Den SiC-keramisk endeffektor är en högpresterande waferhanteringskomponent avsedd för halvledarautomation och precisionsrobotsystem. Den är tillverkad av kiselkarbidkeramik (SiC) med mycket hög renhet och erbjuder enastående mekanisk styrka, termisk stabilitet och kemisk resistens i extrema processmiljöer.
Jämfört med konventionella slutstycken i aluminium, rostfritt stål eller kvarts är SiC-keramisk endeffektor ger betydligt lägre partikelgenerering, överlägsen dimensionsstabilitet och utmärkt motståndskraft mot termisk deformation. Den används ofta i system för överföring av wafers där precision, renhet och tillförlitlighet är avgörande.
Denna produkt är lämplig för avancerade miljöer för halvledartillverkning, inklusive vakuumkammare, plasmaprocesser och högtemperaturutrustning.
Tekniska specifikationer
| Fastighet | Enhet | Värde |
|---|---|---|
| Kristallstruktur | - | FCC β Fas |
| Täthet | g/cm³ | 3.21 |
| Kemisk renhet | % | 99.99995 |
| Hårdhet | HV | 2500 |
| Böjhållfasthet | MPa | 415 |
| Young's modul | GPa | 430 |
| Termisk konduktivitet | W/m-K | 300 |
| Termisk expansionskoefficient | 10-⁶/K | 4.5 |
| Maximal driftstemperatur | °C | 2700 |
| Värmekapacitet | J-kg-¹-K-¹ | 640 |
| Kornstorlek | μm | 2-10 |
Viktiga funktioner
Material med ultrahög renhet
Säkerställer minimal partikelförorening i renrumsmiljöer.
Utmärkt termisk stabilitet
Bibehåller strukturell integritet under upprepad termisk cykling och bearbetning vid hög temperatur.
Låg värmeutvidgning
Ger hög dimensionell noggrannhet vid överföring av wafers.
Hög mekanisk hållfasthet
Motståndskraftig mot brott, slitage och långvarig utmattning i kontinuerliga produktionssystem.
Kemisk beständighet
Stabil i plasma, korrosiva gaser och vakuummiljöer.
Ultra slät ytfinish
Minskar repor på wafern och förbättrar hanteringssäkerheten.
Lång livslängd
Utformad för tillverkningssystem för halvledare med hög kapacitet.
Tillverkningsprocess
Den SiC-keramisk endeffektor tillverkas med hjälp av avancerad keramisk teknik.
Kiselkarbidpulver med hög renhet väljs ut och kontrolleras strikt för att säkerställa materialkonsistens.
Precisionsformning sker med hjälp av isostatisk kallpressning eller formsprutning för att uppnå komplexa geometrier.
Högtemperatursintring över 2000°C säkerställer full förtätning och strukturell stabilitet.
CNC-diamantbearbetning används för att uppnå precision på mikronivå och planhet av wafer-kvalitet.
Slutlig polering och inspektion säkerställer överensstämmelse med standarder för halvledarkvalitet.
Varje produkt genomgår en strikt dimensionskontroll, ytkvalitetstestning och icke-förstörande utvärdering före leverans.
Tillämpningar
Den SiC-keramisk endeffektor används ofta i halvledar- och högprecisionsautomationssystem.
System för överföring av wafers för 6-tums, 8-tums och 12-tums wafers
Robotiserade waferhanteringssystem i vakuumkammare
CVD-, ALD-, ets- och deponeringsutrustning
Automatiserade lastnings- och lossningssystem FOUP och FOSB
Produktionslinjer för automatisering av wafers i renrum
System för laserbearbetning och termisk glödgning
Fördelar jämfört med traditionella material
Jämfört med aluminiumslutstycken ger SiC-keramik bättre termisk stabilitet och eliminerar risken för metallkontaminering.
Jämfört med kvarts erbjuder den högre mekanisk hållfasthet och lägre partikelgenerering.
Jämfört med rostfritt stål fungerar det mer tillförlitligt i plasma- och högtemperaturmiljöer.
VANLIGA FRÅGOR
Varför välja SiC keramisk endeffektor istället för metall eller kvarts?
SiC-keramik ger överlägsen termisk stabilitet, kemisk beständighet och extremt låg partikelgenerering, vilket gör den idealisk för avancerade halvledarprocesser.
Kan den anpassas?
Ja, vi stöder fullständig kundanpassning, inklusive geometri, armlängd, monteringsgränssnitt och kompatibilitet med waferstorlek.
Är den lämplig för vakuum- och plasmasystem?
Ja, SiC-keramik är kemiskt inert och fungerar tillförlitligt i ultrahögt vakuum och plasmamiljöer.
Hur lång är livslängden?
Den erbjuder betydligt längre livslängd jämfört med konventionella ändstycken av metall eller kvarts under normala driftsförhållanden.
Tillhandahåller du inspektionsrapporter?
Ja, vi tillhandahåller måttrapporter, materialcertifikat och dokumentation från kvalitetskontroller på begäran.
Recensioner
Det finns inga recensioner än.