The SiC-keraaminen päätepiste on suorituskykyinen kiekkojen käsittelykomponentti, joka on suunniteltu puolijohdeautomaatio- ja tarkkuusrobottijärjestelmiin. Se on valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidikeramiikasta (SiC), joka tarjoaa erinomaisen mekaanisen lujuuden, lämpöstabiilisuuden ja kemiallisen kestävyyden äärimmäisissä prosessiympäristöissä.
Verrattuna tavanomaisiin alumiini-, ruostumattomasta teräksestä tai kvartsista valmistettuihin päätepistokkeisiin on SiC-keraaminen päätepiste tuottaa huomattavasti vähemmän hiukkasia, on ylivoimaisen mittatarkka ja kestää erinomaisesti lämpömuodonmuutoksia. Sitä käytetään laajalti kiekonsiirtojärjestelmissä, joissa tarkkuus, puhtaus ja luotettavuus ovat kriittisiä.
Tämä tuote soveltuu kehittyneisiin puolijohteiden valmistusympäristöihin, kuten tyhjiökammioihin, plasmaprosesseihin ja korkean lämpötilan laitteisiin.
Tekniset tiedot
| Kiinteistö | Yksikkö | Arvo |
|---|---|---|
| Kiderakenne | - | FCC β vaihe |
| Tiheys | g/cm³ | 3.21 |
| Kemiallinen puhtaus | % | 99.99995 |
| Kovuus | HV | 2500 |
| Taivutuslujuus | MPa | 415 |
| Youngin moduuli | GPa | 430 |
| Lämmönjohtavuus | W/m-K | 300 |
| Lämpölaajenemiskerroin | 10-⁶/K | 4.5 |
| Suurin käyttölämpötila | °C | 2700 |
| Lämpökapasiteetti | J-kg-¹-K-¹ | 640 |
| Raekoko | μm | 2-10 |
Tärkeimmät ominaisuudet
Erittäin erittäin puhdas materiaali
Varmistaa minimaalisen hiukkaskontaminaation puhdastilaympäristöissä.
Erinomainen lämmönkestävyys
Säilyttää rakenteellisen eheyden toistuvissa lämpökierroissa ja korkean lämpötilan käsittelyssä.
Alhainen lämpölaajeneminen
Tarjoaa suuren mittatarkkuuden kiekonsiirtotoimien aikana.
Korkea mekaaninen lujuus
Kestää murtumista, kulumista ja pitkäaikaista väsymistä jatkuvissa tuotantojärjestelmissä.
Kemiallinen kestävyys
Vakaa plasmassa, syövyttävissä kaasuissa ja tyhjiöympäristöissä.
Erittäin sileä pintakäsittely
Vähentää kiekkojen naarmuuntumista ja parantaa käsittelyn turvallisuutta.
Pitkä käyttöikä
Suunniteltu suuritehoisiin puolijohteiden valmistusjärjestelmiin.
Valmistusprosessi
The SiC-keraaminen päätepiste valmistetaan käyttäen kehittyneitä keraamisia tekniikoita.
Erittäin puhdas piikarbidijauhe valitaan ja sitä valvotaan tiukasti materiaalin yhdenmukaisuuden varmistamiseksi.
Tarkkuusmuovauksessa käytetään kylmää isostaattista puristusta tai ruiskuvalua monimutkaisten geometrioiden saavuttamiseksi.
Korkeassa lämpötilassa yli 2000 °C:ssa tapahtuva sintraus takaa täydellisen tiivistymisen ja rakenteellisen vakauden.
CNC-timanttikoneistuksella saavutetaan mikrotason tarkkuus ja kiekkoluokan tasaisuus.
Loppukiillotus ja tarkastus varmistavat puolijohdelaatua koskevien standardien noudattamisen.
Jokaiselle tuotteelle tehdään ennen toimitusta tiukka mittatarkastus, pinnanlaadun testaus ja rikkomaton arviointi.
Sovellukset
The SiC-keraaminen päätepiste käytetään laajalti puolijohde- ja korkean tarkkuuden automaatiojärjestelmissä.
Kiekonsiirtojärjestelmät 6, 8 ja 12 tuuman kiekkoille.
Robotisoidut kiekkojen käsittelyjärjestelmät tyhjiökammioissa
CVD-, ALD-, syövytys- ja laskeutuslaitteistot
FOUP- ja FOSB-automaattiset lastaus- ja purkujärjestelmät
Puhdastilan kiekkojen automatisointi tuotantolinjat
Lasertyöstö- ja lämpöhehkutusjärjestelmät
Edut verrattuna perinteisiin materiaaleihin
Alumiinisiin päätehostimiin verrattuna SiC-keramiikka tarjoaa paremman lämpöstabiilisuuden ja eliminoi metallien kontaminaatioriskin.
Kvartsiin verrattuna sen mekaaninen lujuus on suurempi ja hiukkasten muodostuminen vähäisempää.
Ruostumattomaan teräkseen verrattuna se toimii luotettavammin plasma- ja korkean lämpötilan ympäristöissä.
FAQ
Miksi valita SiC-keraaminen päätehoseula metallin tai kvartsin sijaan?
SiC-keraaminen materiaali tarjoaa erinomaisen lämpöstabiilisuuden, kemiallisen kestävyyden ja erittäin alhaisen hiukkastuotannon, joten se on ihanteellinen kehittyneisiin puolijohdeprosesseihin.
Voiko sitä mukauttaa?
Kyllä, tuemme täydellistä räätälöintiä, mukaan lukien geometria, varren pituus, asennusliitäntä ja kiekkokoon yhteensopivuus.
Soveltuuko se tyhjiö- ja plasmajärjestelmiin?
Kyllä, SiC-keraamiikka on kemiallisesti inerttiä ja toimii luotettavasti erittäin korkeassa tyhjiössä ja plasmaympäristöissä.
Mikä on käyttöikä?
Se tarjoaa huomattavasti pidemmän käyttöiän verrattuna tavanomaisiin metalli- tai kvartsipäätteisiin tavanomaisissa käyttöolosuhteissa.
Toimitatteko tarkastusraportteja?
Kyllä, toimitamme pyydettäessä mittaraportteja, materiaalitodistuksia ja laatutarkastusasiakirjoja.
Arviot
Tuotearvioita ei vielä ole.