A 99% alumínium-oxid-kerámia gázelosztó üreg egy nagy teljesítményű precíziós kerámia alkatrész, amelyet a fejlett ipari rendszerek rendkívül stabil gázáramlás-szabályozására terveztek. Nagy tisztaságú 99% alumínium-oxidból (Al₂O₃) készül, amely kiemelkedő mechanikai szilárdságot, kémiai stabilitást és elektromos szigetelési teljesítményt nyújt.
Ezt az alkatrészt széles körben használják félvezetőgyártó berendezésekben, vákuumbevonó rendszerekben, plazma maratókamrákban, CVD- és PECVD-rendszerekben, valamint nagy tisztaságú gázelosztó modulokban.
Fő funkciója az egyenletes és stabil gázdiffúzió biztosítása a technológiai kamrákban, csökkentve ezzel a folyamatváltozásokat, javítva a hozam konzisztenciáját és minimalizálva a szennyeződési kockázatokat. A fémmel, kvarccal vagy alacsonyabb minőségű kerámiával összehasonlítva a 99% alumínium-oxid jelentősen jobb kopásállóságot, méretstabilitást és hosszú távú megbízhatóságot biztosít.
Anyagfókusz: 99% nagy tisztaságú timföld (Al₂O₃ ≥ 99%)
Ez a termék nagy sűrűségű 99% alumínium-oxid kerámiából készül, amelyet az egyik legstabilabb és legszélesebb körben használt fejlett műszaki kerámiának tartanak a precíziós ipari környezetben.
Főbb anyagjellemzők:
- Rendkívül nagy keménység a hosszú távú kopásállóság érdekében
- Kiváló ellenállás a plazmával, savakkal és lúgos környezetekkel szemben
- Magas elektromos szigetelés nagyfeszültségű és plazmarendszerekhez
- Kiváló méretstabilitás hőciklusok alatt
- Nagyon alacsony részecskeképződés a tisztatéri alkalmazásokhoz
- Hosszú élettartam folyamatos ipari üzemben
A 95% timfölddel összehasonlítva a 99% timföld nagyobb keménységet, jobb kopásállóságot és jobb szerkezeti stabilitást biztosít, így alkalmasabb a csúcskategóriás félvezető- és precíziós bevonatrendszerekhez.
Funkcionális tervezési elv
A kerámia gázelosztó ülést pontosan szabályozott porózus szerkezettel vagy mikrocsatorna-rendszerrel tervezték. Ez a szerkezet lehetővé teszi a technológiai gázok szabályozott diffúzióját a vákuum- vagy reakciókamrákban.
Az alapvető funkciók közé tartoznak:
- Egyenletes gázeloszlás a teljes folyamatfelületen
- Stabil nyomáskiegyenlítés az egyenletes folyamatfeltételekhez
- A turbulencia és a helyi áramlási koncentráció csökkentése
- Javított vékonyréteg-leválasztás és maratás egyenletessége
- A részecskeszennyezés és a folyamathibák minimalizálása
A pórusszerkezetet úgy lehet kialakítani, hogy megfeleljen az adott áramlási sebességnek, gáztípusoknak és kamrakonfigurációknak.
A 99% alumínium-oxid fő teljesítményelőnyei
- Nagyobb kopásállóság a 95% alumínium-oxidhoz és kvarchoz képest
- Kiváló korrózióállóság plazma és reaktív gázok környezetében
- Kiváló elektromos szigetelés, amely megakadályozza az áramszivárgást
- Erős mechanikai stabilitás nyomás és rezgés alatt
- Kiváló hőstabilitás a magas hőmérsékletű feldolgozórendszerekhez
- Rendkívül alacsony szennyeződéskockázat, alkalmas félvezető tisztaterekben való használatra
- Hosszú működési élettartam csökkentett karbantartási gyakorisággal
Anyagi teljesítmény összehasonlítása
| Ingatlan | 99% Alumina (Al₂O₃ ≥ 99%) | 95% Alumínium-oxid | Cirkónia | Szteatit |
|---|---|---|---|---|
| Sűrűség (g/cm³) | 3.85 | 3.65 | 5.9 | 2.8 |
| Vízfelvétel (%) | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Sinterelési hőmérséklet (℃) | 1690 | 1670 | 1650 | 1350 |
| Keménység (HV) | 1700 | 1600 | 1400 | 800 |
