Ceramic End Effector on erittäin tarkka robottikäsittelykomponentti, joka on suunniteltu puolijohdekiekkojen siirtoon, teollisuusautomaatiojärjestelmiin ja erittäin puhtaisiin valmistusympäristöihin. Korkeapuhtaista SiC- (piikarbidi) ja Al₂O₃- (alumiinioksidi) keraamisista materiaaleista valmistettu päätysefektori tarjoaa poikkeuksellisen kulutuskestävyyden, lämpöstabiilisuuden ja kemiallisen kestävyyden vaativiin automaatiosovelluksiin.

Nämä robottikiekkojen käsittelyjärjestelmiin suunnitellut keraamiset päätehostimet ovat laajalti käytössä puolijohdevalmistuslaitteissa, tarkkuusvalmistusjärjestelmissä ja automatisoiduissa tuotantolinjoissa, joissa kontaminaation hallinta ja mittojen vakaus ovat kriittisiä.

Verrattuna perinteisiin metallisiin päätehostimiin, keraamiset robottivarret ovat korroosionkestävyydeltään parempia, niissä syntyy vähemmän hiukkasia, ne kestävät paremmin lämpötiloja ja niiden käyttöikä on pidempi.

Keraamisten päätysefektoreiden tärkeimmät ominaisuudet

Erittäin korkea puhtaus puolijohdesovelluksia varten

Puolijohdekäyttöön soveltuvista keraamisista materiaaleista valmistettu päätevaikuttaja minimoi tehokkaasti kontaminaation ja hiukkasten muodostumisen kiekkojen käsittelyprosessien aikana.

Edut:

• Erittäin vähäinen hiukkasten vapautuminen
• Korkea puhtaustaso
• Soveltuu puhdastilaympäristöihin
• Erinomainen kemiallinen stabiilisuus

Erinomainen kulutuskestävyys

Keraamisilla materiaaleilla on erittäin korkea kovuus ja kulutuskestävyys, mikä mahdollistaa pitkäaikaisen käytön ilman merkittävää pinnan heikkenemistä.

Edut:

• Vähennetty huoltotiheys
• Pidempi käyttöikä
• Vakaa käsittelytarkkuus
• Vähentää hankauksen aiheuttamaa likaantumista

Korkean lämpötilan kestävyys

Keraaminen päätehappo säilyttää erinomaisen rakenteellisen vakauden korkeissa lämpötiloissa ja ankarissa prosessiolosuhteissa.

Suorituskyky:

• Sublimaatiolämpötila jopa 2700 ℃
• Erinomainen lämpöshokkien kestävyys
• Vakaa toiminta korkeissa lämpötiloissa

Korkea tarkkuus ja mittatarkkuus

Kehittynyt keraaminen käsittelytekniikka takaa erinomaisen tasaisuuden, yhdensuuntaisuuden ja mittasuhteiden yhdenmukaisuuden.

Sopii:

• Kiekkojen siirtojärjestelmät
• Tarkka robottikäsittely
• Puolijohdeautomaatiolaitteet
• Erittäin tarkat paikannussovellukset

Kevyt rakenne

Verrattuna metallisiin robottivarsiin keraamiset päätehostimet ovat kevyempiä ja samalla erittäin jäykkiä.

Tulos:

• Vähennetty robottivarren kuormitus
• Nopeampi vaste liikkeisiin
• Automaation tehokkuuden parantaminen
• Pienempi energiankulutus

Tekniset tiedot

Kiinteistö	Arvo
Tuotteen nimi	Keraaminen päätepistoke
Materiaali	SiC / Al₂O₃ Keraaminen
Kemiallinen puhtaus	99.99995%
Kovuus	2500 HV
Sublimaation lämpötila	2700℃
Lämpökapasiteetti	640 J-kg-¹-K-¹
Sertifiointi	RoHS
Alkuperäpaikka	Kiina

Saatavilla olevat materiaalivaihtoehdot

Piikarbidi (SiC) Keraamiset tuotteet

Ominaisuudet:

• Erinomainen lämmönjohtavuus
• Suuri jäykkyys
• Erinomainen kulutuskestävyys
• Erinomainen plasmakestävyys

Suositellaan:

