Keramické sedlo rozvodu plynu 99% z oxidu hlinitého je vysoce výkonná přesná keramická součástka určená pro velmi stabilní regulaci průtoku plynu v pokročilých průmyslových systémech. Je vyrobeno z vysoce čistého oxidu hlinitého 99% (Al₂O₃), který nabízí vynikající mechanickou pevnost, chemickou stabilitu a elektrické izolační vlastnosti.
Tato součástka se široce používá v zařízeních pro výrobu polovodičů, ve vakuových potahovacích systémech, plazmových leptacích komorách, systémech CVD a PECVD a v modulech pro distribuci vysoce čistého plynu.
Její hlavní funkcí je zajistit rovnoměrnou a stabilní difúzi plynu napříč procesními komorami, čímž se snižují odchylky procesu, zlepšuje se konzistence výtěžku a minimalizují se rizika kontaminace. V porovnání s kovem, křemenem nebo keramikou nižší třídy poskytuje oxid hlinitý 99% výrazně vyšší odolnost proti opotřebení, rozměrovou stabilitu a dlouhodobou spolehlivost.
Zaměření materiálu: 99% vysoce čistý oxid hlinitý (Al₂O₃ ≥ 99%)
Tento výrobek je vyroben z korundové keramiky 99% s vysokou hustotou, která je považována za jednu z nejstabilnějších a nejpoužívanějších pokročilých technických keramik v přesném průmyslovém prostředí.
Klíčové vlastnosti materiálu:
- Extrémně vysoká tvrdost pro dlouhodobou odolnost proti opotřebení
- Vynikající odolnost vůči plazmatu, kyselinám a zásaditému prostředí.
- Vysoká elektrická izolace pro vysokonapěťové a plazmové systémy
- Vynikající rozměrová stabilita při tepelném cyklování
- Velmi nízká tvorba částic pro aplikace v čistých prostorách
- Dlouhá životnost v nepřetržitém průmyslovém provozu
V porovnání s oxidem hlinitým 95% poskytuje oxid hlinitý 99% vyšší tvrdost, lepší odolnost proti opotřebení a lepší strukturní stabilitu, takže je vhodnější pro špičkové polovodiče a přesné povlakovací systémy.
Zásada funkčního návrhu
Keramické sedlo pro rozvod plynu má přesně řízenou porézní strukturu nebo systém mikrokanálků. Tato struktura umožňuje řízenou difúzi procesních plynů uvnitř vakuových nebo reakčních komor.
Mezi hlavní funkce patří:
- Rovnoměrné rozložení plynu po celé ploše procesu
- Stabilní vyvažování tlaku pro konzistentní procesní podmínky
- Snížení turbulence a lokální koncentrace proudění
- Zlepšená rovnoměrnost nanášení tenkých vrstev a leptání
- Minimalizace kontaminace částicemi a vad procesu
Struktura pórů může být navržena tak, aby odpovídala specifickým průtokům, typům plynů a konfiguracím komor.
Hlavní výkonnostní výhody oxidu hlinitého 99%
- Vyšší odolnost proti opotřebení ve srovnání s oxidem hlinitým 95% a křemenem
- Vynikající odolnost proti korozi v prostředí plazmatu a reaktivních plynů
- Vynikající elektrická izolace zabraňující úniku proudu
- Silná mechanická stabilita při tlaku a vibracích
- Vynikající tepelná stabilita pro vysokoteplotní zpracovatelské systémy
- Velmi nízké riziko kontaminace vhodné pro použití v čistých prostorách polovodičů
- Dlouhá provozní životnost s nižší četností údržby
Srovnání výkonnosti materiálů
| Majetek | 99% Hliník (Al₂O₃ ≥ 99%) | 95% Hliník | Zirkonie | Steatit |
|---|---|---|---|---|
| Hustota (g/cm³) | 3.85 | 3.65 | 5.9 | 2.8 |
| Absorpce vody (%) | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Teplota spékání (℃) | 1690 | 1670 | 1650 | 1350 |
