات التفريغ والبلازما ودرجات الحرارة العالية.
المراجعات
لا توجد مراجعات بعد.