| Hajlítószilárdság (MPa) | >350 | >290 | >1100 | 90 |
| Nyomószilárdság (Kgf/cm²) | 30000 | 25000 | 25000 | 4000 |
| Maximális üzemi hőmérséklet (℃) | 1500 | 1400 | 1600 | 1100 |
| Hőtágulás (×10-⁶/℃) | 8 | 7.8 | 10 | 6 |
| Hősokk-ellenállás (ΔT ℃) | 200 | 220 | 350 | 200 |
| Hővezető képesség (W/m-K) | 3 | 2 | 3 | 2.5 |
| Térfogati ellenállás (Ω-cm) | >10¹² | >10¹² | >10¹² | 10¹² |
| Dielektromos szilárdság (KV/mm) | 18 | 16 | 15 | 10 |
| Dielektromos állandó (1MHz) | 9.2-10.5 | 9.0-10 | 12 | 5.8 |
Műszaki paraméterek
| Paraméter | Specifikáció |
|---|---|
| Anyag | 99% nagy tisztaságú timföld (Al₂O₃ ≥ 99%) |
| Szerkezet típusa | Porózus tárcsa / zuhanylemez / gyűrű |
| Shape | Kerek / egyedi geometria |
| Sűrűség | 3,85 g/cm³ |
| Keménység | ~1700 HV |
| Hajlítószilárdság | >350 MPa |
| Nyomószilárdság | ≥30000 Kgf/cm² |
| Maximális üzemi hőmérséklet | 1500°C-ig (a környezettől függően) |
| Elektromos ellenállás | >10¹² Ω-cm |
| Dielektromos szilárdság | ~18 KV/mm |
| Felületi érdesség | Ra ≤ 0,2 μm (precíziós területek) |
| Lapossági tűrés | ±5-10 μm |
| Megmunkálási tűrés | ±0,01 mm |
| Porozitás Design | Teljesen testreszabható mikroporózus szerkezet |
Alkalmazási területek
- Félvezető ostyafeldolgozó rendszerek
- Plazma maratási és tisztító berendezések
- PECVD / CVD / PVD vékonyréteg leválasztó rendszerek
- Vákuum gázelosztó kamrák
- Nagy tisztaságú kémiai reakciórendszerek
- Precíziós ipari kemence gázszabályozó rendszerek
- Laboratóriumi nagy pontosságú gázdiffúziós berendezések
Egyedi mérnöki lehetőségek
Ez a 99% alumínium-oxid-kerámia gázelosztó ülés teljes mértékben testre szabható:
- Külső átmérő és vastagság
- Porozitássűrűség és áramláseloszlás kialakítása
- Mikrolyuk vagy csatorna szerkezet optimalizálása
- Felület polírozása és befejező osztály
- Síkosság és tömítési felület pontossága
- Integráció fém rögzítő- vagy tömítőszerkezetekkel
- Alkalmazásspecifikus gázáram-kalibrálás
A rendszer összehangolásához és a teljesítmény optimalizálásához mérnöki támogatás áll rendelkezésre.
Gyártási folyamat
- Nagy tisztaságú 99% alumínium-oxid por előállítása
- Izosztatikus préselés vagy száraz préselés
- Magas hőmérsékletű szinterezés ~1690°C-on
- CNC precíziós megmunkálás
- Lézer- vagy mikrofúrás a porózus szerkezethez (ha szükséges)
- Precíziós csiszolás és polírozás
- Méretellenőrzés és szivárgásvizsgálat
- Végső minőséghitelesítés
A szigorú folyamatellenőrzés biztosítja a konzisztenciát, a stabilitást és a hosszú távú megbízhatóságot a csúcskategóriás alkalmazásokban.
Gyakran ismételt kérdések
1. kérdés: Miért válassza a 99% alumínium-oxidot a 95% alumínium-oxid helyett?
A 99% alumínium-oxid nagyobb keménységet, jobb kopásállóságot és jobb kémiai stabilitást biztosít. Alkalmasabb a félvezető minőségű és nagy pontosságú gázelosztó alkalmazásokhoz, ahol a szennyeződések ellenőrzése kritikus fontosságú.
2. kérdés: A porózus szerkezetet meg lehet tervezni a berendezésemnek megfelelően?
Igen. A pórusméret, a sűrűség és az eloszlás teljes mértékben testre szabható a gáz típusának, a nyomásnak és a kamra kialakításának megfelelően az optimális áramlási egyenletesség elérése érdekében.
3. kérdés: A 99% alumínium-oxid alkalmas plazmakörnyezetbe?
Igen. A 99% alumínium-oxid kiváló plazmaállósággal rendelkezik, és megőrzi szerkezeti stabilitását reaktív gázoknak és nagy energiájú plazmarendszereknek való hosszú távú kitettség esetén.
Értékelések
Még nincsenek értékelések.