• Puolijohdekiekkojen käsittely
• Korkean lämpötilan automaatiojärjestelmät
• Tyhjiöympäristöt

Alumiinioksidi (Al₂O₃) Keraamiset aineet

Ominaisuudet:

• Erinomainen sähköinen eristys
• Hyvä korroosionkestävyys
• Kustannustehokas ratkaisu
• Korkea mittatarkkuus

Suositellaan:

• Yleiset automaatiojärjestelmät
• Tarkkuuskokoonpanolaitteet
• Kemialliset käsittelysovellukset

Keraamisten päätysefektoreiden sovellukset

Puolijohdekiekkojen käsittely

Käytetään laajalti:

• Kiekkojen siirtorobotit
• Puolijohdeprosessityökalut
• Tyhjiökäsittelyjärjestelmät
• FOUP-kuormausjärjestelmät
• Kiekkojen tarkastuslaitteet

Yhteensopiva:

• Piikiekot
• Safiirikiekot
• SiC-kiekot
• GaN-kiekot

Teollinen automaatio

Käytetään automatisoiduissa tuotantolinjoissa, jotka vaativat:

• Korkea tarkkuus
• Kulutuskestävyys
• Kemiallinen stabiilisuus
• Pitkäaikainen luotettavuus

Tarkkuusvalmistus

Sopii:

• Elektronisten komponenttien kokoonpano
• Optisten laitteiden käsittely
• Tarkkuuspaikannusjärjestelmät

Lääketieteelliset ja laboratoriolaitteet

Keraamisia robottipäätetyökaluja käytetään myös:

• Kirurginen robotiikka
• Laboratorioautomaatio
• Farmaseuttiset laitteet

niiden erinomaisen puhtauden ja korroosionkestävyyden ansiosta.

Lopputekijätyypit

Robottikourat

Käytetään:

• Kiekkojen käsittely
• Pick-and-place-järjestelmät
• Tarkkuuspuristussovellukset

Tyhjiöpäätehostimet

Suunniteltu:

• Pinnan tasainen käsittely
• Kosketukseton kiekon siirto
• Puolijohteiden puhdastilojen automaatio

Anturiin integroidut päätehokkurit

Voi integroida:

• Voima-anturit
• Asentoanturit
• Tuntopalautejärjestelmät

kehittyneeseen robottiautomaatioon.

Räätälöintipalvelut

Tarjoamme räätälöityjä keraamisia päätehostinratkaisuja asiakkaan piirustusten ja laitevaatimusten mukaan.

Saatavilla olevat mukautetut vaihtoehdot

• Mukautetut mitat
• Tyhjiöreikärakenteet
• Pinnan kiillotus
• Kevyt optimointi
• Erikoispinnoitteet
• Monivarren kokoonpanot
• Korkean tasaisuuden käsittely
• Puolijohde-luokan puhdistus

Edut verrattuna metallisiin päätysefektoreihin

Kiinteistö	Keraaminen päätepistoke	Metallinen päätepistoke
Kulutuskestävyys	Erinomainen	Kohtalainen
Korroosionkestävyys	Erinomainen	Rajoitettu
Hiukkasten tuottaminen	Erittäin alhainen	Korkeampi
Korkean lämpötilan stabiilisuus	Erinomainen	Kohtalainen
Paino	Kevyt	Raskaampi
Puolijohteiden yhteensopivuus	Erinomainen	Rajoitettu

FAQ

Miksi käyttää keraamisia päätehostimia puolijohteiden valmistuksessa?

Keraamiset päätehostimet tarjoavat erittäin alhaisen kontaminaation, erinomaisen kulumiskestävyyden ja suuren mittatarkkuuden, joten ne ovat ihanteellisia puolijohdekiekkojen käsittelyjärjestelmiin.

Mitä materiaaleja on saatavana keraamisiin päätteisiin?

Yleisiä materiaaleja ovat:

• Piikarbidi (SiC)
• Alumiinioksidi (Al₂O₃)
• Zirkonia-keramiikka

sovelluksen vaatimusten mukaan.

Voidaanko keraaminen päätepistoke räätälöidä?

Kyllä. Tuemme räätälöityjä mittoja, rakenteita, tyhjiömalleja ja pintakäsittelyjä, jotka perustuvat asiakkaan laitteiden eritelmiin.