The หัวจับเซรามิก SiC เป็นชิ้นส่วนสำหรับจัดการเวเฟอร์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับระบบอัตโนมัติในเซมิคอนดักเตอร์และระบบหุ่นยนต์ที่ต้องการความแม่นยำสูง ผลิตจากเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก ให้ความแข็งแรงทางกลที่ยอดเยี่ยม ความเสถียรทางความร้อน และความต้านทานต่อสารเคมีในสภาพแวดล้อมกระบวนการที่รุนแรง.
เมื่อเปรียบเทียบกับปลายแขนกลแบบดั้งเดิมที่ทำจากอลูมิเนียม สแตนเลส หรือควอตซ์, ปลายแขนกลแบบ หัวจับเซรามิก SiC ให้การสร้างอนุภาคที่ต่ำกว่าอย่างมีนัยสำคัญ, ความคงตัวของมิติที่เหนือกว่า, และความต้านทานต่อการเสียรูปจากความร้อนที่ยอดเยี่ยม. มันถูกใช้อย่างแพร่หลายในระบบถ่ายโอนเวเฟอร์ที่ต้องการความแม่นยำ, ความสะอาด, และความน่าเชื่อถือ.
ผลิตภัณฑ์นี้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง รวมถึงห้องสุญญากาศ กระบวนการพลาสมา และอุปกรณ์ที่มีอุณหภูมิสูง.
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| ทรัพย์สิน | หน่วย | มูลค่า |
|---|---|---|
| โครงสร้างผลึก | – | เฟส β ของ FCC |
| ความหนาแน่น | กรัมต่อลูกบาศก์เซนติเมตร | 3.21 |
| ความบริสุทธิ์ทางเคมี | % | 99.99995 |
| ความแข็ง | HV | 2500 |
| ความแข็งแรงในการดัด | เมกะปาสคาล | 415 |
| โมดูลัสของยัง | กิกะปาสคาล | 430 |
| การนำความร้อน | วัตต์ต่อเมตร·เคลวิน | 300 |
| สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน | 10⁻⁶/K | 4.5 |
| อุณหภูมิการทำงานสูงสุด | องศาเซลเซียส | 2700 |
| ความจุความร้อน | จูลต่อกิโลกรัมต่อเคลวิน | 640 |
| ขนาดของเมล็ด | ไมโครเมตร | 2–10 |
คุณสมบัติเด่น
วัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูงพิเศษ
รับประกันการปนเปื้อนของอนุภาคในสภาพแวดล้อมห้องสะอาดให้น้อยที่สุด.
ความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม
รักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างภายใต้การเปลี่ยนผ่านความร้อนซ้ำและการประมวลผลที่อุณหภูมิสูง.
การขยายตัวทางความร้อนต่ำ
ให้ความแม่นยำสูงในมิติระหว่างการถ่ายโอนเวเฟอร์.
ความแข็งแรงทางกลสูง
ทนต่อการแตกหัก การสึกหรอ และความล้าจากการใช้งานต่อเนื่องในระบบผลิตแบบต่อเนื่อง.
ความต้านทานต่อสารเคมี
เสถียรในพลาสมา, ก๊าซกัดกร่อน, และสภาพแวดล้อมสุญญากาศ.
ผิวเรียบลื่นเป็นพิเศษ
ลดการขีดข่วนของเวเฟอร์และเพิ่มความปลอดภัยในการจัดการ.
อายุการใช้งานยาวนาน
ออกแบบมาสำหรับระบบการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีปริมาณการผลิตสูง.
กระบวนการผลิต
The หัวจับเซรามิก SiC ผลิตโดยใช้เทคนิคทางวิศวกรรมเซรามิกขั้นสูง.
ผงซิลิคอนคาร์ไบด์ความบริสุทธิ์สูงถูกคัดเลือกและควบคุมอย่างเข้มงวดเพื่อให้แน่ใจว่ามีความสม่ำเสมอของวัสดุ.
Precision forming is carried out using cold isostatic pressing or injection molding to achieve complex geometries.
High-temperature sintering above 2000°C ensures full densification and structural stability.
CNC diamond machining is applied to achieve micron-level precision and wafer-grade flatness.
Final polishing and inspection ensure compliance with semiconductor-grade standards.
Each product undergoes strict dimensional inspection, surface quality testing, and non-destructive evaluation before delivery.
การประยุกต์ใช้
The หัวจับเซรามิก SiC is widely used in semiconductor and high-precision automation systems.
Wafer transfer systems for 6-inch, 8-inch, and 12-inch wafers
Robotic wafer handling systems in vacuum chambers
CVD, ALD, etching, and deposition equipment
FOUP and FOSB automated load and unload systems
Cleanroom wafer automation production lines
Laser processing and thermal annealing systems
Advantages Compared with Traditional Materials
Compared with aluminum end effectors, SiC ceramic provides better thermal stability and eliminates metal contamination risks.
Compared with quartz, it offers higher mechanical strength and lower particle generation.
Compared with stainless steel, it performs more reliably in plasma and high-temperature environments.
คำถามที่พบบ่อย
Why choose SiC Ceramic End Effector instead of metal or quartz?
SiC ceramic provides superior thermal stability, chemical resistance, and ultra-low particle generation, making it ideal for advanced semiconductor processes.
Can it be customized?
Yes, we support full customization including geometry, arm length, mounting interface, and wafer size compatibility.
Is it suitable for vacuum and plasma systems?
Yes, SiC ceramic is chemically inert and performs reliably in ultra-high vacuum and plasma environments.
What is the service life?
It offers significantly longer service life compared with conventional metal or quartz end effectors under standard operating conditions.
Do you provide inspection reports?
Yes, we provide dimensional reports, material certificates, and quality inspection documentation upon request.
รีวิว
ยังไม่มีบทวิจารณ์