| Tvrdost (HV) | 1700 | 1600 | 1400 | 800 |
| Pevnost v ohybu (MPa) | >350 | >290 | >1100 | 90 |
| Pevnost v tlaku (Kgf/cm²) | 30000 | 25000 | 25000 | 4000 |
| Maximální provozní teplota (℃) | 1500 | 1400 | 1600 | 1100 |
| Tepelná roztažnost (×10-⁶/℃) | 8 | 7.8 | 10 | 6 |
| Odolnost proti teplotním šokům (ΔT ℃) | 200 | 220 | 350 | 200 |
| Tepelná vodivost (W/m-K) | 3 | 2 | 3 | 2.5 |
| Objemový odpor (Ω-cm) | >10¹² | >10¹² | >10¹² | 10¹² |
| Dielektrická pevnost (KV/mm) | 18 | 16 | 15 | 10 |
| Dielektrická konstanta (1MHz) | 9.2-10.5 | 9.0-10 | 12 | 5.8 |
Technické parametry
| Parametr | Specifikace |
|---|---|
| Materiál | 99% vysoce čistý oxid hlinitý (Al₂O₃ ≥ 99%) |
| Typ struktury | Porézní disk / sprchová deska / kroužek |
| Tvar | Kulatá / přizpůsobená geometrie |
| Hustota | 3,85 g/cm³ |
| Tvrdost | ~1700 HV |
| Pevnost v ohybu | >350 MPa |
| Pevnost v tlaku | ≥30000 Kgf/cm² |
| Maximální provozní teplota | Až 1500 °C (v závislosti na prostředí) |
| Elektrický odpor | >10¹² Ω-cm |
| Dielektrická pevnost | ~18 KV/mm |
| Drsnost povrchu | Ra ≤ 0,2 μm (přesné oblasti) |
| Tolerance rovinnosti | ±5-10 μm |
| Tolerance obrábění | ±0,01 mm |
| Design pórovitosti | Plně přizpůsobitelná mikroporézní struktura |
Oblasti použití
- Systémy pro zpracování polovodičových destiček
- Plazmové leptací a čisticí zařízení
- PECVD / CVD / PVD systémy pro nanášení tenkých vrstev
- Vakuové komory pro rozvod plynu
- Chemické reakční systémy s vysokou čistotou
- Přesné systémy řízení průmyslových pecí
- Laboratorní vysoce přesné zařízení pro difúzi plynů
Možnosti vlastního inženýrství
Toto keramické sedlo rozvodu plynu 99% lze plně přizpůsobit:
- Vnější průměr a tloušťka
- Hustota pórovitosti a návrh rozložení průtoku
- Optimalizace struktury mikrootvorů nebo kanálů
- Povrchová úprava a leštění
- Plochost a přesnost těsnicího rozhraní
- Integrace s kovovými montážními nebo těsnicími konstrukcemi
- Kalibrace průtoku plynu pro konkrétní aplikaci
K dispozici je technická podpora pro přizpůsobení systému a optimalizaci výkonu.
Výrobní proces
- Příprava prášku oxidu hlinitého 99% vysoké čistoty
- Izostatické lisování nebo lisování za sucha
- Vysokoteplotní slinování při ~1690 °C
- Přesné obrábění CNC
- Laserové nebo mikrovrtání pro porézní strukturu (pokud je vyžadováno)
- Přesné broušení a leštění
- Rozměrová kontrola a zkouška těsnosti
- Konečné ověření kvality
Přísná kontrola procesu zajišťuje konzistenci, stabilitu a dlouhodobou spolehlivost ve špičkových aplikacích.
Často kladené otázky
Otázka 1: Proč zvolit oxid hlinitý 99% místo oxidu hlinitého 95%?
Oxid hlinitý 99% nabízí vyšší tvrdost, lepší odolnost proti opotřebení a lepší chemickou stabilitu. Je vhodnější pro polovodiče a vysoce přesné aplikace rozvodu plynu, kde je kontrola kontaminace kritická.
Otázka 2: Lze porézní strukturu navrhnout podle mého vybavení?
Ano. Velikost, hustotu a rozložení pórů lze plně přizpůsobit podle typu plynu, tlaku a konstrukce komory, aby bylo dosaženo optimální rovnoměrnosti průtoku.
Otázka 3: Je oxid hlinitý 99% vhodný pro plazmové prostředí?
Ano. Oxid hlinitý 99% má vynikající odolnost vůči plazmatu a zachovává si strukturální stabilitu při dlouhodobém působení reaktivních plynů a vysokoenergetických plazmových systémů.
Recenze
Zatím zde nejsou žádné recenze.