De SiC keramische eindeffector is een hoogwaardige wafer handling component ontworpen voor halfgeleider automatisering en precisie robotsystemen. Het is gemaakt van uiterst zuivere keramiek van siliciumcarbide (SiC) en biedt uitstekende mechanische sterkte, thermische stabiliteit en chemische weerstand in extreme procesomgevingen.
Vergeleken met conventionele eindeffectoren van aluminium, roestvrij staal of kwarts is de SiC keramische eindeffector biedt aanzienlijk minder deeltjesvorming, superieure maatvastheid en uitstekende weerstand tegen thermische vervorming. Het wordt veel gebruikt in wafertransfersystemen waar precisie, netheid en betrouwbaarheid van cruciaal belang zijn.
Dit product is geschikt voor geavanceerde halfgeleiderproductieomgevingen, waaronder vacuümkamers, plasmaprocessen en apparatuur voor hoge temperaturen.
Technische specificaties
| Eigendom | Eenheid | Waarde |
|---|---|---|
| Kristalstructuur | - | FCC β Fase |
| Dichtheid | g/cm³ | 3.21 |
| Chemische zuiverheid | % | 99.99995 |
| Hardheid | HV | 2500 |
| Buigsterkte | MPa | 415 |
| Modulus van Young | GPa | 430 |
| Thermische geleidbaarheid | W/m-K | 300 |
| Thermische uitzettingscoëfficiënt | 10-⁶/K | 4.5 |
| Maximale bedrijfstemperatuur | °C | 2700 |
| Warmtecapaciteit | J-kg-¹-K-¹ | 640 |
| Korrelgrootte | μm | 2-10 |
Belangrijkste kenmerken
Ultrazuiver materiaal
Zorgt voor minimale deeltjesvervuiling in cleanroomomgevingen.
Uitstekende thermische stabiliteit
Behoudt structurele integriteit bij herhaalde thermische cycli en verwerking bij hoge temperaturen.
Lage thermische uitzetting
Biedt een hoge maatnauwkeurigheid tijdens wafertransferbewerkingen.
Hoge mechanische sterkte
Bestand tegen breuk, slijtage en langdurige vermoeidheid in continue productiesystemen.
Chemische weerstand
Stabiel in plasma, corrosieve gassen en vacuümomgevingen.
Ultra glad oppervlak
Vermindert krassen op de wafer en verbetert de veiligheid bij het hanteren.
Lange levensduur
Ontworpen voor productiesystemen voor halfgeleiders met hoge doorvoer.
Productieproces
De SiC keramische eindeffector wordt geproduceerd met behulp van geavanceerde keramische technieken.
Het uiterst zuivere siliciumcarbidepoeder wordt geselecteerd en streng gecontroleerd om de materiaalconsistentie te garanderen.
Precisievorming wordt uitgevoerd met koud isostatisch persen of spuitgieten om complexe geometrieën te verkrijgen.
Sinteren op hoge temperatuur boven 2000°C zorgt voor volledige verdichting en structurele stabiliteit.
CNC-diamantbewerking wordt toegepast om precisie op microniveau en vlakheid op wafer-niveau te bereiken.
Het uiteindelijke polijsten en inspecteren zorgen ervoor dat wordt voldaan aan de normen voor halfgeleiders.
Elk product ondergaat een strenge dimensionale inspectie, oppervlaktekwaliteitstests en niet-destructieve evaluatie voor levering.
Toepassingen
De SiC keramische eindeffector wordt veel gebruikt in halfgeleiders en automatiseringssystemen met hoge precisie.
Wafertransfersystemen voor 6-inch, 8-inch en 12-inch wafers
Robotsystemen voor het hanteren van wafers in vacuümkamers
CVD-, ALD-, ets- en depositieapparatuur
Automatische laad- en lossystemen FOUP en FOSB
Cleanroom productielijnen voor waferautomatisering
Systemen voor laserbewerking en thermisch gloeien
Voordelen vergeleken met traditionele materialen
Vergeleken met aluminium eindeffectors biedt SiC keramiek een betere thermische stabiliteit en elimineert het risico op metaalvervuiling.
Vergeleken met kwarts biedt het een hogere mechanische sterkte en minder deeltjesvorming.
Vergeleken met roestvrij staal presteert het betrouwbaarder in omgevingen met plasma en hoge temperaturen.
FAQ
Waarom kiezen voor SiC Ceramic End Effector in plaats van metaal of kwarts?
SiC keramiek biedt superieure thermische stabiliteit, chemische weerstand en ultralage deeltjesvorming, waardoor het ideaal is voor geavanceerde halfgeleiderprocessen.
Kan het worden aangepast?
Ja, we ondersteunen volledige aanpassing, inclusief geometrie, armlengte, montage-interface en compatibiliteit met wafermaten.
Is het geschikt voor vacuüm- en plasmasystemen?
Ja, SiC keramiek is chemisch inert en presteert betrouwbaar in ultrahoog vacuüm en plasma-omgevingen.
Wat is de levensduur?
Het biedt een aanzienlijk langere levensduur in vergelijking met conventionele metalen of kwarts eindeffectoren onder standaard werkomstandigheden.
Leveren jullie inspectierapporten?
Ja, op verzoek leveren we maatrapporten, materiaalcertificaten en documentatie over kwaliteitsinspecties.
Beoordelingen
Er zijn nog geen beoordelingen.